| 研究概要 |
1.光干渉計では各光学要素のセッティング誤差が避けられず,しかも,それの設定誤差の解析はきわめて困難なことが明かとなった.その影響を避けるため比較測定法を適用して,基準歯面および被測定歯面に対する干渉縞像の画像データをCCDイメージセンサーにより個別に取り込む方法を採用した.それにより,平歯車およびねじれ角の比較的小さいはすば歯車の歯面形状の測定が可能なことを示した.
2.干渉法において,フリンジスキャン法を適用して求めた位相は[-π,π]の領域の値であり,それを本来の連続した位相曲面に変換する方法として,従来はマウスを用いてのマニュアル操作に依存していたものを,ある程度自動的に計算機に行わしめる方法を開発して測定領域全体の位相曲面を形成させ,これにより被測定面を基準面に対する形状偏差を算出しうることを示した.
3.CCDイメージセンサーを用いて取り込んだ干渉縞像の縞密度は光学系の中心からの距離とともに等比級数的に増加し,場合によってはその縞間隔はCCDイメージセンサーの解像度を超えたものになることもある.そのために参照光の光路途中にレンズを配置することにより,干渉縞像の縞密度を大幅に軽減できることを理論的に解明するとともに,どのようなレンズを配置すればよいかをシミュレーション解析を行い,そのシミュレーション結果にもとづいた実験により,干渉縞像の縞密度の減少を確認した.その実験結果によれば,本手法の採用により間違いの少ない位相接続が可能となるとともに,画像処理の行ううえで問題となってきたノイズの影響が軽減でき,測定精度の向上が期待できることを確認した.
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