• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

新しい高導電性透明薄膜の作製技術

研究課題

研究課題/領域番号 06555206
研究種目

試験研究(B)

配分区分補助金
研究分野 構造・機能材料
研究機関東京工業大学 (1995)
岡崎国立共同研究機構 (1994)

研究代表者

川副 博司  東京工業大学, 工業材料研究所, 教授 (80087288)

研究分担者 丹治 宏彰  HOYA(株), 材料研究所, グループリーダー
植田 尚之  岡崎国立共同研究機構, 分子科学研究所, 助手 (00261123)
細野 秀雄  岡崎国立共同研究機構, 分子科学研究所, 助教授 (30157028)
研究期間 (年度) 1994 – 1995
研究課題ステータス 完了 (1995年度)
配分額 *注記
8,100千円 (直接経費: 8,100千円)
1995年度: 3,600千円 (直接経費: 3,600千円)
1994年度: 4,500千円 (直接経費: 4,500千円)
キーワード透明電極 / イオン注入 / スピネル / 紫外透明電極 / 透明伝導体 / キャリア生成 / アモルファス伝導体
研究概要

本研究の成果を以下に要約する。
1)n型高伝導性ワイドギャップ酸化物の単結晶作製技術の確立。ZnGa204およびGa203について、前者はフラックス法により、後者はフラックス法および帯溶融法により単結晶作製を行いその条件を確定した。
2)単結晶に対するド-ピング手法の発見。上述の2者は、特に単波長まで(250nm)透明なウルトラワイドギャップ結晶である。これらに対し、酸素分圧制御によって酸素欠陥濃度を変え、伝導率を10ケタにわたって変化させ得ることを発見した。Ga203の場合は、ルチル鎖方向の易動度がそれと垂直方向の値の20倍大きいこと、即ちルチル鎖が電子伝導路であることを実証した。またZnGa204の場合は、酸素欠損の生成がGa/Zn比をGa過剰にし、同時に構造を欠陥NaCl型に変えることを見出した。
3)アモルファス透明金属の発見。CdO-GeO2,CdO-PbO2系に関し、ガラス状態で光学的に透明あるにもかかわらず金属的伝導性をもつ物質を発見し薄膜化技術を確立した。本材料は、光と電子を同時に輸送できる導波路を形成する素材である。
4)ワイドギャップ酸化物p型伝導体を作製する方法論を提案した。第一は、ns2電子配置をもつn-blockカチオン系を選択し、原子価帯上端部を構成する酸素の2p軌道とのmixingをはかり、正孔の易動度が大きくなることをねらうものである。第二は、nd10レベルと酸素の2pとの混合を意図するもので、この場合は1価の銅、銀、金が対象となる。

報告書

(3件)
  • 1995 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1994 実績報告書
  • 研究成果

    (24件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (24件)

