| 研究課題/領域番号 |
06650293
|
|---|
| 研究種目 |
基盤研究(C)
|
| 配分区分 | 補助金 |
|---|
| 応募区分 | 一般 |
|---|
| 研究分野 |
機械力学・制御
|
|---|
| 研究機関 | 岐阜工業高等専門学校 |
|---|
研究代表者 |
稲葉 成基 岐阜工業高等専門学校, 電気工学科, 教授 (30110183)
|
|---|
| 研究分担者 |
羽根 一博 東北大学, 工学部, 教授 (50164893)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
1994 – 1996
|
| 研究課題ステータス |
完了 (1996年度)
|
| 配分額 *注記 |
2,200千円 (直接経費: 2,200千円)
1996年度: 400千円 (直接経費: 400千円)
1995年度: 600千円 (直接経費: 600千円)
1994年度: 1,200千円 (直接経費: 1,200千円)
|
|---|
| キーワード | 光熱効果 / アクチュエータ / マイクロマシン / 形状記憶合金 / 光ファイバー / 光ファイバ / Micro Vibrator / Micro Gripper |
|---|
| 研究概要 |
本件球は安価な半導体レーザを用いた光学式アクチュエータの製作を目的とするものであり、以下のような研究成果が得られた。
1.形状記憶線の片持ち梁のレーザ駆動による特性をしらべた。通常の材料よりも相当に大きな変位が得られること、共振周波数の温度依存性が非常に強いことを明らかにした。
2.形状記憶合金とバイアススプリングを用いてバイブレータを製作し、水流ポンプをレーザ駆動した。300mWの出力で1m程度の揚水特性を得ることができた。
3.形状記憶線をZ軸として、x、y二方向からレーザ光を照射し、その位相を90度ずらすことによって、z軸周りの楕円運動を実現した。
4.マイクロフォトファブリケーションで平面的に加工したステンレス板を数枚あわせて立体的なグリッパを製作し、これに40°Cで直線記憶された形状記憶合金の板を装着してレーザ駆動のグリッパを製作した。駆動部は1mmの変位が得られ、50g重程度のものまで把握できる。
5.光ファイバーの先端のクラッド部をエッチングで取り去り、石英コアの片持ち梁を製作した。片持ち梁の片側半分にCrを光熱吸収用に蒸着して、簡便なレーザ駆動のマイクロカンチレバ-を製作した。この機械的な振動を利用した各種センサーを開発した。また、これを二本用いたマイクロピンセットを試作し、実際に液中で100μmのラテックス球を把握した。
6.マイクロフォトファブリケーションによりステンレス板を微細加工し、これを数枚重ね合わせて光ファイバーと形状記憶線を通して、光ファイバー先端に立体的なレーザ駆動のマイクログリッパを製作した。レーザ出力100mWで50g重の球を把握できる。
|
