| 研究課題/領域番号 |
05555106
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| 研究種目 |
試験研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
システム工学
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| 研究機関 | 茨城工業高等専門学校 |
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研究代表者 |
清水 勲 茨城工業高等専門学校, 機械工学科, 教授 (80042464)
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| 研究分担者 |
原 勉 (株)浜松ホトニクス, 中央研究所, 室長代理
富永 学 茨城工業高等専門学校, 機械工学科, 助手 (40237128)
山本 信雄 茨城工業高等専門学校, 電気工学科, 教授 (70042489)
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| 研究期間 (年度) |
1993 – 1994
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| 研究課題ステータス |
完了 (1994年度)
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| 配分額 *注記 |
5,200千円 (直接経費: 5,200千円)
1994年度: 1,200千円 (直接経費: 1,200千円)
1993年度: 4,000千円 (直接経費: 4,000千円)
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| キーワード | 超解像度光学顕微鏡 / 位相シフト法 / レ-リ限界 / 光ディスク / 極微小光スポット / 光情報遠隔場読み出し / ピット / 解像限界 / 光ディスクのピット径 / 遠隔場読み出し光学系 / 逆位相光スポット / 位相光学マスク / レーリー限界 |
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| 研究概要 |
光ディスクとしての情報大容量化とその高速読み出しを達成するための基礎研究として赤色レーザ光(He-Neレーザ、波長0.633μm)を使用し、その波長以下の微小物体を遠隔場で識別可能にする超解像度レーザ顕微鏡システムの開発をめざして研究を行ない、以下のような成果が得られた。
1)エアリ円以下の極微小スポット光群の照射光学系の開発
4mm×4mm中に10μm×μmの大きさで隣同士の位相差がπ異なる市松模様格子の位相シフト光学マスクにレーザ光を照射し、開口数0.90の縮小投影レンズでその光を収束させ、レ-リ限界を越えたピッチ0.53μm程度、光スポット径約0.3μmのスポット光群を作ることが出来た。
超解像度遠隔場読み出し光学系の検討
結像理論に基づいた数値シミュレーションから、上記1)の光学系で得られたレ-リ限界を越えた逆位相スポット光群を走査することによって、スポット径の分解能で微小物体を遠隔場で並列に読み出し得ることが予測できた。
3)光密度光ディスクの実用化の可能性
上記の照射および読み出し光学系を用いたシステムによれば、ピット間隔0.60μm、ピット径0.3μm程度の並列読み出し可能な高密度光ディスク実用化への可能性が明らかになった。
4)0.63μmの波長光で0.1μm以下のスポット光径を得るには屈折型縮小光学系によるものではなく、バイナリ光学系の検討が必要になることが明らかになった。
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