| 研究課題/領域番号 |
06F06372
|
|---|
| 研究種目 |
特別研究員奨励費
|
| 配分区分 | 補助金 |
|---|
| 応募区分 | 外国 |
|---|
| 研究分野 |
ナノ材料・ナノバイオサイエンス
|
|---|
| 研究機関 | 京都大学 |
|---|
研究代表者 |
杉村 博之 京都大学, 工学研究科, 教授
|
|---|
| 研究分担者 |
KHATRI Om Prakash 京都大学, 工学研究科, 外国人特別研究員
OM PRAKASH Khatri 京都大学, 工学研究科, 外国人特別研究員
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2006 – 2008
|
| 研究課題ステータス |
完了 (2008年度)
|
| 配分額 *注記 |
2,400千円 (直接経費: 2,400千円)
2008年度: 700千円 (直接経費: 700千円)
2007年度: 1,200千円 (直接経費: 1,200千円)
2006年度: 500千円 (直接経費: 500千円)
|
|---|
| キーワード | 微細加工 / 祐規分子膜 / 金属ナノ粒子 / 透明導電膜 / 真空紫外光 / 目己集積化 / アミノ基 / 走査型プローブ顕微鏡 / 有機分子膜 / 金ナノ粒子 / 自己集積化 / 有機分子 / 光局在場 / 光学材料 |
|---|
| 研究概要 |
本年度は、昨年度の研究に引き続き、ナノオブジェクトを固定化・配列化する実験を継続し、以下の研究成果を得た。また、最終年度であるため、研究成果のとりまとめをおこなった。
1)光透過性基板への金ナノ粒子配列構造の形成
透明導電膜(ITO)基板へ、アミノ基修飾マイクロテンプレートを形成し、テンプレート上に金ナノ粒子の配列構造を構築するプロセスを確立した。
2)金ナノ粒子、アミノ基単分子膜のゼータ電位を測定し、金ナノ粒子固定化が静電引力作用であることを確認した。
3)平坦性の高いシリコン基板でのVUV露光条件の最適化を行い、0.5μm程度のサブミクロンSAM膜パターンを形成できるようになった。さらに、このVUVマイクロパターンをアミノ化し、同じサブミクロンスケールでの、金ナノ粒子配置実験に成功した。
4)原子レベルで平滑なSAMレジストを用い、AFMプローブによる高解像度パターニングを実施した。プローブ描画条件の最適化を行い、15nm前後の微細ラインを描画できるようになった。このプローブ描画パターンをテンプレートに、金ナノ粒子固定化実験を行った。描画線幅を金ナノ粒子直径と同等程度まで細くすることで、金ナノ粒子1次元配列を作製することに成功した。
5)金・銀ナノ粒子とシリコン基板を共有結合により連結する実験を行い、一応の成果を得ている。
これらの研究成果は、3報が論文として出版され、残り2報が現在投稿中である。
|
