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電気粘性流体を用いた能動形超精密テーブルシステム

研究課題

研究課題/領域番号 05555041
研究種目

試験研究(B)

配分区分補助金
研究分野 機械工作・生産工学
研究機関東京工業大学

研究代表者

伊東 誼  東京工業大学, 工学部, 教授 (60016441)

研究分担者 島 耕司  三菱化成株式会社, 総合研究所, 研究員
佐藤 忠一  日本精工株式会社, 生産技術研究所, 所長
橋詰 等  東京工業大学, 工学部, 助手 (50218400)
稲場 千佳郎  東京工業大学, 工学部, 助手 (10223231)
新野 秀憲  東京工業大学, 工学部, 助教授 (40196639)
研究期間 (年度) 1993 – 1994
研究課題ステータス 完了 (1994年度)
配分額 *注記
12,400千円 (直接経費: 12,400千円)
1994年度: 4,800千円 (直接経費: 4,800千円)
1993年度: 7,600千円 (直接経費: 7,600千円)
キーワード電気粘性流体 / テーブルシステム / 超精密加工 / 運動精度 / 液晶 / 構造設計 / 特性制御 / 工作機械 / 能動形テーブル
研究概要

本研究は電気粘性効果を積極的に利用した新たな構造概念に基づく能動形超精密送りテーブルシステムを実現することを目的としている.本研究においては以下の要素研究を実施すると共に,それらを統合化することにより,次に示すような工学上或いは工業上有用な研究成果を得ることができた.
(1)超精密加工機や超精密測定機において広く用いられているボールねじ駆動方式空気静圧案内テーブルシステムをモデル化した評価用テーブルシステムを新たに設計,試作し,それを用いて電気粘性効果を発現するための最適な電気粘性流体の選定,並びに最適電極間の形状,寸法の設定等,具体的なシステム構築に必要な基礎設計試料を整備することができた.
(2)超精密テーブルシステムの特性制御を目的とした電気粘性流体の具体的な要求特性を明らかにするため,液晶系と分散系の電気粘性流体の詳細な特性比較を行うことにより,それらの得失等を定性的及び定量的に明らかにした.
(3)実機への組込みを目的とした能動形ボールねじ駆動方式空気静圧案内テーブルシステムのプロトタイプを試作開発し,提案する電気粘性効果利用による特性制御が,能動形テーブルシステムを実現する上で有効であることを確認した.
(4)電気粘性流体の特性評価試験装置を開発することにより,電熱粘性流体の動的な特性を精密に評価することにより,能動形超精密テーブルシステムに最適な電気粘性流体の最適な使用条件を決定する.
なお,本研究成果は,既に日本機械学会第71期全国大会及び第72期全国大会にて公表した他,日本機械学会論文集(C編)に発表予定である.

報告書

(3件)
  • 1994 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1993 実績報告書
  • 研究成果

    (4件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (4件)

  • [文献書誌] 橋詰等,新野秀憲,伊東誼,佐藤忠一: "電気粘性流体によるテーブルシステムの特性制御" 日本機械学会論文集(C編). 61. (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Hitoshi HASHIZUME,Hidenori SHINNO,Yoshimi ITO and Chuichi SATO: Transactions of the JSME. Vol.61, (to be published). (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 橋詰等,新野秀憲,伊東誼,佐藤忠一: "電気粘性流体によるテーブルシステムの特性制御" 日本機械学会論文集(C編). 61. (1995)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書
  • [文献書誌] 橋詰等,菊地英晴,新野秀憲,伊東諠,島耕司: "電気粘性流体によるテーブルシステムの特性制御" 日本機械学会第71期全国大会講演論文集. F. 401-403 (1993)

    • 関連する報告書
      1993 実績報告書

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公開日: 1993-04-01   更新日: 2016-04-21  

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