| 研究課題/領域番号 |
05452099
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| 研究種目 |
一般研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
応用物性・結晶工学
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| 研究機関 | 宇宙科学研究所 |
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研究代表者 |
田島 道夫 宇宙科学研究所, 衛星応用工学研究系, 教授 (30216965)
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| 研究分担者 |
藁品 正敏 宇宙科学研究所, 衛星応用工学研究系, 助手 (50013727)
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| 研究期間 (年度) |
1993 – 1994
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| 研究課題ステータス |
完了 (1994年度)
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| 配分額 *注記 |
5,000千円 (直接経費: 5,000千円)
1994年度: 2,500千円 (直接経費: 2,500千円)
1993年度: 2,500千円 (直接経費: 2,500千円)
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| キーワード | フォトルミネッセンス / シリコン / 結晶評価 / 軽元素不純物 / 重金属不純物 / サーマルドナー / 酸素析出物 |
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| 研究概要 |
酸素析出過程を反映するフォトルミネッセンス信号と重金属不純物による信号の変化を相関させて酸素析出に及ぼす重金属不純物の影響、ならびに、軽元素不純物のなかで特に重要である酸素不純物について、その析出の初期凝集形態であるサーマルドナーのフォトルミネッセンスによる評価を行なった。
意図的に微量の重金属不純物Cuで汚染させたFZSiウエハ-を作製し、試料のフォトルミネッセンス(PL)スペクトル特性およびマッピング測定を行なった。軽元素不純物のNを含むウエハ-、有転位ウエハ-、スワール欠陥を含むウエハ-の測定結果より、固溶状態に近いCuに起因すると考えられる新しい発光帯の検出に成功し、その特徴的な結晶内分布をあきらかにした。
軽元素不純物のなかでとくに重要である酸素不純物について、その析出の初期凝集形態であるサーマルドナーのフォトルミネッセンス評価を行なった。その結果、サーマルドナー関連欠陥の生成・消滅過程を直接的に捉えることに成功し、450℃近傍の熱処理において空格子は酸素凝集を遅らせる役割をすることが明らかとなった。
本研究により、軽元素、重金属不純物の精密評価が可能となり、将来のデバイス作製上不可欠である高品位の欠陥制御に大きく貢献することが期待される
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