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不揮発性強誘電体薄膜メモリ材料の開発研究

研究課題

研究課題/領域番号 06650375
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関静岡理工科大学

研究代表者

小川 敏夫  静岡理工科大学, 理工学部, 助教授 (40247573)

研究期間 (年度) 1994 – 1996
研究課題ステータス 完了 (1996年度)
配分額 *注記
1,700千円 (直接経費: 1,700千円)
1996年度: 300千円 (直接経費: 300千円)
1995年度: 400千円 (直接経費: 400千円)
1994年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
キーワード正方晶系PZTセラミックス / 分極特性 / 分極電界依存 / 電気機械結合係数 / 周波数定数 / 強誘電体ドメイン / 90°回転 / 180°反転 / 菱面体晶PZTセラミックス / 配向分極 / 180°回転 / 誘電・圧電特性 / 正方晶系PZTセラミック / 配向電極 / 90°ドメイン / 結晶配向度
研究概要

本研究では正方晶系PZTセラミック材料のドメイン構造を調べるため、X線回折法によりI_<002>結晶配向強度を求め、強誘導体セラミックス中の90°及び180°ドメインの挙動を明らかにした。即ち、ドメインの分極電界依存をI_<002>相対強度、電気機械結合係数(kp)、周波数定数(fcp)により評価した。実験は円板サンプルを分極(80℃.30min)処理後、その(002),(200)回折強度を求めた。我々が提案したドメインモデル元に+4.5〜-4.5kV/mmの直流電界を印加した時のI_<002>相対強度及び電気機械結合係数(kp)と、強誘電性のP(分極)-E(電界)より、c(c*)軸、b(b*)軸に配向するドメイン量を見積もった。
c,c*,b,b*の分極電界依存から次のことが明らかになった。(1)1.0→2.0→3.0→4.0→4.5kV/mmでは、c軸方向に電界を印加していくと、c*がcに変わる180°反転、bがb*に変わる180°反転、b*がcに変わる90°回転が主に起こる。(2)-1.0→-2.0kV/mmでは、c軸配向の多い状態から逆電界(c*軸)方向に印加していくと、cがc*に変わる180°反転、b*がbに変わる180°反転、cがb*に変わる90°回転が主に起こる。(3)-2.5→-3.0→-4.0→-4.5kV/mmでは、b軸配向量がc軸配向量より増加すると、b→c*軸方向に配向する量が増加する挙動が主になる。このため、cがc*に変わる180°反転、bがc*に変わる90°回転が主に起こる。(4)1.0→2.0→2.5kV/mmでは、c*軸配向量の多い状態からc軸方向に電界を印加すると、c*がcに変わる180°反転、bがb*に変わる180°反転、c*がbに変わる90°回転が主に起こる。(5)3.0kV/mm以上では、b*軸配向量がc*軸配向量より増加すると、b*→c軸方向に増加する挙動が主になるため、(1)と同様な動きが起こる。
また、周波数定数の分極電界依存を本モデルを元に計算したところ、実測値と同様な曲線が得られたことから、モデルの正当性を裏付けることが出来た。

報告書

(4件)
  • 1996 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1995 実績報告書
  • 1994 実績報告書
  • 研究成果

    (24件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (24件)

  • [文献書誌] T. Ogawa: "Evaluating and Controlling Ferroelectric Domain Structure in PZT Ceramics" Ferroelectrics. 169. 55-62 (1995)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T. Ogawa, A. Yamada M. Takahashi, Y. K. Chung: "Crystal Orientation of Tetragonal Pb (Sn1/2 Sb1/2)O_3-PbTiO_3-PbZrO_3 Ceramics" Proceedings of the 7th US-Japan Seminar on Dielectric and Piezoelectric Ceramics. 141-144 (1995)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T. Ogawa, Y. Takeshita T. Miyamoto, D. I. Chun: "Poling Field Dependence of Tetragonal PZT Ceramics" Ferroelectrics. 186. 119-122 (1996)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] A. Yamada, T. Ogawa M. Takahashi, Y. K. Chung: "Surface Characteristics of Tetragonal PZT Ceramics" Transactions of the Materials Research Society of Japan. 20. 603-606 (1996)

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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T. Ogawa, A. Yamada M. Takahashi, Y. K. Chung: "Annealing and Aging Characteristics of Tetragonal PZT Ceramic Surface" Proceedings of ELECTROCERAMICS. 1. 177-180 (1996)

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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] A. Yamada, Y. K. Chung M. Takahashi, T. Ogawa: "Poling Field Dependence of Ferroelectric Domains in Tetragonal Lead Zirconate Titanate Ceramics" Jpn. J. Appl. Phys.35. 5232-5235 (1996)

