• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

分子線法による触媒並びに半導体表面反応の素過程及び動力学の研究

研究課題

研究課題/領域番号 07404033
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 物理化学
研究機関名古屋大学

研究代表者

正畠 宏祐  名古屋大学, 工学部, 教授 (60132726)

研究分担者 木村 豊明  名古屋大学, 工学部, 助手 (70106631)
沢邊 恭一  名古屋大学, 工学部, 講師 (80235473)
服部 忠  名古屋大学, 工学部, 教授 (50023172)
研究期間 (年度) 1995 – 1996
研究課題ステータス 完了 (1996年度)
配分額 *注記
23,900千円 (直接経費: 23,900千円)
1996年度: 4,400千円 (直接経費: 4,400千円)
1995年度: 19,500千円 (直接経費: 19,500千円)
キーワード分子線法 / エッッチング反応 / シンクロトロン放射 / 触媒反応 / 速度分布 / 固体表面 / 化学反応動力学 / 半導体表面 / エッチング反応 / 触媒化学 / 半導体 / 分子線 / 表面反応
研究概要

1)カナダのOCI社製の(BDL600型)の低速電子線回折装置を購入・設置し、固体表面のキャラクタリゼーションできるようになった。2)真空下でサンプルを交換するためのロードロックチェンバーを取り付けた。サンプル室に取り付けているサンプルマニピュレータとのサンプルのやりとりができ、小動力で加熱できるものは良好に作動することが分かった。3)質量分析器を設置した回転検出器室の電動機構を設置し、検出器の電動回転が可能となった。4)Xe、O_2、Cl_2等とグラファイト表面の散乱過程を分子線、飛行時間法を用いて研究し、衝突によるエネルギー移動および動力学に関する詳しい知見を得た。4)Si(111)面の超熱塩素分子線によるエッチング反応の促進の実験を行い、反応速度が衝突エネルギーによって著しく上昇することを見い出した。5)Si(100)面とXeF_2のエッチング反応のシンクロトロン放射光励起効果を、質量分析検出器、飛行時間法、昇温脱離法を組み合わせて研究し、中性反応生成物の同定およびその速度分布の測定を行った。その結果、熱反応よりも8倍も厚いフッ化シリル層ができていることを見い出した。6)酸素、水蒸気雰囲気下で放射光励起することによってダイヤモンド表面微細加工が可能なことを発見し、その反応機構についても明らかにした。7)金属表面吸着種のレーザー励起による反応過程の動力学を分子線法を用いて明らかにした。特に、Pt(111)面上に吸着したメタンに193nmの光を照射すると、表面吸着したメタン分子が光を吸収して光化学反応を引き起こすことを証明した。8)各種触媒表面の各種触媒反応の活性と表面状態との関連について明らかにした。

報告書

(3件)
  • 1996 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1995 実績報告書
  • 研究成果

    (64件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (64件)

  • [文献書誌] A.Satsuma: "Factora Contiolling Catalytic Activity of H-form Zeolites for the Selective Reduction of No neth CH_4" Studies in Surface Seience and Catalysis. 105. 1533-1540 (1997)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Matsumoto: "Laser-induced photechemistry of Methare on Pt(111): Excitation mechanism and dissociation dynamics" Journal of Chamical Physics. 105. 4775-4788 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] F.Tanaka: "Effects of Clustering of rare-gas atoms on the rate of Si-Tz intersystem crossing for 9-methylanthracer" Chemical Physics Letters. 252. 258-262 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Kato: "Adsorbed states and thermal reactions of N_2O on Si(100) below room Temperature : desorption induced by dissociation" Surface Science. 351. 43-52 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] E.Ishiguro: "Synchrotron radiation etching of diamond suttaces in the low pressure otmosplere of O_2 and SF_6" J.of Ekction Spectioscopy and Rolated Phenomena. 80. 77-80 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Ohashi: "Synchrotron radiation excited et ching of silicon Surfaces studied by Velocity distribution measurements of desorped species" J.of Electron Spectroscop and Related Phenomena. 80. 73-76 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Ohashi: "Synchrotron radiation etching of diamond" Applied Physics Letters. 68. 3713-3715 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Yasumatsu: "Absorption spectrum of coo in the gas phase : Formation and Recombination of Electrom-Hole Pait" Journal of Chemical Physics. 104. 899-902 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Yoshida: "Fine structure in phosphorescence spectra of silica-alumina" Chemical Communications. 1996. 1153-1154 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Nishi: "Effect of carbon Dioxide on Aromatization of Ethane over Metal-loaded HZSM-5 Catalysts" Sekiyu Gakkaishi. 39. 260-266 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 沢辺恭一: "表面吸着種の光励起反応" 表面. 34. 27-37 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Kona: "Photodissociative excitation Processes of Xe F_2 in the Vacuum ultraviolet region 105-180nm" Journal of Chemical Physics. 102. 5966-5978 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Hattori: "Neural network as for catalyst development" Catalysis Today. 23. 347-355 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] A.Satsuma: "Crystal-Plane-Specific Population of Surface V=0 species on (VO)_2P_2O_7" Science and Technology in Catalysis 1994. 1995. 281-286 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] A.Satsuma: "Dependence of selective reduction of NO with C_3 H_6 on acid properties of ione-exchanged zbolites" Catalysis Letters. 31. 367-375 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] N.Ikeura: "Formation of Acetic Acid through the Catalytic Hydrogenation of Carbon Dioxide" Ionics (アイオニックス). 21. 57-70 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Kato: "Promotion Effect of Metal Oxides, C-0 Bond Dissociation in CO Hydrogenation over RH/SiO_2 Catalyst-Possibla Role of Partialty" Research in Chemical Intermediates. 21. 115-126 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] D.Ye: "Factors Determining the Selective Exposure of (010) Plane of V_2O_5 Catalysis Supported on Various TiO_2" Research in Chemical Intermediates. 21. 95-114 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Kito: "Application of Neural Network for the Estimation of Catalitic Performance" Science and technology in Catalysis 1994. 1995. 287-292 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 薩摩篤: "修飾モルデナイトの酸化点構造とメタノール転化反応における劣化挙動" 化学工学論文集. 21. 1120-1126 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 正畠宏祐: "分子線法による表面反応動力学の研究" 表面化学. 16. 544-549 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Shobatake: "Spring Series in Sohid-State science, Vol.121 Elementary Processes in Ercitatione and Reactions on Sobid Surfaces, Springer Verlag, Eds, A.Okiji, H. Kasai,K.Mokoshi" Dynamics and Energy Transfer in Scattering of xe, O_2 and Cl_2 from Graphite Surface, 10 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Yoshikawa, H.Ohashi, K.Tabayashi, M.Suzui, T.Horigome, K.Hayasaka, S.Kato, K.Shobatake, K.Ito, and T.Fujimoto: ""Modification of a high vacuum, crossed molecular beam scattering system to perform angle-resolved, gas-surface scattering studies under ultrahigh vacuum conditions."" submitted to Rev.Sci.Instrum.

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Shobatake, K.Ito, H.Yoshikawa, T.Ogi, H.Ariga, H.Ohashi, and T.Fujimoto: ""Dynamics and Energy Transfer in Scattering of Xe, O_2 and Cl_2 from Graphite Surface ; "" in Springer Series in Solid-State Sciences, Volume 121, Elementary Processes in Excitations and Reactions on Solid Surfaces, Eds. : A.Okji, H.Kasai, and K.Makoshi, (springer-Verlag, Berlin Heidelberg, 1996). 112-121