  • [文献書誌] Hideo Hosono: "Optical and Electrical Properties of Proton-Implanted Amorphous SiO2,GeO2-SiO2,MgO-P205 and Nanocrystalline MgIN204 : Novel---" Journal of Non-Crystalline Solids. 182. 109-118 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1995 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Hideo Hosono: "Conversion of Insulating Thin Film of MgIn204 into Transparent Conductors by Ion Implantation" Nuclear Instruments and Methods in Physical Research B. 106. 517-521 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1995 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Hiroshi Mizoguchi: "Electrical Properties of Bi2S3 Whiskers" Journal of Applied Physics. 78[2]. 1376-1378 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1995 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Hiroshi Mizoguchi: "Formation and Optical Absorption Spectra of Mixed Valence State of T1 in Tl2Nb206+x with Pyrochlore Structure" Bulletin of the Chemical Society of Japan. 69[1]. 111-115 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1995 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Hiroshi Mizoguchi: "Features of Valence Band Structure of TlAlF4" Journal of Physics Condensed Matter. 8. 303-312 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1995 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Takahisa Omata: "Electronic Structure of Hole-Doped Sr1+xLa1-xFeO4 Studied by UPS and XAS" Physical Review B. 49[15]. 10200-10205 (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1995 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Hosono, N.Ueda, H.Kawazoe, and N.Matsunami: "Optical and Electrical Properties of Proton-Implanted Amorphous SiO_2, GeO_2-SiO_2, MgO-P_2O_5 and Nanocrystalline MgIn_2O_4 : novel materials by proton implatation" J.Non-Crystalline Solids. Vol.182. 109-118 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1995 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Hosono, H.Un'no, N.Ueda, H.Kawazoe, N.Matsunami, and H.Tanoue: "Conversion of Insulating Thin Films of MgIn_2O_4 into Transparent Conductors by Ion Implanation" Nuclear Instruments and Methods in Physical Research. B,Vol.106. 517-521 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1995 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Mizoguchi, H.Hosono, N.Ueda, andH.Kawazoe: "Preparation and Electrical Properties of Bi_2S_3 whiskers" J.Applied Physics. Vol.78, No.2. 1376-1378 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1995 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Mizoguchi, H.Kawazoe, T.Ueda, S.Hayashi, H.Hosono, and T.Ueda, S.Hayashi, H.Hosono, and N.Ueda: "Formation and Optical Absorption Spectra of Mixed Valence State of Tl in Tl_2Nb_2O_<6+x> with Pyrochlore Structure" Bulletin of Chemical Society of Japan. Vol.69, No.1. 111-115 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1995 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Mizoguchi, T.Omata, H.Kawazoe, S.Fujitsu, H.Hosono, and N.Ueda: "Features of Valence Band Structure of TlALF_4" J.Physics Condensed Master. Vol.8. 303-312 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1995 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Omata, K.Ueda, H.Hosono, T.Miyazaki, S.Hasegawa, N.Ueda, and H.Kawazoe: "Electronic Structure of Hole-Doped Sr_<1+x>La_<1-x>FeO_4 Studied by UPS and XAS" Physical Review B. Vol.49, No 15. 10200-10205 (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1995 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Hideo Hosono: "Optical and Electrical Properties of Proton-Implanted Amorphous SiO2,GeO2-SiO2,MgO-P205 and Nanocrystalline MgIb204: Novel---" Journal of Non-Crystalline Solids. 182. 109-118 (1995)

    • 関連する報告書
      1995 実績報告書
  • [文献書誌] Hideo Hosono: "Conversion of Insulating Thin Film of MgIn204 into Transparent Conductors by Ion Implantation" Nuclear Instruments and Methods in Physical Research B. 106. 517-521 (1995)

    • 関連する報告書
      1995 実績報告書
  • [文献書誌] Hiroshi Mizoguchi: "Electrical Properties of Bi2S3 Whiskers" Journal of Applied Physics. 78[2]. 1376-1378 (1995)

    • 関連する報告書
      1995 実績報告書
  • [文献書誌] Hiroshi Mizoguchi: "Formation and Optical Absorption Spectra of Mixed Valence State of Tl in Tl2Nb206+x with Pyrochlore Structure" Bulletin of the Chemical Society of Japan. 69[1]. 111-115 (1996)

    • 関連する報告書
      1995 実績報告書
  • [文献書誌] Hiroshi Mizoguchi: "Features of Valence Band Structure of TlAlF4" Journal of Physics Condensed Matter. 8. 303-312 (1996)

    • 関連する報告書
      1995 実績報告書
  • [文献書誌] Takahisa Omata: "Electronic Structure of Hole-Doped Sr1+xLa1-xfe04 Studied by UPS and XAS" Physical Review B. 49[15]. 10200-10205 (1994)

    • 関連する報告書
      1995 実績報告書
  • [文献書誌] Hiroshi Kawazoe: "Annual Reports on NMR Spectroscopy" Academic Press, 328 (1994)

    • 関連する報告書
      1995 実績報告書
  • [文献書誌] H.Kawazoe: "Generation of electron carriers in insulating thin film of MgIn_2O_4 spinel by Li^+ implantation" Journal of Applied Physics. 76. 7935-7941 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書
  • [文献書誌] M.Yasukawa: "Preparation of electroconductive and transparent thin films of AgSbO_3" Journal of Ceramic Society of Japan. 103(in press). (1995)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書
  • [文献書誌] M.Yasukawa: "Novel transparent and electroconductive amorphous semiconductor;Amorphous AgSbO_3 film" Japanese Journal of Applied Physics. 34(in press). (1995)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書
  • [文献書誌] 川副博司: "新しい透明導電性セラミックス" 化学と工業. 47. (1994)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書
  • [文献書誌] 川副博司: "新しい透明導電性セラミックス" 化学と工業. 47. (1994)660-662

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書

URL: 

公開日: 1994-04-01   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi