• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

中性子転換注入法でリンをドープしたポリシラン量子材料の半導体物性

研究課題

研究課題/領域番号 06640441
研究種目

一般研究(C)

配分区分補助金
研究分野 固体物性Ⅰ(光物性・半導体・誘電体)
研究機関京都大学

研究代表者

松山 奉史 (1995)  京都大学, 原子炉実験所, 教授 (05527463)

松山 奉史 (1994)  京都大学, 原子炉実験所, 教授 (50027463)

研究期間 (年度) 1994 – 1995
研究課題ステータス 完了 (1995年度)
配分額 *注記
1,800千円 (直接経費: 1,800千円)
1995年度: 900千円 (直接経費: 900千円)
1994年度: 900千円 (直接経費: 900千円)
キーワードポリシラン量子材料 / リンドープポリシラン / n型ポリシラン半導体 / 低次元不純物半導体 / 中性子転換注入法 / 不純物分析 / 数平均分子量 / 中性子放射化分析 / 低次元半導体 / 低次元系半導体
研究概要

ポリシランは究極の量子細線、量子平面である。リン(^<31>P)をドープできればメゾスコピックな低次元n型半導体となり、新物質として興味深い。今のところ^<31>Pドープは核反応による中性子転換注入法が唯一の方法であるが、^<30>Siの天然存在比、中性子反応断面積、利用する中性子束、中性子照射時間等に依存して生成される^<31>Pの量は少なく、精密な物性測定のためには高純度試料を得ることが最大の課題である。
本研究では高純度試料の調製を目指した綿密な反応手順を検討し、8種類の1次元、2次元ポリシランを合成した。不純物は副産物のNaClおよび末端Cl基で、これらの残量を中性子放射化分析法で定量した。どの試料でも合成法を反映してCl基がNaClより必ず多く残っている。最高純度の場合でもNaCl、Cl基の残存濃度は数十ppmであった。^<31>Pドープ試料の精密物性を測定するためには、さらに純度を1〜2桁高める方法を探索する必要がある。また、核反応でNa、Clは放射化されるので、被曝や測定操作の煩雑さを避けるためにも重要な課題である。
ポリマーの数平均分子量を求める方法として末端基定量法がある。一方、ポリシランには末端Cl基があるから、放射化分析法によるCl基の定量という核的手法でポリシランの数平均分子量を求めることができる。この新手法で得られた数平均分子量の中には10^7という高分子量のものがあった。これはポリシランが応用上有利な性質を備えており、幅広く分子量を制御すれば多彩な物性を発現させることに利用できる可能性を示している。但し、キャストフイルムが得にくいという物性測定に不利な性質については改善方法の探索が必要である。
本研究の推進には試料の高純度化に加え、^<31>Pの生成量を増やす方策も同時に必要である。今後、^<30>Si-エンリッチ法、高中性子束の利用、長時間中性子照射等の有効な方法を試み初期の目的を達成したい。

報告書

(3件)
  • 1995 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1994 実績報告書

URL: 

公開日: 1994-04-01   更新日: 2020-05-15  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi