| 研究分担者 |
高増 潔 東京大学, 工学部, 助教授 (70154896)
三好 隆志 大阪大学, 工学部, 教授 (00002048)
高田 孝次 長岡技術科学大学, 工学部, 教授 (80126474)
清野 慧 東北大学, 工学部, 教授 (40005468)
大園 成夫 東京大学, 工学部, 教授 (10010878)
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| 研究概要 |
本研究では座標計測の本質を明確にするとともに,座標計測の高度化と次代の座標計測のあるべき姿を,具体的に示すことを目的に,下記を行った.
(1)オンマシンで高周波成分や段差などを含む真円度形状を高精度に計測できる新しいソフトウェアデータム(3点合成法)を開発した.またそれを実現するための測定システムを構築し,実際に真円度測定を行った.
(2)形状偏差に対するデータ処理手法を新しく開発し,統計的な手法を導入することの有効性を示した.また,形状偏差に対するデータ処理手法を新しく開発し,統計的な手法を導入することの有効性を示した.
(3)光リング画像から3次元自由曲面の形状計測およびエッジプロファイルの検出が可能で,3次元座標測定機の光プローブとして利用することができる,高精度・多機能な光リング式変位センサの開発を行い,その特性を明らかにした.
(4)結晶格子を基準スケールとし,その読みとりにSTMを用いたサブナノメートル分解能の1次元比較測長器を試作した.1マイクロメートル超の比較測長を行い,測定精度を評価した.
(5)任意の製品上において表面微細形状の測定を行える新しい形状測定法として,超小型精密自走機械,走査型プローブ顕微鏡および三次元測定機の共存システムを提案し,それらの試作システムを実現した.
(6)座標計測用多自由度微動テーブルに関し,精密な高速駆動のためのアクチュエータ配置法を検討し,更に制御型防振機構を用い,外乱への対処を研究した.
(7)三次元測定機の周囲温度変化による熱変形が,測定精度にどのような影響を与えるかを明らかにするために,有限要素法を用いた仮想三次元測定機をコンピュータ上に構成し,その影響を解析的に調べた.
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