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半導体材料の核融合中性子照射効果ダイナミクスの研究

研究課題

研究課題/領域番号 05558068
研究種目

試験研究(B)

配分区分補助金
研究分野 核融合学
研究機関大阪大学

研究代表者

飯田 敏行  大阪大学, 工学部, 助教授 (60115988)

研究分担者 田辺 哲朗  名古屋大学, 工学部, 教授 (00029331)
高橋 亮人  大阪大学, 工学部, 教授 (50029112)
研究期間 (年度) 1993 – 1995
研究課題ステータス 完了 (1995年度)
配分額 *注記
10,400千円 (直接経費: 10,400千円)
1995年度: 1,200千円 (直接経費: 1,200千円)
1994年度: 2,100千円 (直接経費: 2,100千円)
1993年度: 7,100千円 (直接経費: 7,100千円)
キーワードCMOS・SRAM素子 / 中性子誘起ソフトエラー / Si(n,α)Mg反応 / ビットソフトエラー断面積 / 極細イオンビーム源 / Si-SSD素子 / TRIMコード / DT-DD中性子損傷相関 / Zheng Liモデル / 電子捕獲中心 / 照射効果ダイナミクス / 原子弾き出し / DT・DD中性子損傷相関係数 / 荷電粒子輸送コードTR1M / コール・コール円弧則 / 有極性液体 / 配向分極 / Si半導体素子 / Si-SSD / 荷電粒子輸送コードTRIM / 中性子応答電荷スペクトル
研究概要

CMOS・SRAM型記憶集積回路素子の14MeV中性子誘起ソフトエラー断面積の評価を行った。IMビットCMOS・SRAM素子の14MeV中性子誘起ソフトエラー断面積は6〜9×10^<-14>cm^2であったが、この値は個々の記憶セル中にソフトエラーの発生を決定づける特別な領域があることを示唆している。セル構造についての考察から、決定領域としてMOSトランジスタのドレイン下部の空乏層域を考え、物質中の荷電粒子輸送コードTRIMに中性子核反応データを組入れた独自のモンテカルロシミュレーションコードでビットソフトエラー断面積を計算した。測定値との比較考察からソフトエラーの発生にはSi(n,α)Mg反応の寄与が最も大きく、14MeV中性子誘起ソフトエラー断面積をほぼ計算で再現でき、ソフトエラー発生に関する決定領域の考え方が妥当であることを明らかにした。また、ソフトエラー発生のメカニズム、特にダイナミクスを調べる為の極細イオンビーム源装置を製作した。そして、中性子照射効果の空間的な大きさと時間的振るまいについて実験的に評価考察できる見通しを得た。
Si-SSDの照射実験では漏れ電流が中性子フルエンスに比例して増加した。また、漏れ電流増加に関するDT-DD中性子損傷相関係数は2.3であった。Si-SSDの中性子応答電荷スペクトルのデータをもとに荷電粒子輸送コードTRIMより計算した原子弾き出しについての損傷相関係数は2.5となり、漏れ電流増加に関する実験値とほぼ一致することがわかった。このことは、Si-SDDの中性子損傷(漏れ電流の増加)が原子の弾き出し効果に強く関係し、またエネルギーの異なる中性子による損傷についても原子の弾き出しの計算によって、損傷の予測や評価ができることを意味している。

報告書

(4件)
  • 1995 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1994 実績報告書
  • 1993 実績報告書
  • 研究成果

    (15件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (15件)

  • [文献書誌] Sunarro,T.Iida,et al.: "Soft-error on Memory ICs Induced by D-T Neutrons" J.Nucl.Sci.Technol. 30. 107-115 (1993)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1995 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 宮崎博明、飯田敏行、他: "OKTAVIANを利用したイオンビーム実験" 放射線. 19. 43-48 (1993)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1995 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Iida,Y.Sueyoshi,et al.: "Correlation of DT and DD Fusion Neutron Damage in Silicon Surface Barrier Detectors" Proc.of 8th Workshop on Radiation Detectors and Their Uses. 158-163 (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1995 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Iida,M.Fukuhara,et al.: "Deuteron Fusion Experiment with Ti and Pd Foils Implanted with Deuteron Beams (II)" Trans.Fusion Technol.26. 380-383 (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1995 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Sunarno,T.Iida,et al.: "Soft-Error on Static Random Access Memories Induced by D-T Neutrons" Ionizing Radiation. 21. 75-89 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1995 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Sunarno, T.Iida, J.Datemichi, H.Miyazaki and A.Takahashi: ""Soft-error on Memory ICs Induced by D-T Neutrons"" J.Nucl.Sci.Technol.30 [2]. 107-115 (1993)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1995 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Iida, Y.Sueyoshi, Sunarno and A.Takahashi: ""Correlation of DT and DD Fusion Neutron Damage in Silicon Surface Barrier Detectors"" Proc.of 8th Workshop on Radiation Detectors and Their Uses, KEK. 158-163 (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1995 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Iida, M.Fukuhara, Sunarno, H.Miyamaru and A.Takahashi: ""Deuteron Fusion Experiment with Ti and Pd Foils Implanted with Deuteron Beams (II)"" Trans.Fusion Technol.26. 380-383 (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1995 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Sunarno, T.Iida, Y.Tanimura, F.Satoh and A.Takahashi: ""Soft-Error on Static Random Access Memories Induced by D-T Neutrons"" Ionizing Radiation. 21 [4]. 75-89 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1995 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Sunarno,T.Iida: "Soft-Error on Static Random Access Memories Induced by DT Neutrons" Ionizing Radiation. 21. 75-89 (1995)

    • 関連する報告書
      1995 実績報告書
  • [文献書誌] T.Iida: "Deuteron Fusion Experiments with some Foils Implanted with Deuteron Beams" Genshikaku Kenkyu. 40. 77-83 (1995)

    • 関連する報告書
      1995 実績報告書
  • [文献書誌] T.Iida,et al.: "Fusion Neutron Damage in Si Surface Barrier Detector" Proc.8th Workshop on Radiation Detectors. 158-163 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書
  • [文献書誌] T.Iida,et al.: "Correlation of DT and DD Fusion Neutron Damage in Si-SSD" IEEE Trams.on Nuclear Science. (1994)

    • 関連する報告書
      1993 実績報告書
  • [文献書誌] T.Iida,et al.: "Fusion Neutron Damage in Si Surface Barrier Detector" Proc.8th workshop on Radiation Detectors. (1994)

    • 関連する報告書
      1993 実績報告書
  • [文献書誌] Sunarno,T.Iida,et al.: "Soft-Error on CMOS SRAMICs by Fusion Neutrons" IEEE Trans.on Nuclear Science. (1994)

    • 関連する報告書
      1993 実績報告書

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公開日: 1993-04-01   更新日: 2016-04-21  

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