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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y. K. Chung, T. Ogawa M. Takahashi, A. Yamada: "Procedings of 12th Japan-Korea Seminar on Ceramics" Change in Orientation Polarization of PZT Ceramics at High Temperature, 96-100 (1995)

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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 山田亜矢子,小川敏夫: "静岡理工科大学紀要" 強誘電体セラミックス中の90°および180°ドメインの評価(印刷中), (1996)

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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Ogawa: "Fatigue-Free PZT Ceramic Materials" Proceedings of The 6th US-Japan Seminar on Dielectric and Piezoelectric Ceramics. 348-351 (1993)

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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Ogawa: "Evaluating and controlling Ferroelectric domain Structure in PZT Ceramics" Ferroelectrics. Vol.169. 55-62 (1995)

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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Ogawa, A.Yamada, M.Takahashi and Y.K.Chung: "Crystal Orientation of Tetragonal Pb (Sn_<1/2>Sb_<1/2>) O_3-PbTiO_3-PbZrO_3 Ceramics" Proceedings of the 7th US-Japan Seminar on Dielectric and Piezoelectric Ceramics. 141-144 (1995)

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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.K.Chung, T.Ogawa, M.Takahashi and A.Yamada: "Change in Orientation Polarization of PZT Ceramics at High Temperature" Proceedings of the 12th Japan-Korea Seminar on Ceramics. 96-100 (1995)

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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Ogawa, Y.Takeshita, T.Miyamoto and D.I.Chun: "Poling Field Dependence of Tetragonal PZT Ceramics" Ferroelectrics. Vol.186. 119-122 (1996)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] A.Yamada, T.Ogawa M.Takahashi and Y.K.Chung: "Surface Characteristics of Tetragonal PZT Ceramics" Transactions of the Materials Research society of Japan. Vol.20. 603-606 (1996)

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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Ogawa, A.Yamada M.Takahashi and Y.K.Chung: "Annealing and Aging Characteristics of Tetragonal PZT Ceramic Surface" Proceedings of ELECTROCERAMICS. Vol.1. 177-180 (1996)

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    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] A.Yamada, Y.K.Chung, M.Takahashi and T.Ogawa: "Poling Field Dependence of Ferroelectric Domains in Tetragonal Lead Zirconate Titanate Ceramics" Jpn.J.Appl.Phys.Vol.35. 5232-5235 (1996)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] A.Yamada and T.Ogawa: "Evaluation of 90゚ and 180゚ domains in Ferroelectric Ceramics (in Japanese)" The Bulletin of the Shizuoka Institute of Science and Technology. Vol.5 (in press). (1996)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] A.Yamada, T.Ogawa M.Takahashi and Y.K.Chung: "Surface Characteristics of Tetragonal RZT Ceramics" Transactions of the Materials Research Society of Japan. 20. 603-606 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] T.Ogawa, A.Yamada M.Takahashi and Y.K.Chung: "Annealing and Aging Characteristics of Tetragonal PZT Ceramic Surface" Proc. of ELECTROCERAMICS (Portugal, Sep. 1996). 1. 177-180 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] A.Yamada, Y.K.Chung M.Takahashi and T.Ogawa: "Poling Field Dependence of Ferroelectric Domains in Tetragonal Lead Zirconate Titanate Ceramics" Jpn. J. Appl. Phys.35. 5232-5235 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] 山田亜矢子,小川敏夫: "強誘電体セラミックス中の90°および180°ドメインの評価" 静岡理工科大学紀要(印刷中). 5. (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] T. Ogawa: "Evaluating and Controlling Ferroelectric Domain Structure in PZT Ceramics" Ferroelectrics. 169. 55-62 (1995)

    • 関連する報告書
      1995 実績報告書
  • [文献書誌] T. Ogawa, A. Yamada, M. Takahashi and Y. K. Chung: "Crystal Orentation of Tetragonal Pb(Sn 1/2 Sb 1/2)O_3- PbZrO_3-PbZrO_3 Ceramics" Proceedings of the 7th US- Japan Seminar on Dielectric and Piezoelectric Ceramics(Tsukuba, Nov.1995). 141-144 (1995)

    • 関連する報告書
      1995 実績報告書
  • [文献書誌] Y. K. Chung, T. Ogawa, M. Takahashi and A. Yamada: "Change in Orientation Polarization of PZT Ceramics at High Temperature" Proceedings of the 12th Japan- Korea Seminar on Ceramics(Tsukuba, Dec.1995). 96-100 (1995)

    • 関連する報告書
      1995 実績報告書

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公開日: 1994-04-01   更新日: 2016-04-21  

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