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浸透媒体検出によるファイン焼結微細クラック自動検出法の研究

研究課題

研究課題/領域番号 06650457
研究種目

一般研究(C)

配分区分補助金
研究分野 計測・制御工学
研究機関長岡技術科学大学

研究代表者

秋山 伸幸  長岡技術科学大学, 工学部, 教授 (90251850)

研究期間 (年度) 1994
研究課題ステータス 完了 (1994年度)
配分額 *注記
1,400千円 (直接経費: 1,400千円)
1994年度: 1,400千円 (直接経費: 1,400千円)
キーワードファイン焼結体 / クラック検出 / 浸透媒体 / 媒体検出 / 溶媒検出 / FID
研究概要

磁性体や電子部品に使用しているファイン燃結体には、複雑な形状を有したり、表面粗さが粗いものがあり、微細クラックの検出が困難である。本研究では被検体を一度溶媒に浸し、クラック内に浸透した溶媒を検出する技術を開発した。溶媒には各種の炭素化合物の中から検出感度、安全性を考慮してエタノールを選定した。
エタノールの検出には、検出感度の高いFID(Flame Ionization Detector)を使用した。被検体をエタノールに浸し、取り出した後20秒間自然乾燥し、被検体表面に沿って直径10mmのプローブを0.1mmの間隙をもって走査する。
ブローブの後方に真空ポンプとFIDを設け、プローブ先端から吸入りた被検体表面の空気をFIDに送ると、ここでこの空気中に含まれる微量のエタノール(10^<-10>グラム/s以上)を検出する。被検体がファイン燃結体の場合には、焼結体自体にもエタノールが浸透するため、クラック部分と表面から出るエタノールが共に検出される。そのため表面から出るエタノール以上の量を放出するクラックが検出可能である。また検出速度を向上させるためには、FIDに送る流量を増す必要がある。
本研究では最適条件を検討した結果4ml/sの空気送入を可能にした。被検体にフェライト焼結体を用いて、表面クラックの検出実験を行った結果、プローブの送り速度30mm/s、最小検出クラック幅2〜3μmを実現した。なおクラックは目視観察が困難であるので、本FIDで検出した後、被検体の表面を研磨し、顕微鏡で拡大して幅を測定した。今後は検出用プローブの改良と、検出応答速度の向上を図り、本検出方式の実用化を図る予定である。

報告書

(1件)
  • 1994 実績報告書

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公開日: 1994-04-01   更新日: 2016-04-21  

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