真空蒸着における不純物放出をおさえた蒸発源の試作

• 研究課題/領域番号: 05914013
• 研究種目: 奨励研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 物理
• 研究機関: 山形大学
• 研究代表者: 長沼 博 山形大学, 工学部, 技術系職員
• 研究期間 (年度): 1993
• 研究課題ステータス: 完了 (1993年度)
• 配分額: 210千円 (直接経費: 210千円); 1993年度: 210千円 (直接経費: 210千円)