• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

高温Si(111)1×1面の表面原子構造

研究課題

研究課題/領域番号 06640435
研究種目

一般研究(C)

配分区分補助金
研究分野 固体物性Ⅰ(光物性・半導体・誘電体)
研究機関電気通信大学

研究代表者

名取 晃子  電気通信大学, 電気通信学部, 助教授 (50143368)

研究期間 (年度) 1994 – 1995
研究課題ステータス 完了 (1995年度)
配分額 *注記
1,600千円 (直接経費: 1,600千円)
1995年度: 600千円 (直接経費: 600千円)
1994年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
キーワードSi(111) / 表面融解 / Tersoff-Dodsonポテンシャル / モンテカルロシミュレーション / 短距離秩序構造 / スティリンジャ・ウェーバーポテンシャル / テルソフ型ポテンシャル / ステップバンチング
研究概要

Si(111)面の7×7表面再構成温度T_cより,低温側と高温側の表面原子構造を調べた。
T_cより低温側のSi(111)微斜面のステップ構造を,TSKモデルに基づいたモンテカルロシミュレーションを用いて調べた。7×7表面再構成に起因したステップバンチンング構造を、7×7表面再構成ユニット間の引力相互作用とステップ間の斥力相互作用の競合で説明した。
√<3>×√<3>Ag/Si(111)面に銀を蒸着したときの表面コンダクタンスの変化と表面原子構造の相関を格子ガスモデルに基づいて調べた。表面コンダクタンスの変化は銀アドアトム濃度と強い相関を持つことを見い出した。
T_cより高温域の、いわゆる1×1構造の表面原子構造と原子ダイナミクスを調べた。T_cより高温域の1×1Si(111)面には多くのSiアドアトムが存在することが、RHEED、LEED、STM等の実験で確認されている。3体力まで考慮されたTersoff-Dodson型の経験的原子間ポテンシャルを用い、Siアドアトムの表面ポテンシャル分布の計算と、1×1Si(111)面の熱平衡状態での表面原子構造と原子ダイナミクスのモンテカルロシミュレーションを行なった。Siアドアトムの表面ポテンシャル分布の計算より、Siアドアトムの表面拡散係数と蒸発速度の評価を行なった。臨界濃度以上のSiアドアトムが存在する場合は、バルクの融点以下の高温でSi(111)面は表面融解を起こす事が示された。表面融解の層数は温度に依存する。融解層のSi原子の拡散係数は、Siアドアトムの拡散係数と同程度の大きさを持つが示された。

報告書

(3件)
  • 1995 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1994 実績報告書
  • 研究成果

    (7件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (7件)

  • [文献書誌] A.Natori: "Step bunching induced by 7×7 reconstruction on vicinal Si(111)" Proc.22nd Int.Conf.On Physics of Semicarductors. 1. 447-450 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1995 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] A.Natori: "Atomic structures of Ag on √<3>×√<3>Ag/Si(111) and on 7×7 Si(111)" Surf.Sci.(1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1995 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] A.Natori,T.Suzuki and H.Yasunaga: "Atomic structures and atomic dynamics on ‘1×1'Si(111) at high temperatures" Surf.Sci.(1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1995 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] A.Natori and T.Arai: "Step bunching induced by 7*7 reconstruction on vicinal Si (111) surfaces" Proc.22nd Int.Conf.on Physics of Semiconductors. 447-450 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1995 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] A.Natori, M.Murayama and H.Yasunaga: "Atomic structures of Ag on ROO<3>*ROO<3> Ag/Si (111) and on 7*7 Si (111)" Surf.Sci.(1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1995 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] A. Natori, M. Murayama and H. Yasunaga: "Atomic structures of Ag on √<3>×√<3> Ag/Si(111) and on 7×7 Si(111)" Surface Science. (1995)

    • 関連する報告書
      1995 実績報告書
  • [文献書誌] A.Natori et.al.: "Step Bunching Induced by 7×7 Surface Reconstruction on Vicinal Si(111)Surface" Proceed.22nd Int.Conf.Phys.of Semicond.(1995)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書

URL: 

公開日: 1994-04-01   更新日: 2020-05-15  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi