| 研究課題/領域番号 |
05650057
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| 研究種目 |
一般研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
応用物理学一般
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| 研究機関 | 成蹊大学 |
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研究代表者 |
馬場 茂 成蹊大学, 工学部, 教授 (80114619)
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| 研究分担者 |
中野 武雄 成蹊大学, 工学部, 助手 (40237342)
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| 研究期間 (年度) |
1993 – 1994
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| 研究課題ステータス |
完了 (1994年度)
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| 配分額 *注記 |
2,200千円 (直接経費: 2,200千円)
1994年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
1993年度: 1,200千円 (直接経費: 1,200千円)
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| キーワード | エキソ電子 / フラクトエミッション / 付着力 / X線光電子スペクトル / スクラッチ / 薄膜 / 密着性 |
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| 研究概要 |
マグネトロンスパッタリングによって作製した200nm厚のMgO膜を、X線光電子分光装置(PHI1600型)に導入し、1253.6eVの特性X線を照射して放出される光電子のエネルギースペクトルを測定した。試料にイオンエッチングを加えた場合には、入射X線より高いエネルギーのエキソ電子が検出された。装置に導入された試料は表面の汚れを除くために約20秒のイオンエッチングが施された。その後10^<-8>Pa台の真空中で室温で48時間放置された。この試料にエネルギー3KeV、電流密度15mA/cm^2のArイオンが30秒、1分、2分と照射された。
エキソ電子は、試料に20分間X線を照射する間に出現した。その後10分間の休止期間をおいて、再びX線を照射して放出される電子を観測した。エネルギー範囲1154〜1554eVの電子スペクトルの取得には13秒を要し、15秒毎に繰り返し走査された。
イオン照射が行われた試料からは、通常のMgO膜から観測される光電子スペクトルに加えて、エネルギーの全域に渡る放出電子が検出された。放出特性が特徴的な点は次のようである。(1)このエキソ電子はX線照射の2回目と3回目に、照射直後から発生し、時間とともに少くなり100秒程度でほとんどゼロになる。(2)はじめに照射したイオン量が多い程、エキソ電子の量は多くなる。(3)イオン照射しない試料からはエキソ電子は放出されない。(4)MgO膜の作製条件によっても放出量は変わる。
スパッタエッチングされたMgO膜表面で不安定な位置に固定された原子が高エネルギーの光子を照射され、電子の再配置を伴う過程で誘導放出されている可能性がある。
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