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イオンビームによる固体内結合電子の格子位置解析の研究

研究課題

研究課題/領域番号 05452065
研究種目

一般研究(B)

配分区分補助金
研究分野 物理学一般
研究機関筑波大学

研究代表者

工藤 博  筑波大学, 物理工学系, 助教授 (40111364)

研究分担者 楢本 洋  日本原子力研究所, 材料開発部, 主任研究員
研究期間 (年度) 1993 – 1994
研究課題ステータス 完了 (1994年度)
配分額 *注記
4,800千円 (直接経費: 4,800千円)
1994年度: 600千円 (直接経費: 600千円)
1993年度: 4,200千円 (直接経費: 4,200千円)
キーワードイオンビーム / チャネリング / 固体結合電子 / イオン励起2次電子 / イオンビーム解析 / イオン誘起2次電子
研究概要

結晶格子内における固体結合電子の空間位置分布の測定は、物質の構造解析における重要課題の一つである。本研究ではイオンビームのシャド-イング効果によって、入射イオンと結合電子との相互作用が選択的に起きることを利用する解析方法を新たに提案し、SiおよびGe結晶について実験を行った。
本研究の遂行に際し、いくつかの測定系の改善・修正を行った。多くの実験では、高速軽イオンを用いるが、試料から放出されるγ線が2次電子収量の精密測定(ランダム方位に対する比で精度3桁以上)の妨げとなっていた。我々は、電子スペクトロメータの改良と加速器ビームトランスポート条件の最適化によってこの問題を解決した。特に、スペクトロメータの改良によって電子受容立体角を従来型の約3倍に上げる一方、γ線バックグラウンドを従来の測定に比べて相対値で1/10に低減することができた。さらに、試料交換のための副真空槽を取り付けて、加速器マシンタイム内に超高真空を保ったままでの試料交換が可能になり、このことが豊富なデータ量と測定における信頼度の向上につながった。
現在、Si,Ge結晶の主要な結晶軸・面方向について、6および8MeV/uのH^+,He^<2+>に対する2次電子収量比(精度3桁)の測定を終了し、解析を始めた段階である。すでに、シャド-イングを受けない電子数(1原子当たりの)Nを実験結果から求め、Nの結晶方位(チャネル)依存性と結合電子分布との定性的な対応を見い出した。さらにGeでは結合電子のみならず外殻(3d)電子分布がシャド-イング条件での2次電子収量に反映されることがわかった。Siの場合、Nの値が方位によっては4を越えることから、チャネル内で非均一なイオンフラックスが結晶チャネルの中間付近に分布する結合電子と強く相互作用していることが明らかになった。イオンフラックスを考慮した解析を行うために、我々は現在、マルチストリングモデルによるコンピュータシミュレーションを進めている。

報告書

(3件)
  • 1994 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1993 実績報告書
  • 研究成果

    (19件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (19件)

  • [文献書誌] H.Kudo et al: "Surface Layer Analysis of Sputter-Etched Si Using Secondary Electrons Induced by Fast Ions" JPn.J.Appl.Phys.32. L650-L653 (1993)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Kudo et al: "High-energy shadowing effect and its application to atomic and solid state physics" Nucl.Instrum.& Methods. B90. 533-536 (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Inoue et al: "Characterization of Epitaxially Grown CeO2(110)Layers on Si by Means of Shadowing Pattern Imaging with Fast Ion beams" Jpn.J.Appl.Phys.33. L139-L142 (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Kudo et al: "Charge states of fast ions in glancing collisions with aligned atoms in Si crystals" Phys.Rev.A50. 4049-4056 (1994)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Kudo et al: "High-Sensitivity Channeling Analysis of Lattice Disorder Near Surfaces Using Secondary Electrons Induced by Fast Ions" Jpn.J.Appl.Phys.34. 615-619 (1995)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Fukusho et al: "Shadowing Pattern Imaging of Si and Ge Crystals Bombarded with 5 ke V Ar^+" Jpn.J.Appl.Phys.,. (to be published.).

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Kudo, E.Yoshida and T.Ishihara: "Surface Layr Analysis of Sputter-Etched Si Using Secondary Electrons Induced by Fast Ions" Jpn.J.Appl.Phys.32. L650-L653 (1993)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Inoue, H.Kudo, T.Fukusho, T.Ishihara and T.Ohsuna: "Characterization of Epitaxially Grown CeO_2 (110) Layrs on Si by Means of Shadowing Pattern Imaging with Fast Ion beams" Jpn.J.Appl.Phys.33. L139-L142 (1994)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Kudo, K.Shima, T.Ishihara, H.Takeshita, Y.Aoki, S.Yamamoto, and H.Naramoto: "High-energy shadowing effect and its application to atomic and solid state physics" Nucl.Instrum.& Methods. B90. 533-536 (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Kudo, T.Fukusho, T.Ishihara, H.Takeshita, Y.Aoki, S.Yamamoto, and H.Naramoto: "Charge states of fast ions in glancing collisions with aligned atoms in Si crystals" Phys.Rev.A50. 4049-4056 (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Kudo, T.Fukusho, A.Tanabe, T.Ishihara, T.Inoue, M.Satoh, Y.Yamamoto and S.Seki: "High-Sensitivity Channeling Analysis of Lattice Disorder Near Surfaces Using Secondary Electrons Induced by Fast Ions" Jpn.J.Appl.Phys.34. 615-619 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Fukusho, A.Tanabe, H.Kudo, T.Ishihara, and S.Seki: "Shadowing Pattern Imaging of Si and Ge Crystals Bombarded with 5 keV Ar^+" Jpn.J.Appl.Phys.(to be published.).

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Inoue et al: "Characterization of Epitaxially Grown CeO_2(110)Layers on Si by Means of Shadowing Pattern Imaging with Fast Ion beams" Jpn.J.Appl.Phys.33. L139-L142 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書
  • [文献書誌] H.Kudo et al: "High-energy shadowing effect and its application to atomic and solid state physics" Nucl.Instrum.& Methods. B90. 533-536 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書
  • [文献書誌] H.Kudo et al: "Charge states of fast ions in glancing collisions with aligned atoms in Si crystals" Phys.Rev.A50. 4049-4056 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書
  • [文献書誌] H.Kudo et al: "High-Sensitivity Channeling Analysis of Lattice Disorder Near Surfaces Using Secondary Electrons Induced by Fast Ions" Jpn.J.Appl.Phys.34. 615-619 (1995)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書
  • [文献書誌] H.Kudo et al: "Surface Layer Analysis of Sputter-Etched Si Using Secondary Electrons Induced by Fast Ions." Jpn.J.Appl.Phys.32. L650-L653 (1993)

    • 関連する報告書
      1993 実績報告書
  • [文献書誌] T.Inoue et al: "Characterization of Epitaxially Grown CeO_2 Layers on Si by Means of Shadowing Pattern Imaging with Fast Ion Beams." Jpn.J.Appl.Phys.33. L139-L142 (1994)

    • 関連する報告書
      1993 実績報告書
  • [文献書誌] H.Kudo et al: "High-Energy Shadowing Effect and Its Application to Atomic and Solid State Physics." Nucl.Instrum.& Methods. (in press). (1994)

    • 関連する報告書
      1993 実績報告書

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公開日: 1993-04-01   更新日: 2016-04-21  

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