• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

希土および重金属のフッ化物のCVD薄膜の合成とその光学的・電気的機能

研究課題

研究課題/領域番号 05453126
研究種目

一般研究(B)

配分区分補助金
研究分野 無機工業化学
研究機関神戸大学

研究代表者

河本 洋二  神戸大学, 理学部, 教授 (00030776)

研究分担者 菅野 了次  神戸大学, 理学部, 助教授 (90135426)
研究期間 (年度) 1993 – 1994
研究課題ステータス 完了 (1994年度)
配分額 *注記
6,800千円 (直接経費: 6,800千円)
1994年度: 1,500千円 (直接経費: 1,500千円)
1993年度: 5,300千円 (直接経費: 5,300千円)
キーワード希土 / フッ化物 / CVD / 薄膜
研究概要

(I)マイクロ波ECR(電子サイクロトロン共鳴)プラズマCVD装置の制作
本研究を実施するに際して、利用可能な装置の市販品が無いため、研究に適した装置の設計・試作から開始した。仕様において主な特長点を記すと、マイクロ波の発振周波数と発振力:2.45GHz,最大1000W、基板面積:20×20mm、基板保持台温度:水温〜200℃、ガス供給系:Ar,O_2,SF_6の3系統、固体モノマー導入系:4系統などである。
(II)マイクロ波ECRプラズマCVD用の希土類元素および他の金属元素の揮発性錯体の開発・合成
マイクロ波ECRプラズマCVDに利用可能な希土類元素および他の金属元素の揮発姓錯体に対する必要条件は、出来る限り低温において分解せずに揮発し、かつ各種金属錯体がほぼ同じ温度域でモノマーとして揮発することである。本研究では、そのような条件を満たす錯体としてβ-ジケトン錯体を探索した。
(III)マイクロ波ECRプラズマCVD法による希土類含有フッ化ガラス作製
最初に、Zr金属のβ-ジケトン錯体であるZr(HFA)_4とBa金属のβ-ジケトン錯体であるBa(DFHD)_2を出発試薬とし、SF_6フッ素化ガス、Arをキャリアーガスとして用い、ZrF_4-BaF_2系薄膜(厚さ:数μm)の合成を試みた。なお、基板としてはCaF_2を用いた。生成物を薄膜X線解析で調べたとところ、完全な非晶質体であった。組成分析は行っていないが、溶融法で合成されたZrF_4-BaF_2系ガラスのX線解析パターンとの比較から67ZrF_4・33BaF_2に近いものが得られていると考えらている。
現在、希土類を含有したZrF_4系ガラス薄膜の作製に取り組みつつあるが、一番の問題点は気化温度域が極力近い各種金属のβ-ジケトン錯体の探索である。DPM錯体が好ましいのではないかと考えており、検討を進めている。

報告書

(3件)
  • 1994 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1993 実績報告書
  • 研究成果

    (21件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (21件)

  • [文献書誌] M.Takahashi et al.: "Compositional Dependence of Upconversion Luminescence of Trivalent Erbium Ions in Fluorozirionate Glasses" Mat. Res. Bull.28. 557-563 (1993)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y. Kawamoto et al.: "Compositional Dependence of Upconversion of Er^<3r> Ions in ZrF_4-Based Glasses" J. Solid State Chem.103. 334-340 (1993)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] A.Konishi et al.: "Physicochemical Properties of ZrF_4-BaF_2-LnF_3(Ln=Y or Rare Earth Elements)" J. Mat. Sci.29. 1584-1588 (1993)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Takashashi et al.: "Compositional Dependence of Er^<3r> Upconversion Luminescence in MF-LiF-ZrF_4 Glasses (M:Alkal:Metals)" J. Non-Crystalline Sdids. 168. 137-143 (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] A. Konishi et al.: "Synthesis of Filmy ZrF_4-BaF_2 Glasses by Fluorination of Amorphous Oxide Gels" Mat. Res. Bull.(in press).

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y. Kawamoto et al.: "Structural study of ZrF_4-BaF_2-LnF_3(Ln=Y or Rare Earth Elements)" J. Mat. Sci. Lett.(in press).

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Takahashi et al.: "Compositional Dependence of Upconversion Luminescence of Trivalent Erbium Ions in Fluorozirconate Glasses II.Alkali Earth Fluoride Dependence" Mat.Res.Bull.28. 557-563 (1993)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Kawamoto et al.: "Compositional Dependence of Upconversion of Er^<3+> Ions in ZrF_4-Based Glasses III.Anion Substitution Effect" J.Solid State Chem.103. 334-340 (1993)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] A.Konishi et al.: "Pyhsicochemical Properties of ZrF_4-BaF_2-LnF_3 (Ln=Y or Rare Earth Elements)" J.Mat.Sci.29. 1584-1588 (1993)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Kawamoto: "Structure and Properties of Fluoride Glasses Prepared by Real Melting and by Molecular Dynamics Melting" Proc, French-Japanese Seminar on Inorganic Fluorinated CNRS-JSPS Sarlat, France. (1993)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Takahashi et al.: "Compositional Dependence of Er^<3+> Upconversion Luminescence in MF-LiF-ZrF_4 Glasses (M : Alkali Metals)" J.Non-Crysttalline Solids. 168. 137-143 (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] A.Konishi et al.: "Synthesis of Filmy ZrF_4-BaF_2 Glasses by Fluorination of Amorphous Oxide Gels" Mat.Res.Bull.(In press).

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Kawamoto et al.: "Structural Study of ZrF_4-BaF_2-LnF_3 (Ln=Y or Rare Earth Elements)" J.Mat.Sci.Lett.(In press).

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Tanabe et al.: "Spectroscopic Studies on Radiative Transitions and Upconversion Characteristics of Er^<3+> Ions in Simple Pseudo-Ternary Fluoride Glasses MF_n-BaF_2-YF_3 (M : Zr, Hf, Al, Sc, Ga, In or Zn)" J.Opt.Soc.Am.B. (In press).

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Takahashi et al,: "Compositional Dependence of Upconversion Luminescence of Triralent Erbium Ions in Fluorozirconate Glasses" Mat.Res.Bull.28. 557-563 (1993)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Kawamoto et al.: "Compositional Dependence of Upconversion of Er^<3+>Ions in ZrF_4-Based Glasses" J.Solid.State Chem.103. 334-340 (1993)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書
  • [文献書誌] A.Konishi et al.: "Pluysicochemical Properties of ZrF_4-BaF_2-LnF_3(Ln=Y or Rare Earth Elements)" J.Mat.Sci.29. 1584-1588 (1993)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書
  • [文献書誌] M.Takahashi et al.: "Compositional Dependence of Er^<3+> Upconversion Luminescence in MF-LiF-ZrF_4 Glasses(M:Alkali Metals)" J.Non-Crystalline Solids. 168. 137-143 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書
  • [文献書誌] A.Konishi et al.: "Synthesis of Filmy ZrF_4 Glasses by Fluorination of Amorphous Oxide Gels" MaT.Res.Bull.(in press).

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Kawamoto et al.: "Structural Study of ZrF_4-BaF_2-LnF_3(Ln=Y or Rare Earth Elements)" J.Mat.Sci.Lett. (in press).

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書
  • [文献書誌] A.Konishi,H.Izumi,R.Kanno & Y.Kawamoto: "Physicochemical properties of ZrF_4-BaF_2-LnF_3 glasses (Ln=Y or rare earth elements)" J.Materials Science. 29. (1994)

    • 関連する報告書
      1993 実績報告書

URL: 

公開日: 1993-04-01   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi