• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

磁気繊毛の開発と小型平面アクチュエータへの応用

研究課題

研究課題/領域番号 06855034
研究種目

奨励研究(A)

配分区分補助金
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関北九州工業高等専門学校

研究代表者

太屋岡 篤憲  北九州工業高等専門学校, 電子制御工学科, 助手 (60236768)

研究期間 (年度) 1994
研究課題ステータス 完了 (1994年度)
配分額 *注記
900千円 (直接経費: 900千円)
1994年度: 900千円 (直接経費: 900千円)
キーワードマイクロアクチュエータ / 磁気繊毛皮膜 / 陽極酸化 / アルマイト / 反磁界 / 形状磁気異方性 / 軟磁性 / Co基アモルファス合金
研究概要

本科学研究費補助金により,直径0.2μm,長さ10μmの針状の磁性体が膜面に垂直に無数に並び,膜面に垂直方向に磁界を印加した場合の保磁力が56.25Oe,印加磁界0.5kOeの時に飽和磁化の80%にまで達する垂直磁気異方性を有する組成Fe_5Co_<83>P_<12>のCo基アモルファス磁気繊毛皮膜を作製した.以下にその概要を述べる.
・ポア中への磁性体の析出に,従来の交流電解析出を用いた場合,析出の進行と共に,析出駆動源であるポアの底のバリア層のコンデンサ作用が低下し,ポア中に析出する磁性体の長さは3μm程度で飽和し,反磁界を低減するのに十分なアスペクト比が得られなかった.そこで,本研究では,ポアの底のバリア層を除去し,ポアを酸化アルミニウム皮膜の下地アルミニウムまで貫通し,直流電解により,直接,下地アルミニウムへ磁性体を析出した.これにより,高アスペクト比(50)の実現はもとより交流電解析出では困難であったFeCoPのアモルファス合金のポア中への析出が可能となった.
・直流電解析出の際の電析浴pH及び電流密度が,膜面に垂直方向に磁界を加えた場合の保磁力に及ぼす影響を検討した結果,両者を低下させるとともに,保磁力が減少することがわかった.さらに,EPMAにより,ポア中の針状磁性体の組成を分析した結果,直流電解析出の際の電析浴pH及び電流密度を低下させると,針状磁性体中のリンが増加していることから,両者を低下させると,非晶質化のためのメタロイド供給源であるリンが増加し,保磁力が減少したことがわかった.
・SEMにより,直流電解析出の時間を変えた場合のポア中の磁性体を観察した結果,時間が経過するとともに,下地のアルミニウムの膜面に垂直に針状の析出物が成長していることが観察された.また,その際の磁化曲線の傾きは,析出物の長さが長くなるにつれて,反磁界の影響が低減され,大きくなることがわかった.

報告書

(1件)
  • 1994 実績報告書
  • 研究成果

    (3件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (3件)

  • [文献書誌] 田淵誠,津留豊,太屋岡篤憲: "コバルトーリン合金めっき膜の構造とその電解条件" 第91回表面技術協会講演大会・講演要旨集. 69-70 (1995)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書
  • [文献書誌] 太屋岡篤憲,山崎二郎,津留豊: "直流電析によるアルマイト磁性皮膜の磁気特性" 第47回電気関係学会九州支部連合大会講演論文集. 338 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書
  • [文献書誌] 太屋岡篤憲,山崎二郎,津留豊: "直流電析によるアルマイト磁性皮膜の磁気特性" 第18回日本応用磁気学会学術講演概要集. 266 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書

URL: 

公開日: 1994-04-01   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi