| 研究課題/領域番号 |
05650669
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| 研究種目 |
一般研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
構造・機能材料
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| 研究機関 | 長岡技術科学大学 |
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研究代表者 |
伊藤 義郎 長岡技術科学大学, 工学部, 助教授 (60176378)
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| 研究分担者 |
中村 奨 長岡工業高等専門学校, 助教授 (10217854)
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| 研究期間 (年度) |
1993 – 1994
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| 研究課題ステータス |
完了 (1994年度)
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| 配分額 *注記 |
2,400千円 (直接経費: 2,400千円)
1994年度: 1,600千円 (直接経費: 1,600千円)
1993年度: 800千円 (直接経費: 800千円)
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| キーワード | 薄膜 / レーザー / 有機金属 / 光分解 / 堆積 / 低温 / 表面 / 吸着分子 / 有機金属化合物 |
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| 研究概要 |
本研究は、有機金属化合物を冷却した基板上に凝結させ、エキシマーレーザー光を照射し、それによる光分解反応を利用して金属の薄膜を析出させるという、新しい薄膜作成法の開発を目的とし、とくに以下のことを目標に研究を行った。
1.薄膜を作成するための条件を検討し、本方法を確立する。
2.形成された薄膜の物性と形成反応とを調べ、その特徴を明らかにする。
照射レーザーにはXeClおよびKrFレーザーを用いた。本研究の成果を要約すると以下のようになる。
1.Cu(DPM)_2,Cu(HFA)_2を原料に用いて、液体窒素で冷却したガラス基板上に薄膜の堆積を試みた結果、粒径の揃った鱗粉状の構造の薄膜を得た。
2.ニケロセンを原料物質に用いた場合、Niからなる比較的均一な厚さの薄膜が得られた。不純物としてはCは少なくOが比較的多かった。成膜速度はレーザーの条件によって変化するが、1Å/s程度の早い成膜速度を得ることが出来た。
3.ペンタカルボニル鉄を原料物質に用いた場合、Feおよび鉄酸化物からなる比較的均一な厚さの薄膜が得られた。不純物としてはCは少なかった。成膜速度はレーザーの条件、特に波長によって変化するが、3Å/s程度の早い成膜速度を得ることが出来た。
このように、本研究を通じて低温基板上の原料物質をレーザー光分解することにより薄膜を堆積させる、という新しい薄膜堆積法(Low-Temperature Photo Chemical Deposition,LTPCD)を確立し、その有効性を示すことが出来た。
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