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機能性酸化物の酸素吸収・放出特性およびそれに及ぼす溶解水素の影響

研究課題

研究課題/領域番号 05650729
研究種目

一般研究(C)

配分区分補助金
研究分野 金属生産工学
研究機関大阪大学

研究代表者

八尾 伸也  大阪大学, 工学部, 助教授 (90029299)

研究期間 (年度) 1993 – 1994
研究課題ステータス 完了 (1994年度)
配分額 *注記
2,200千円 (直接経費: 2,200千円)
1994年度: 700千円 (直接経費: 700千円)
1993年度: 1,500千円 (直接経費: 1,500千円)
キーワードITO / 透明電極 / 水素の溶解 / 水蒸気の溶解 / C-希土類似構造 / 希土類酸化物 / 酸素の放出 / 電気伝導度 / 電気伝導率 / 透明電導体 / 酸素吸収 / 酸素放出 / ドメイン構造
研究概要

ITO(In_2O_3-SnO_2)粉末の酸素放出,吸収現象を追究し,10^<-4>atmにおける酸素分圧-酸素濃度-温度曲線,{P(O_2)-C(O)-T}曲線を作成した。曲線は昇降温に依存して変化した。粉末X線回折手法による析出物の同定はできなかったことから,数原子単位で似たような結晶構造が混じりあったドメイン構造をとっており,その界面エネルギーが変化することにより,酸素の放出,吸収が異なってくる,と結論した。湿った空気中にいITOを放出して水素あるいは水蒸気の導入を試み,その後に酸素の吸収を測定した。結果は放置前のITOと同じ結果となり,純粋なITOへの水素,水蒸気の溶解は小さいと結論した。しかし,実際のITO製品には含まれる不純物に起因した酸素欠陥の存在下で溶解する水素,水蒸気の量は無視できないはずである。水素,水蒸気の溶解機構を知るため,ITOと同じC-希土類似構造を有する化合物の中で,A_nO_<2n-2>構造をとるSc_2O_3-HfO_2系の化合物,およびパイロクロア型化合物のLa_2Zr_2O_7の2種類について水素,水蒸気の溶解量を調べた。両化合物ともに水素,水蒸気の溶解は無視できるほど小さかったが,In_2O_3が微量に含まれると,La_2Zr_2O_7への明瞭な水蒸気の溶解が認められた。La,Zrの電荷は3^+,4^+とITOの場合と同じであり,不純物を含んだITOへの水蒸気の溶解は今後も研究を続ける必要のあることがわかった。またこの研究を通じて溶解H_2Oの検出技術を確立できた。ITOの酸素の吸収,放出と電気伝導率の変化の測定も試みた。両者は比較的対応している反面,対応していない部分も認められた。この後者については水蒸気の影響,あるいは他のガス成分の吸着による表面伝導の変化によるとみられ,今後の研究の重要なターゲットになることを確認できた。

報告書

(3件)
  • 1994 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1993 実績報告書
  • 研究成果

    (6件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (6件)

  • [文献書誌] 八尾 伸也: "ITO(In_2O_3-SnO_2)粉末の酸素放出特性と化学ヒステリシス" 資源・素材関係学協会秋季大会分科研究会資料. 36-41 (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 八尾 伸也: "ITO(In_2O_3-SnO_2)粉末の酸素放出特性と化学ヒステリシス" 日本金属学会シンポジウム"半導体材料製造プロセスの高温物理化学. 1. 41-44 (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Shinya Yao: "Oxygen Evolution Properties of ITO (In_2O_3-SnO_2) Powders and The Chemical Hysteresis" MMIJ Fall-Meeting, Text. X. 36-41 (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Shinya Yao: "Oxygen Evolution Properties of ITO (In_2O_3-SnO_2) Powders and The Chemical Hysteresis" JIM Symposium "High Temperature Physical Chemistry on the Production Process of Semiconductor Materials Process. 1. 41-44 (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 八尾伸也: "ITO(In_2O_3-SnO_2)粉末の酸素放出特性と化学ヒステリシス" 資源・素材関係学協会秋季大会分科研究会資料. X. 36-41 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書
  • [文献書誌] 八尾伸也: "ITO(In_2O_3-SnO_2)粉末の酸素放出特性と化学ヒステリシス" 日本金属学会シンポジウム″半導体材料製造プロセスと高温物理化学″予縞集. 1. 41-44 (199)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書

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公開日: 1993-04-01   更新日: 2016-04-21  

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