| 研究課題/領域番号 |
05452187
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| 研究種目 |
一般研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
電子・電気材料工学
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| 研究機関 | 名古屋大学 |
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研究代表者 |
河野 明廣 名古屋大学, 工学部, 助教授 (40093025)
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| 研究分担者 |
岸本 茂 名古屋大学, 工学部, 教務職員 (10186215)
堀 勝 名古屋大学, 工学部, 講師 (80242824)
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| 研究期間 (年度) |
1993 – 1994
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| 研究課題ステータス |
完了 (1994年度)
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| 配分額 *注記 |
5,400千円 (直接経費: 5,400千円)
1994年度: 900千円 (直接経費: 900千円)
1993年度: 4,500千円 (直接経費: 4,500千円)
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| キーワード | 負イオン / SF_6 / NF_3 / RFプラズマ / 光脱離 / マススペクトル / マイクロ波空洞共振法 / 電子密度 / 高周波プラズマ / 六フッ化硫黄 / 三フッ化窒素 |
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| 研究概要 |
RF・SF_6プラズマに対し、レーザー光脱離=マイクロ波空洞共振法による電子密度および負イオン密度の計測を行った。さらにラングミュアプローブによる正イオン密度の測定を行った。この結果、低圧(〜100mTorr)、低電力(〜10W)プラズマにおいてはイオン密度/電子密度の比は数百であり、この比は圧力とともに増加して1Torr近辺では数千に達することが分かった。光脱離で検出される負イオンは主にF^-であり、主要な負イオン種と推定されるSF_5^-の光脱離効率は小さいことが示唆された。
四重極質量分析計による負イオン種の測定では、F^-、SF^-、SF_6^-、SF_3^-、F_2^-が検出され、F^-の信号強度が最も大きく、次がSF_5^-であった。しかし、異なる負イオン種に対する測定系の相対感度は未知であり、この結果から主要な負イオン種を特定することは困難である。各負イオン種に対するアフタ-グロー中のイオン電流減衰波形は、ラングミュアプローブによる正イオン飽和電流の減衰波形と著しく異なっており、負イオンサンプリング過程の複雑な性格が示された。また、電流減衰波形はサンプリングチップの材質やそこへのバイアス電圧のかけ方にも敏感であった。負イオンによるサンプリングチップのチャージアップの可能性が考えられる。
RF・NF_3プラズマに対しもレーザー光脱離=マイクロ波空洞共振測定を行った。NF_3は同圧力のSF_6よりもさらに電子付着能力が大きいことが明らかになった。このため、測定系の時間分解能による制限により、正確な負イオン密度を算出することはできなかった。
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