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表面テクスチュア構造を有するミルキーZnO系透明導電膜の開発

研究課題

研究課題/領域番号 05650315
研究種目

一般研究(C)

配分区分補助金
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関金沢工業大学

研究代表者

福田 一郎  金沢工業大学, 工学部, 教授 (10064445)

研究分担者 石井 恂  金沢工業大学, 工学部, 教授 (30222946)
高田 新三  金沢工業大学, 工学部, 教授 (70064467)
研究期間 (年度) 1993 – 1994
研究課題ステータス 完了 (1994年度)
配分額 *注記
2,100千円 (直接経費: 2,100千円)
1994年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
1993年度: 1,100千円 (直接経費: 1,100千円)
キーワードZnO系透明導電膜 / 表面テクスチュア / ミルキー透明導電膜 / 透明導電膜 / ヘイズ率 / スパッタ透明導電膜 / ZnO:Al / CVD / TCO / 太陽電池用透明電極 / ZnO / AlドープZnO / 表面テクスチャー / ミルキー膜 / 透明電極
研究概要

本研究は、抵抗率3×10^<-4>Ωcm以下の高性能な表面テクスチュア構造を有するいわゆるミルキーZnO系透明導電膜を大面積基板上に、350℃以下の低温で作製出来る技術の開発を目指している。具体的には、可視光域でのヘイズ率を20〜90%の範囲で制御でき、しかも近赤外域での拡散透過率が85%以上を有するAl添加ZnO系ミルキー透明導電膜の成膜技術を確立することである。
これまでのところ、CVD法と直流マグネトロンスパッタ法の両者で成膜した。得られた知見は以下の通りである。先ず、CVD法では、1)Znソースとして亜鉛アセチルアセトネート、酸素ソースとして水もしくは過酸化水素が適していることを突き止めた。さらに、膜の低抵抗化を達成するために、ドーパントとしてAlの導入が不可欠であり、Alアセチルアセトネートを採用し、350℃の低温基板上に7×10^<-3>Ωcmを達成出来た。その時、85%以上の平均可視光透過率を実現した。また、ヘイズ率は500nmで62%まで制御することが出来た。一方、直流マグネトロンスパッタ法では、ガス圧80Paという高圧力の下で2段階成膜というプロセスを採用する事によって、1)200℃という低温基板上に抵抗率4×10^<-4>Ωcm、平均シート抵抗3.2Ω/□、ヘイズ率16%と、単層膜の場合に比べて大幅に性能の向上を図ることができた。
以上の結果から、CVD法では実用レベルに近い特性を実現出来たが、今後、抵抗率をさらに低くする工夫が必要である。スパッタほうではAl導入量をを2%までの範囲で制御することにより低抵抗化と近赤外域での光透過率を制御できることが分かった。

報告書

(3件)
  • 1994 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1993 実績報告書
  • 研究成果

    (12件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (12件)

  • [文献書誌] H.Sato et al.: "Transparent conducting ZnO thin films prepared on low temperature substrate by CVD using Zn(C5H7O2)2)" Thin Solid Films. 246. 65-70 (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Sato et al.: "Alumlnium content dependence of milky transparent conducting ZnO : Al with textured surface prepared by dc magnetron sputtering" Thin Solid Films. 246. 86-91 (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Minami et al.: "Preparation of milky transparent conducting ZnO films with textured surface by atmospheric CVD using (Zn(C5H7O2)_2)" Thin Solid Films. 253. 14-19 (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Minami et al.: "Transparent and conductive ZnO thin films prepared by atmospheric-pressure CVD using zine acetylacetonate" Jpn.J.Appl.Phys.33. L743-L746 (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Sato, T.Minami, T.Miyata, S.Takata and M.Ishii: ""Transparent conducting ZnO thin films prepared on low temperature substrates by chemical vapor deposition using Zn(C_5H_7O_2)_2"" Thin Solid Films. 246. 65-70 (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Sato, T.Minami, Y.Tamura and S.Takata: ""Aluminium content dependence of milky transparent conducing ZnO : Al films with textured surface prepared by d.c. magntron sputtering"" Thin Solid Films. 246. 86-91 (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Minami, H.Sonohara, S.Takata and H.Sato: ""Transparent conductive ZnO thin films prepared by atomospheric-pressure chemical vapor deposition using zinc acethylacetonate"" Jpn.J.Appl.Phys.33. L743-L746 (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Minami, H.Sato, H.Sonohara, S.Takata and I.Fukuda: ""Preparation of milky transparent conducting ZnO films with textured surface by atomospheric chemical vapor deposition using Zn(C_5H_7O_2)_2"" Thin Solid Films. 253. 14-19 (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Sato: "Transparent Conducting ZnO Thin Films Prepared on Low Temperature Substrate by Chemical Vapor Deposition Using Zn(C_5H_7O_2)_2" Thin Solid Films. 246. 65-70 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書
  • [文献書誌] H.Sato: "Aluminium Content Dependence of Milky Transparent Conducting ZnO:Al Films with Textured Surface Prepared by d.c.Magnetron Sputterir" This Solid Films. 246. 86-91 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書
  • [文献書誌] T.Minami: "Preparation of Milky Transparent Conducting ZnO Films with Textured Surface by Atmospheric Chemical Vapor Deposition Using Zn(C_5H_7O_2)_2" Thin Solid Flims. 253. 14-19 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書
  • [文献書誌] Tadatsugu Minami: "Transparent and Conductive ZnO Thin Films Prepared by Atmospheric-Pressure Chemical Vapor Deposition Using Zinc Acetylacetonate" Jpn.J.Appl.Phys.33. L743-L746 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書

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公開日: 1993-04-01   更新日: 2016-04-21  

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