| 研究課題/領域番号 |
05403020
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| 研究種目 |
一般研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
反応・分離工学
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| 研究機関 | 東京大学 |
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研究代表者 |
松為 宏幸 東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (00026098)
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| 研究分担者 |
三好 明 東京大学, 大学院・工学系研究科, 講師 (60229903)
手崎 衆 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助手 (50236965)
越 光男 東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (20133085)
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| 研究期間 (年度) |
1993 – 1995
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| 研究課題ステータス |
完了 (1995年度)
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| 配分額 *注記 |
23,400千円 (直接経費: 23,400千円)
1995年度: 4,900千円 (直接経費: 4,900千円)
1994年度: 4,100千円 (直接経費: 4,100千円)
1993年度: 14,400千円 (直接経費: 14,400千円)
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| キーワード | シラン / ジシラン / 多光子イオン化 / 時間分解質量分析 / シリルラジカル / ジシレン / レーザ光分解 / 二量化 / CVD / レーザ光イオン化法 / 飛行時間型分析 / レーザイオン化法 / ツラン / シリコン化合物 / 化学反応機構 / ラジカル反応 / CVDプロセス / ナノクラスター / レーザー分光 |
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| 研究概要 |
アモルファスシリコン生成機構やシリコンナノクラスター生成の過程で重要なジシレンやシリルシリレン等のラジカルは、その存在が量子化学計算では予測されているが、実験的には検出されていない。本研究ではこれらのラジカルを検出することを目的としてレーザ多光子イオン化法を用いた飛行時間型質量分析計を開発した。昨年度までに開発した装置の分解能と感度を向上させるため、ドリフトチューブを長くし、さらに2段収束電極中にアインゼル型のイオンレンズを挿入した。この改良された装置を用い、主としてSi_2H_nラジカルの検出を試みた。反応管中にHe希釈された塩素ガスを流し、これにマイクロ波放電を行って塩素原子を生成し、シランまたはジシランを混合して水素引き抜き反応をおこさせて各種のSi-H系のラジカルを生成した。シランを用いた場合、Si,SiH,SiH_2の信号を観測でき、これらの信号のイオン化光源(レーザ)の波長依存を測定したが、その結果シリル以外は波長依存がなく非共鳴イオン化による信号である事が分かった。SiHイオン生成経路についてはシリルラジカルイオンの解離によるものと推定した。ジシランを用いた場合には、Si_2,Si_2H_3等のイオン信号が観測されたが、いずれも非共鳴イオン化による信号であることが確認された。SiClの強い信号も観測されたが、この起源については不明である。
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