内殻励起に起因する表面分子脱離機構の研究

• 研究課題/領域番号: 05740211
• 研究種目: 奨励研究(A)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 固体物性Ⅰ(光物性・半導体・誘電体)
• 研究機関: 岡崎国立共同研究機構
• 研究代表者: 間瀬 一彦 岡崎国立共同研究機構, 分子科学研究所, 助手 (40241244)
• 研究期間 (年度): 1993
• 研究課題ステータス: 完了 (1993年度)
• 配分額: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円); 1993年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
• キーワード: 表面物性 / 内殻励起 / 反応動力学 / 放射光 / 光刺激脱離

研究概要

内殻励起に起因する表面分子脱離機構の研究は、(1)基礎科学的な研究対象として重要であるにもかかわらず、これまで研究がほとんど進んでいない、(2)特定原子の内殻励起に起因する選択的表面化学反応の研究など、新しい基礎研究分野の開拓に貢献する、(3)表面エッチング、光表面ディポジションなどの応用研究への波及効果も大きい、などの点で将来性の大きい重要な研究分野である。本研究では、表面分子脱離機構を研究するために、軌道放射光を試料表面に照射して、放出電子をエネルギー選別して測定するとともに脱離したイオンを検出する手法(電子・イオン同時測定法)の開発を行なった。
本装置は超高真空槽、試料作製装置、低速電子回折装置、励起光導入ポート、電子銃、円筒鏡面型電子エネルギー分析装置、飛行時間型イオン質量分析器から構成される。超高真空槽はターボ分子ポンプとゲッターポンプで排気し、到達真空度は1×10^<-10>Torrである。超高真空内で試料を作製したのち、励起光を照射し、表面放出電子のエネルギーを分析する。このとき同時に生成するイオンを飛行時間型質量分析器で検出して、表面吸着分子のどのような電子励起状態からどのような表面脱離イオンが生じるかについて詳細な実験を行なうことを計画している。励起光源としては、分子科学研究所の軌道放射光施設(UVSOR)を利用する予定である。現在、装置の部品が揃った段階であり、今後は、測定用エレクトロニクスを整備して、装置の動作テストおよび実験を行なう予定である。
本科研費補助金の設備備品費と消耗品費は電源等の購入にあてた。また、旅費は本研究推進のための情報収集のための出張費として活用し、謝金は研究補助のためのアルバイト料として使用した。