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Ohashi, and K.Shobatake: ""Synchrotron radiation exited etching of silicon surfaces studied by velocity distribution measurements of desorbed species ; "" J.of Electron Spectroscopy and Related Phenomena. 80. 73-76 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Ohashi, E.Ishiguro, T.Sasano, and K.Shobatake: ""Synchrotron radiation etching of diamond ; "" Appl.Phys.Lett. 68. 3713-3715 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] E.Ishiguro, H.Ohashi, T.Sasano, and K.Shobatake: ""Synchrotron radiation etching of diamond surfaces in the low pressure atmosphere of O_2 and SF_6 ; "" J.of Electron Spectroscopy and Related Phenomena. 80. 77-80 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Kono and K.Shobatake: ""Photodissociative excitation processes of XeF_2 in the vacuum ultraviolet region 105-180nm ; "" J.Chem.Phys.102. 5966-5978 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Watanabe, K.Sawabe, and Y.Matsumoto: ""Adsorbate-localized Exitation in Surface Photochemistry : Methane on Pt (111) ; "" Phys.Rev.Lett.76. 1751-1754 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Kato, K.Sawabe, Y.Matsumoto: ""Adsorbed states and thermal reactions of N_2O on Si (100) below room temperature : desorption induced by dissociation ; "" Surf.Sci. 351. 43-52 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Matsumoto, Y.A.Gruzdkov, K.Watanabe, and K.Sawabe: ""Laser-induced photochemistry of methane on Pt (111) : Excitation mechanism and dissociation dynamics ; "" J.Chem.Phys.105. 4775-4788 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] A.Satsuma, M.I wase, A.Shichi, T.Hattori, and Y.Murakami: ""Factors Controlling Catalytic Activity of H-form Zeolites for the Selective Reduction of NO with Ch_4 ; "" Studies in Surface Science and Catalysis. 105. 1533-1540 (1997)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] A.Satsuma, T.Ishikura, M.Niwa, T.Hattori, and Y.Murakami: ""Local Density of Acid Sites as a Controlling Factor of Deactivation of Mordenite in Methanol conversion into Hydrocarbons ; "" Symposium on General Papers and Poster Session Presented before the Division of Petroleum Chemistry, Inc.210th National Meeting, American Chemical Society, Chicago, IL,August 20-25. 570-575 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] A.Satsuma, K.Yamada, T.Mori, M.Niwa, T.Hattori and Y.Murakami: ""Dependence of selective reduction of NO with C_3H_6 on on acid properties of ion-exchanged zeolites ; "" Catalysis Letters. 31. 367-375 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Yoshida, T.Tanaka, A.Satsuma, T.Hattori : T.Funabiki, and S.Yoshida: ""Fine structure in phosphorescence spectra of silica-alumina ; "" Chem.Commun.1153-1154 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Nishi, M.Endo, A.Satsuma, and T.Hattori and Y.Murakami: ""Effect of Carbon Dioxide on Aromatization of Ethane over Metal-loaded HZSM-5 Catalysts ; "" Sekiyu Gakkaishi. 39. 260-266 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Hattori, S.Kito: ""Neural network as a tool for catalyst development ; "" Catalysis Today. 23. 347-355 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Kito, T.Hattori and Y.Murakami: ""Application of Neural Network for the Estimation of Catalytic Performance ; "" Science and Technology in Catalysis 1994. 287-292 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] N.Ikehara, K.Hara, S.Komai, A.Satsuma, T.Hattori, and Y.Marukami: ""Formation of Acetic Acid through the Catalytic Hydrogenation of Carbon Dioxide ; "" IONICS. 21. 57-60 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] A.Satsuma, T.Ishikura, T.Shimizu, M.Niwa, T.Hattori, and Y.Murakami: ""Effect of Acid Sites on Deactivation of Methanol Conversion over Modified Mordenites"" Kagaku Kogaku Ronbunshu. 21. 1120-1126 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Kato M.Nakashima, Y.Mori, T,Mori, T.Hattori, and Y.Marukami: ""Promotion Effect of Metal Oxides. C-O Bond Dissociation in CO Hydrogenation over RH/SiO_2 Catalyst.-Possible Role of Partially Reduced State Cations ; "" Res.Chem.Intermed. 21. 115-126 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] A.Satsuma, Y.Tanaka, T.Hattori, and Y.Murakami: ""Crystal-Plane-Specific Population of Surface V=0 Species on (VO)_2P_2O_7 ; "" Science and Technolgy in Catalysis 1994. 281-286 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] D.Ye, A Satsuma, T.Hattori, and Y.Murakami: ""Factors Determinig the Selective Exposure of (010) Plane OF V_2O_5 Catalysis Supported on Various TiO_2 ; "" Res.Chem.Intermed.95-114 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Sawabe, Y.Matsumoto: ""Photoinduced Reaction of Surface Adsorbates"" Revies and Topics on Surface Science & Technology Avant-garde. 34. 27-37 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Ohashi, E.Ishiguro, T.Sasano, T.Oguri, M.Kamada, and K.Shobatake: "Synchrotron Radiation-excited Etching of Diamond" New Diamond. 12. 26 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Shobatake, H.Ohashi: ""Applications of Molecular Beam Techniques to Surface Reaction Dynamics"" J.of Surface Science Soc.of Japan. 16. 544-549 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] A.Satsuma: "Factors Controlling Catalytic Achirty of H-form Zeolites for the Selective Recluction of NO with CH_4" Studies in Surface Science and Catalysis. 105. 1533-1540 (1997)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Matsumoto: "Laser-induced photochemistry of methane on Pt(111) : Excitation mechanism and dissociation dynamics" Journal of Chemical Physics. 105. 4775-4788 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] F.Tanaka: "Effects of Clustering of rare-gas atoms on the rate of S_1-T_2 intersystem crossing for 9-methylanthracene" Chemical Physics Letters. 252. 258-262 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] H.Kato: "Adsorbed states and thermal reactions of N_2O on Si(100) below room temperature : desorption induced by dissociation" Surface Science. 351. 43-52 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] E.Ishiguro: "Synchrotron radiation etching of diamond surfaces in the low pressure atmosphere of O_2 and SF_6" J.of Electron Spectroscopy and Related Phenomena. 80. 77-80 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] H.Ohashi: "Synchrotron radiation excited etching of silicon surfaces studied by velocity distribution measurements of desorbed species" J.of Electron Spectroscoy and Related Phenomena. 80. 73-76 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] H.Ohashi: "Synchrotron radiation etching of diamond" Applied Physics Letters. 68. 3713-3715 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Yasumatsu: "Absorption spectrum of C_<60> in the gas phase : Formation and Recombination of Electron-Hole Pair" Journal of Chemical Physics. 104. 899-902 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] H.Yoshida: "Fine structure in phosphorescence spectra of silica-alumina" Chemical Communications. 1996. 1153-1154 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] K.Nishi: "Effect of Carbon Dioxide on Aromatization of Ethane over Metal-loaded HZSM-5 Catalysts" Sekiya Gallaishi. 39. 260-266 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] 沢邊恭一: "表面吸着種の光励起反応" 表面. 34(5). 27-37 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] K.Shobatake: "Springer Series in Solid-State Science,Vol.121,Elementary Processes in Excitation of Reactions on Solid Surfaces,Springer-Verlag Eds.A.Okiji,H.Kasai,K.Makoshi" Dynamics and Energy Transfer in Scattering and Xe,O_2 and Cl_2 from Graphite Surface, 10 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] M.Kono and K.Shobatake: "Photodissociative excitation processes of XeF_2 in the vacuum ultraviolet region 105-180nm." Journal of Chemical Physics. 102. 5966-5977 (1995)

    • 関連する報告書
      1995 実績報告書
  • [文献書誌] 正畠宏祐、大橋治彦: "分子線法による表面反応動力学の研究" 表面科学. 16. 544-549 (1995)

    • 関連する報告書
      1995 実績報告書
  • [文献書誌] H.Yasumatsu他4名: "Absorption Spectrum of C_<60> in the gas phase ; Formation and Recembination of Electron-Hole Pair" Journal of Chemical Physics. 104. 899-902 (1996)

    • 関連する報告書
      1995 実績報告書
  • [文献書誌] H.Ohashi and K.Shobatake: "Synchrotron radiation excited etching of Silicon surface studied by velocity measure ments of desorbed species" Journal of Electron Spectctroscopy and Related Phenomena. (印刷中). (1996)

    • 関連する報告書
      1995 実績報告書
  • [文献書誌] E.Ishiguro他3名: "Synchrotron radiation etching of diamond surfaces in the low pressure atmesphere of O_2 and SF_6" Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena. (印刷中). (1996)

    • 関連する報告書
      1995 実績報告書
  • [文献書誌] A.Satsuma et al.: "Dependence of selective reduction of NO with C_3H_6 on acid properties of ion-exchanged zeolites" Catalysis Letters. 31. 367-375 (1995)

    • 関連する報告書
      1995 実績報告書

URL: 

公開日: 1995-04-01   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi