| 研究課題/領域番号 |
06402027
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| 研究種目 |
一般研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
応用光学・量子光工学
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
西原 浩 大阪大学, 工学部, 教授 (00029018)
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| 研究分担者 |
藤村 昌寿 大阪大学, 工学部, 助手 (80263218)
裏 升吾 大阪大学, 工学部, 助手 (10193955)
栖原 敏明 大阪大学, 工学部, 助教授 (90116054)
春名 正光 大阪大学, 医学部, 教授 (20029333)
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| 研究期間 (年度) |
1994 – 1995
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| 研究課題ステータス |
完了 (1995年度)
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| 配分額 *注記 |
26,300千円 (直接経費: 26,300千円)
1995年度: 9,100千円 (直接経費: 9,100千円)
1994年度: 17,200千円 (直接経費: 17,200千円)
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| キーワード | 光集積回路 / 光導波路 / 光学デバイス / 薄膜堆積技術 / グレーティング / 集積光学 / 光機能性高分子 |
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| 研究概要 |
本研究では、3次元光集積回路網の実現可能性を探るため、導波路の多積層化、導波路間機能的結合、等を理論的・実験的に検討することを目的としている。本研究で得られた主な具体的成果は以下のとおりである。
1.グレーティングカップラによる2階積層導波路の結合特性を、理論解析により明らかにした。
2.2階積層導波路を逆方向に伝搬する光波を、グレーティングカップラにより波長選択結合させる素子を、提案、設計、作製し、その波長フィルタ特性を実験的に確認した。
3.誘電体ガラス薄膜導波路を2階に積層させ、1階の導波路にビーム出射用、2階の導波路に入射ビーム偏光回転検出用のグレーティングカップラを開口を一致させて集積する光集積デバイスを提案し、その設計・作製・特性評価を行い、機能別導波路の積層およびそのデバイスへの応用における有用性・可能性を示した。
4.無機誘電体薄膜と光機能性高分子薄膜との積層化として、高分子薄膜のスピン塗布・微細加工とガラス薄膜のスパッタ・微細加工を併用して多層導波路を作製し、導波の確認を行った。
5.LiNbO3薄膜をサファイア基板上にレーザアブレーションにより堆積させることを試み、得られた薄膜の膜質、結晶性、光学特性を評価し、良好な導波路を得るための知見を得た。
6.グレーティングカップラ結合の機能化をはかるために、3次回折によるDBR条件を制御して、1次回折による出力光のスイッチングを行うことを提案、設計、作製し、その動作原理を実証した。
7.高屈折率半導体導波路にグレーティングカップラを含むグレーティング素子群の集積化および半導体レーザとの集積化に成功した。
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