• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

オゾン処理によるアルミニウム合金材料表面の高機能化

研究課題

研究課題/領域番号 06555216
研究種目

試験研究(B)

配分区分補助金
研究分野 材料加工・処理
研究機関宮城工業高等専門学校

研究代表者

百瀬 丘  宮城工業高等専門学校, 電気工学科, 教授 (90006271)

研究分担者 蓼沼 克嘉  KK. 化研DK戸研究所, 高度技術開発部, 代表
研究期間 (年度) 1994 – 1995
研究課題ステータス 完了 (1995年度)
配分額 *注記
3,300千円 (直接経費: 3,300千円)
1995年度: 700千円 (直接経費: 700千円)
1994年度: 2,600千円 (直接経費: 2,600千円)
キーワードオゾン処理 / 超高真空材料 / アルミニウム合金 / ステンレススティール / チタン / 表面汚染除去 / 熱的ガス放出 / 動的ガス放出 / 表面汚染の除去 / 熱的ガス放出率 / 動的ガス放出率
研究概要

オゾン処理をしてa.アルミチェンバーのガス放出率測定,b.中古イオンポンプ(ステンレス鋼,チタン製)の機能回復の可否,c.アルミ箔の脱脂,を試みた.
実験 a.処理,未処理チェンバーのガス放出率を測定した
b.処理,未処理イオンポンプの排気系を起動し,圧力変化を測定した.
c.脱脂条件として処理温度と時間をパラメーターに選び,2系統の実験をした.比較のために実際の現場で行われる熱処理のみの場合も実験した.
結果 a.処理(37時間)チェンバーのガス放出率は未処理のものに比べ,ベ-キング前1/2,ベ-キング中の吸着ガスは1/6,ベ-キング後は同程度だった.b.処理(40時間)ポンプは2x10^<-8>Torrに達するのに600分,未処理では10^4分で,一桁以上改善された.その圧力でのガス放出率は処理したものは未処理のものの2/3であった.c.処理を6時間,温度をパラメーターとした時,150℃において残留油分は未処理の1/3となって工業レベルを満たし,熱処理のみのものと比較してもその2/3と優れている。又,温度150℃で時間をパラメーターにした時,6時間で工業レベルを満たした.
まとめ オゾン処理条件の変化による効果が解った.チタン,ステンレス綱にも有効である.脱脂への応用も可能である.今後は表面加工法との関係,動的ガス放出率,現場と同一条件での試験,酸化メカニズムの調査を行う.

報告書

(3件)
  • 1995 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1994 実績報告書
  • 研究成果

    (18件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (18件)

  • [文献書誌] T. Momose: "Carbon-free surfaces on aluminum alloys exposed to synchrotron radiation" 宮城工業高等専門学校研究紀要. 21-25 (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1995 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T. Momose: "Aliminum oxide surface with no carbon detected on the surface and sputter-profiled layer by Auger electron spectroscopy" KEK preprint 94-7,高エネルギー研究所. 1-11 (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1995 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T. Momose: "O_3 terated metal surfaces with less carbon detected on the surface and in the sputler-piofiled layer by AES" 宮城工業高等専門学校研究紀要. 23-29 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1995 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T. Momose: "Auger electron spectroscopy characterization of aluminum alloy exposed to syuchrotron radiation" J. Vac. Sci. Technol. A. 13. 488-492 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1995 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T. Momose: "Surface analysis of carbon on ozone treated metals" J. Vac. Sci. Technol. A. 13. 515-519 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1995 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Momose, K.Asano, N.Ohta, Y.Kanda, and H.Ishimaru: ""Auger electron spectroscopy characcterization of aluminum alloy exposed synchrotron radiation"" J.Vac. Sci. Technol.A12 (3). 488-492 (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1995 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Momose, N.Yamada, K.Asano, and H.Ishimaru: ""O_3treated meatlsurfaces with less carbon detected on the surface and in the sputter-profiled layr by Auger electron spectroscopy"" American Vacuum Society, 41st National Symposium, Colorado Convention Center, Denver, Colorado, USA, Oct.24-28, 1994.

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1995 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Momose: ""O_3treated meatlsurfaces with less carbon detected by Auger electron spectroscopy" IUVSTA International Workshop on "Wall conditioning in large UHV devies"" Chavannes de Bogis-Switzerland, 27th Feb. to 3rd March 1995.

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1995 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Momose, and H.Ishimaru: ""Surface characteristics of aluminum and of several metals from view pintto reduce dynamic gas desorption"" International Workshop on Interraction of Gases and Soilds Affecting Vacuum Processes, 28th of May to 1st of June 1995, Magdeburg, Germany.

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1995 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Momose, Y.Maeda, K.Asano, and H.Ishimaru: ""Surface analysis of carbon on ozone treated metals" J.Vac. Sci. Technol.A13 (3). 515-519 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1995 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Momose, K.Asano, Y.Katou and H.Ishimaru: ""Surface characteristics of aluminum and of several metals from view piontto reduce dynamic gas desorption"" Vacuum.(accepted).

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1995 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Momose: "Carbon‐free surfaces on aluminum alloys exposed to syuchrotron radiation" 宮城工業高等専門学校研究紀要. 21-25 (1994)

    • 関連する報告書
      1995 実績報告書
  • [文献書誌] T.Momose: "Aluminum Oxide Surface mrth No Carbon Detected on the Surface and in this sputter‐profiled Loyer by Auger Electron Spectroscopy" KEK preprint 94‐7. -11 (1994)

    • 関連する報告書
      1995 実績報告書
  • [文献書誌] T.Momose: "O_3 treated metal surfaces with less carbon detected on the surface and in the sputter‐protiled layer by Auger Electron Spectroscopy(AES)" 宮城工業高等専門学校研究紀要. 23-29 (1995)

    • 関連する報告書
      1995 実績報告書
  • [文献書誌] T.Momose: "Auger Electron Spectroscopy characterization of aluminum allog exposed to synchrotron rodiation" J. Vac, Sci. Techunol. A. 13. 488-492 (1995)

    • 関連する報告書
      1995 実績報告書
  • [文献書誌] T.Momose: "Surface auslysis of carbon on ozone treated metals" J. vac. Scir. Teclinol,A. 13. 515-519 (1995)

    • 関連する報告書
      1995 実績報告書
  • [文献書誌] 百瀬 丘: "Ozone Treated Metal Surfaces with Less Carbon Detated on the Surface and in the Sputter‐Profiled Layer by Auger Electron Spectroscopy(AES)" 宮城工業高等専門学校 研究紀要. 31. 23-30 (1995)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書
  • [文献書誌] 百瀬 丘: "Auger Electron Spectroscopy Charactexization of Aluminium Alloy Exposed to Synchrotron Radiation" Journal of Vacuam Science&Technology A. 13. (1995)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書

URL: 

公開日: 1994-04-01   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi