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原子分解トンネル分光法によるヘテロ層表面の原子識別の研究

研究課題

研究課題/領域番号 07405003
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 表面界面物性
研究機関北陸先端科学技術大学院大学

研究代表者

富取 正彦  北陸先端科学技術大学院大学, 材料科学研究科, 助教授 (10188790)

研究分担者 大塚 信雄  北陸先端科学技術大学院大学, 材料科学研究科, 教授 (80111649)
研究期間 (年度) 1995 – 1997
研究課題ステータス 完了 (1997年度)
配分額 *注記
32,900千円 (直接経費: 32,900千円)
1997年度: 5,300千円 (直接経費: 5,300千円)
1996年度: 8,900千円 (直接経費: 8,900千円)
1995年度: 18,700千円 (直接経費: 18,700千円)
キーワード原子分解トンネル分光法 / [111]方位W探針 / 走査型トンネル顕微鏡 / 走査型トンネル分光法 / build-up処理 / 電界放射顕微鏡 / シリコン / ゲルマニウム / 電界イオン顕微鏡 / [III]方位W探針 / build‐up処理
研究概要

『確実に原子分解能で空間的な差異と電子状態の差異を対応づける手法』である原子分解トンネル分光法(Atom Resolved Tunneling Spectoscopy:ARTS)を確立するために、走査型トンネル顕微鏡(STM)/走査型トンネル分光法(STS)の性能を向上させ、従来、再現性のあるデータの取得が難しかったトンネル分光法を改良し、原子スケールでの表面電子状態を解析した.本研究では、[111]方位のW線から作成した探針を、超高真空中で加熱すると同時に高電界を印加し、探針先端の原子配列・原子種を制御する"build-up"処理した探針を用いた.本手法を応用してSi(111)7x7再構成表面を解析し、また、Si(001)面上に蒸着した微量のSi、Ge原子ダイマー列が示す電子状態を調べ、見かけ上のトンネル障壁がどのように変化するかを調べた.この解析において、ステップ端で探針の軌跡であるトポグラフィックな位置効果が顕著に現れること、見かけ上のトンネル障壁の2次元マッピングではその効果が少ないことを明らかにした.また、このbuild-up探針を利用して、試料からわずかに探針を引き離して、電界電子放射源として働かせ、STM走査領域を電子励起する実験をおこなった.その照射領域から放出される散乱電子のエネルギースペクトルを複合化した装置で分析し、バルク・プラズモン損失、オージェ過程放出電子を捉え、表面の組成分析に新しい手法を導入した.また、原子間力顕微鏡(AFM)による力-距離依存性曲線から、表面の組成やその性質を調べるために、探針の真空中での前処理の効果を調べた.本研究では、これら装置を複合化することに成功し、表面解析が多角的に行えるようになった.

報告書

(4件)
  • 1997 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1996 実績報告書
  • 1995 実績報告書
  • 研究成果

    (13件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (13件)

  • [文献書誌] M.Tomitori et al.: "Reproducibility of scanning tunneling spectroscopy of Si (111) 7x7 using a build-up tip" Surface Science. 355. 21-30 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Nagai et al.: "Sharpening processes of scanning tunneling microscopy/scanning tunneling spectroscopy tips by thermal field treatment" Jpn.J.Appl.Phys.36. 3844-3849 (1997)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Arai et al.: "Scanning Auger electron microscopy evaluation and composition control of cantilevers for ultrahigh vacuum atomic force microscopy" Jpn.J.Appl.Phys.36. 3855-3859 (1997)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Arai et al.: "Removal of contamination and oxide layers from UHV-AFM tips" Appl.Phys.A. (in print). (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Tomitori et al.: "Reproducibility of scanning tunneling spectroscopy of Si (111) 7x7 using a build-up tip" Surface Science. 355. 21-30 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Nagai et al.: "Sharpening processes of scanning tunneling microscopy/scanning tunneling spectroscopy tips by thermal field treatment" Jpn.J.Appl.Phys.36. 3844-3849 (1997)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Arai et al.: "Scanning Auger electron spectroscopy evaluation and composition control of cantilevers for ultrahigh vacuum atomic force microscopy" Jpn.J.Appl.Phys.36. 3855-3859 (1997)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Arai et al.: "Removal of contamination and oxide layrs from UHV-AFM tips" Appl.Phys.A. (in print). (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Nagai: "Sharpening processes of scanning tunneling microscopy/scanning tunneling spectroscopy tips by thermal field treatment" Japan Jounal of Applied Physics. 36. 3844-3849 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] T.Arai: "Scanning Auger Electron Microscopy Evaluation and Composition Control of Cantilevers for Ultrahigh Vacuum Atomic Force Microscopy" Japan Jounal of Applied Physics. 36. 3855-3859 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] T.Arai: "Removal of contamination and oxide layers from UHV-AFM tips" Applied Physics A. (印刷中). (1998)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] M.Tomitori: "Reproducibility of scanning tunneling spectroscopy of Si (III)7x7 using a build-up tip" Surface Science. 355. 21-30 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] M.Tomitori: "Reproducibility of scanning tunneling spectroscopy of Si(111)7x7 using a build‐up tip" Surface Science. (in print).

    • 関連する報告書
      1995 実績報告書

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公開日: 1995-04-01   更新日: 2016-04-21  

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