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アーク放電法における高効率フラーレン生成条件とプラズマパラメータ

研究課題

研究課題/領域番号 06224216
研究種目

重点領域研究

配分区分補助金
研究機関豊橋技術科学大学

研究代表者

榊原 建樹  豊橋技術科学大学, 工学部, 教授 (10023243)

研究分担者 滝川 浩史  釧路高等専門学校, 助教授 (90226952)
研究期間 (年度) 1994
研究課題ステータス 完了 (1994年度)
配分額 *注記
2,000千円 (直接経費: 2,000千円)
1994年度: 2,000千円 (直接経費: 2,000千円)
キーワードフラーレン / プロセスパラメータ / プラズマパラメータ / スペクトル計測 / 発光スペクトル / 吸収スペクトル
研究概要

最も効率的にフラーレンを生成できるプロセスパラメータを種々の手法を駆使して追求した。これまで、重要なプロセスパラメータは圧力や電極間ギャップ長であると言われていたが、本研究では、雰囲気ガスをヘリウム、電流は直流とし、圧力、電流値、ギャップ長、電極直径、冷却半径、および陰極材料をパラメータとして、フラーレンを生成した。新しく作成したアークチャンバは、ギャップ長を容易に制御できる構造とした。一方、アーク電圧をモニターすることににより、電極間ギャップ長を正確に制御できる手法を開発した。平行して、プラズマパラメータ、すなわち、プラズマ構成粒子、温度の空間分布、粒子の空間分布を計測した。まず、フラーレンを生成しているプラズマ空間からの発光スペクトルをモノクロメータを用いて全波長に渡って計測した。次に、フレーレンに特有なスペクトルに着目し、その微細構造を高精度モノクロメータ(ジョバン-イボン社、520-13-11T)で計測した。さらに、特定のスペクトルの放射強度の時間変動を、アーク電圧・電流の変動とともに計測した。このような計測を実施することによって、フラーレンが生成される最適なプラズマパラメータが特定できた。また、連続放射光源を用いて、プラズマ空間におけるフラーレンによる吸収スペクトルを計測した。このことにより、フラーレンが生成されるプラズマ領域が特定でき、フラーレンが生成されるメカニズムを見いだすことが可能となった。

報告書

(1件)
  • 1994 実績報告書
  • 研究成果

    (4件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (4件)

  • [文献書誌] 松尾,滝川,飯嶋,榊原: "高温炭素蒸気からの放射スペクトルとフラーレン生成用炭素アークの温度" 電気学会論文誌A. 114. 869-874 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書
  • [文献書誌] 中川,松尾,滝川,榊原: "希ガス中アーク放電におけるフラーレン生成と放射スペクトル" 第8回フラーレン総合シンポジウム講演要旨集. 74-78 (1995)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書
  • [文献書誌] 松尾,飯嶋,滝川,榊原: "フラーレン生成に及ぼす電極電流密度の影響とアークの温度分布" 第8回フラーレン総合シンポジウム講演要旨集. 79-83 (1995)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書
  • [文献書誌] M.Sakaki,T.Sakakibara: "Excitation,Ionization,and Reaction Mechanism of a Reactive Cathodic Arc Depostion of TiN" IEEE Transactions on Plasma Science. 22. 1049-1054 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書

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公開日: 1994-04-01   更新日: 2018-06-07  

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