| 研究課題/領域番号 |
05452272
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| 研究種目 |
一般研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
金属物性
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| 研究機関 | 筑波大学 |
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研究代表者 |
宮崎 修一 筑波大学, 物質工学系, 助教授 (50133038)
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| 研究期間 (年度) |
1993 – 1994
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| 研究課題ステータス |
完了 (1994年度)
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| 配分額 *注記 |
5,700千円 (直接経費: 5,700千円)
1994年度: 1,200千円 (直接経費: 1,200千円)
1993年度: 4,500千円 (直接経費: 4,500千円)
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| キーワード | マイクロアクチュエータ / 形状記憶合金 / Ti-Ni / 薄膜 / マルテンサイト変態 / マイクロマシン |
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| 研究概要 |
各種組成比のTi-Ni形状記憶合金薄膜をRFマグネトロンスパッタリング法により作製した。溶体化処理と時効処理を行い、変態温度と記憶特性を含めたアクチュエータ機能の多様性を実現するのに成功した。また、光学顕微鏡、走査型電子顕微鏡、EPMA、透過型電子顕微鏡等を用いて、膜の表面と内部組織の状態を明かにすると共に、組成分析を行った結果、均質な膜が作製できたことが確認できた。その成果に基づき、次に、膜の高純度化を行い、2元系合金のみならず3元系合金の各種組成の薄膜を作製することにも成功した。高純度化の結果、高い変態温度が実現できた。例えば、2元系合金の変態および逆変態温度がそれぞれ333Kおよび360Kであり、これはバルク材の変態温度とほぼ同じ値である。また、第3元素としてCuを添加した合金薄膜では、変態温度ヒステリシスの小さい特性を実現できた。さらに、第3元素としてPdを添加した合金薄膜では、変態および逆変態温度がそれぞれ385Kと401Kとなり、2元系合金よりも高くすることができた。これらの、小さい変態温度ヒステリシスと高い変態温度は、アクチュエータの応答生を高くするために必要な特性であり、高機能のアクチュエータ素子が開発できたことになる。
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