• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

電解液ジェット加工を用いた表面微細パターン成形法

研究課題

研究課題/領域番号 05650110
研究種目

一般研究(C)

配分区分補助金
研究分野 機械工作・生産工学
研究機関東京農工大学

研究代表者

国枝 正典  東京農工大学, 工学部, 助教授 (90178012)

研究分担者 村田 章  東京農工大学, 工学部, 講師 (60239522)
研究期間 (年度) 1993 – 1994
研究課題ステータス 完了 (1994年度)
配分額 *注記
2,400千円 (直接経費: 2,400千円)
1994年度: 500千円 (直接経費: 500千円)
1993年度: 1,900千円 (直接経費: 1,900千円)
キーワード電解加工 / 微細加工 / 噴流 / 有限要素法 / 加工形状シミュレーション / 軸受 / 潤滑
研究概要

電解液ジェット加工は微細なノズルより高圧な電解液を工作物に向けて噴出し、工作物を陽極、ノズルを陰極として極間に電圧を印加して工作物を電解溶出させる加工法である。化学的加工法のため熱影響層や残留応力などの加工変質層がなく、加工量の制御や加工位置の制御は、電流やノズル位置を制御することで容易に行える等の特長を有している。今後さらに半導体への微細なパタ-ニングなどに応用を広めるためには、加工速度の向上、溝幅の縮小化、加工断面形状の制御などが必要である。そのために平成6年度には、使用するノズル、電解液の種類、加工電流、加工電圧等の加工条件に対して、得られる加工形状を予測できるシミュレーション手法を確立することを目的とした。
そのシミュレーションのアルゴリズムは以下に示すとおりである。まず、与えられた加工電流に対して電解液中の電圧降下を仮定し、電解液中の電位分布を有限要素法により計算し、それから工作物面上の電流密度分布を求める。そして、電流密度を工作物面上で積分して理論的な加工電流を求め、これを実測した加工電流と比較する。そして理論値と実測値が一致するときの電解液中の電圧降下を求める。これより改めて電解液中の電位分布と工作物面上の電流密度分布が得られる。次に、求めた電流密度分布と実験的に得られた加工形状を比較して、電流密度と電流効率の関係、ならびに鉄の等価的溶出価数が求められるので、それらを考慮することによって、異なる加工電流やノズル内径に対しても加工形状の予測が可能となる。
本年度は、上のシミュレーションアルゴリズムを確立し、異なる加工条件下で加工形状のシミュレーションを試みた結果、加工形状を精度良く予測できることが分かった。

報告書

(3件)
  • 1994 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1993 実績報告書
  • 研究成果

    (5件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (5件)

  • [文献書誌] M.Kunieda: "Influence of Micro Indents Formed by Electro-Chemical Jet Machining on Rolling Bearing Fatigue Life" ASME PED-Vol.64,Book No.H00861. PED-Vol.64. 693-699 (1993)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 米田康治: "電解液ジェット加工における加工形状シミュレーション" 電気加工技術. Vol.18 No.59. 1-8 (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Kunieda: "Influence of Micro Indents Formed by Electro-Chemical Jet Machining on Rolling Bearing Fatigue Life" ASME. PED-Vol.64, Book No.H00861. 693-699 (1993)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Yoneda: "Simulation of Machined Shape by Electro-Chemical Jet Machining" DENKI-KAKHO-GIJUTSU. Vol.18, No.59. 1-8 (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Kunieda et al.: "Influence of Micro Indents Formed by Electro-Chemical Jet Machining on Rolling Bearing Fatigue Life" ASME PED-Vol.64,Book No.H00861-1993. PED-Vol.64. 693-699 (1993)

    • 関連する報告書
      1993 実績報告書

URL: 

公開日: 1993-04-01   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi