| 研究課題/領域番号 |
06650371
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| 研究種目 |
一般研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
電子・電気材料工学
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| 研究機関 | 法政大学 |
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研究代表者 |
原 徹 法政大学, 工学部, 教授 (00147886)
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| 研究分担者 |
浜中 宏見 (浜中 広見) 法政大学, 工学部, 教授 (10061235)
山本 康博 法政大学, 工学部, 教授 (50139383)
長野 昌三 菱化マッセイ, 部長
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| 研究期間 (年度) |
1994 – 1995
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| 研究課題ステータス |
完了 (1995年度)
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| 配分額 *注記 |
1,800千円 (直接経費: 1,800千円)
1995年度: 500千円 (直接経費: 500千円)
1994年度: 1,300千円 (直接経費: 1,300千円)
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| キーワード | スパッタ / コリメーション / ターゲット / チタンマク / コンフオマリティ / オーミックコンタクト / LSI / メタル膜 / ビーム角 / コリメータ / チタン / マクシツ / カクドブンプ |
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| 研究概要 |
本研究ではコリメーションスパッタに関する基礎的な研究を行い、多くの新しい知見を得た。特にコリメーションスパッタでスパッタビームの直進性を向上し、より多くのビームを効率良くコリメータを通過させるための実験とシミレーションを行い解決策を得た。この研究成果は超LSIで微細コンタクト電極技術として広く用いられる。
コリメーションスパッタは1/4ミクロン以下のパターン寸法を有した超LSIでは必須なプロセス技術となりつつある。しかしこの技術の基礎的な研究、特にこのスパッタに用いるターゲットに関する研究はほとんど行われていないのが現状で、これらの基礎的研究を大学に望まれていた。このスパッタの現用のターゲットをそのまま用いると、放射されたビームのほとんどはターゲットと基板の間に置かれたアスペクト比の大きなコリメータの側壁にトラップされ、実際に基板に堆積されるのはごくわずかとなる。実際にはどのようなターゲットを用いたらよいか分からないため、従来のベ-サル面(200)配向の高いターゲットがそのまま用いられている。
本研究ではコリメーションスパッタの原理に解析を加え、従来のターゲットと配向の異なった5種類のターゲットを実際に作製した。(米国及び国内にターゲットメーカに作製依頼)この配向の異なったターゲットに対する諸特性、ターゲット自体の配向性、ターゲットから放射されるビーム角度分布、コリメータを通過するビームの直進性などを実測した。これらの実験結果からこのコリメーションスパッタ技術を実用化する上で必要なデータをほとんどとることができた。このような実験では今までほとんど行われていなかった。これらの実験結果を計算機によるシミレーションから、コリメータを通過する直進性ビーム成分の強いターゲットは従来用いられているターゲットと逆にベ-サル面(200)配向の低いターゲットであることを明らかにした。
これらの結果から、今後超LSIに広く用いられるコリメーションスパッタには用いるターゲットは現在用いられているベ-サル面(200)配向の高いターゲットではなく、ベ-サル面(200)配向の低いコリメーションスパッタ専用のターゲットを新たに開発し用いることが必要ことがあきらかになった。
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