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分布したアクチュエータで柔らかく動くマイクロ運動システム

研究課題

研究課題/領域番号 07405006
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 応用物理学一般
研究機関東北大学

研究代表者

江刺 正喜 (江刺 正善)  東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (20108468)

研究分担者 小柳 光正  東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (60205531)
内山 勝  東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (30125504)
倉林 徹  東北大学, 大学院・工学研究科, 講師 (90195537)
南 和幸  東北大学, 大学院・工学研究科, 講師 (00229759)
研究期間 (年度) 1995 – 1997
研究課題ステータス 完了 (1997年度)
配分額 *注記
36,600千円 (直接経費: 36,600千円)
1997年度: 3,400千円 (直接経費: 3,400千円)
1996年度: 5,900千円 (直接経費: 5,900千円)
1995年度: 27,300千円 (直接経費: 27,300千円)
キーワードマイクロアクチュエータ / マイクロマシン / マイクロマシニング / 能動カテーテル / マイクロ運動システム / 柔構造機械 / 分布垂機械 / 立体的微細加工 / マイクロマシ-ニング / 分布型機械 / 能動力カテーテル / 文体的微細加工
研究概要

アクチュエータが分布したマイクロ運動システムとして、血管内などに蛇のように自分で曲がって入る能動カテーテルの他、ミミズのように蠕動運動するシステム、2次元的にアクチュエータを並べた感覚刺激デバイス、各部分に静電アクチュエータが分布したベローズ構造のアクチュエータなどについて研究を行った。本研究の中心となる能動カテーテルは、複数のリンクとジョイントからなり内側と外側にチューブを持つものである。ジョイント部にSMAコイルのアクチュエータを使用して各部が6方向に曲がるようにしてあり、形状記憶合金(SMA)のコイルをア通電加熱して動かす。リンクにシリコンやポリマーを用いたものなど数種類を試作した。これに関連して通信制御用集積回路を各部に取り付けたり、組み立て用技術の開発などもおこなっている。
各種のセンサを装着し能動カテーテルを多機能化することができる。カテーテル先端に取り付ける血管内超音波内視鏡用に、圧電トランスジューサを高性能化する研究を行った。このためPZTの細いロッドのアレイをポリマで埋めた1-3コンポジット構造を作るため、微細加工したシリコンを鋳型にして焼結する技術を開発した。また内側の管に通せる光ファイバの先端に薄いダイアフラムを形成した極細圧力センサを開発している。この他カテーテルの曲がりを検出するため、柔軟性のあるポリマーで製作した光導波路に周期を変えたBragg反射型の回折格子を多数直列に形成した分布曲がりセンサについて研究した。
以上、分布したアクチュエータで柔らかく動くマイクロ運動システムに関し、試作実験を中心とする研究を行い、目標の成果を得ることができた。

報告書

(4件)
  • 1997 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1996 実績報告書
  • 1995 実績報告書
  • 研究成果

    (80件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (80件)

  • [文献書誌] G.Lim: "Multi-lind Active Catheter Snake-Like Motion" Robotica. 14・5. 499-506 (1996)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] G.Lim: "Future of Active Catheters" Sensors and Actuators. A56. 113-121 (1996)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.T.Park: "An Integrated Communication and Control System for a Multi-link Active Catheter" J.of Micromeshanics and Microengineering. 6・2. 345-351 (1996)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 杉原 正久: "連続紫外線レーザによる高速CVDを利用したマイクロアセンブリ" 電気学会論文誌E. 117-E・1. 3-9 (1997)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 江刺 正喜: "マイクロ能動カテーテル" 骨・関節・靭帯. 10・4. 417-423 (1997)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Watanabe: "Fabrication Methods for High Aspect Ratio Microstructures" J.of Intelligent Material System and Sturctures. 8・2. 173-176 (1997)

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  • [文献書誌] G.Lim: "Active Catheter for Medical Intracoronary Intervetion" intern.Symp.on Microsystems,Intelligent Materials and Robots.91-94 (1997)

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  • [文献書誌] Y.Haga: "Active Catheter Using Polymer Links" 9th Annual Intern.Meeting,Minimally Invasive Therapy&Allied Technologies. 56 (1997)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Katsumata: "Fiber-Optic Minature Pressure Sensor" Intn.Conf.Optical MEMS and Their. 141-146 (1997)

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  • [文献書誌] T.Tomiyoshi: "Distributed Optical Bending Sensors with Bragg Gratings in Optical Waveguide" Intn.Conf.on Optical MEMS and Their. 200-205 (1997)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.N.Wang: "Novel Processing of High Aspect Ratio 1-3Structures of High Density PZT" Proc.of the Micro Electro Mechanical Systems‘98. 223-228 (1998)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Haga: "Small Diameter Active Catheter Using Shape Memory Alloy" Proc.of the Micro Electro Mechanical Systems‘98. 419-424 (1998)

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  • [文献書誌] K.T.Park: "Integrated Communication and Control Circuit for Multi-Link Active Catheter" The 6th Conf.on Sensor Teshnology‘95. 6・1. 510-516 (1995)

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  • [文献書誌] K.T.Park: "Integrated Communication and Control Circuit for Active Catheter" Technical Digest of the 14th Sensor Symp.14. 71-74 (1996)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] G.Lim: "The Active Catheter which have SMA Actuators and Bias Spring" Technical Digest of the 14th Sensor Symp.14. 263-266 (1996)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Watanabe: "Deep X-ray Lithography and 02 RIE as High Ratio Microfabrication" Technical Digest of the 14th Sensor Symp.14. 179-182 (1996)

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  • [文献書誌] Y.Haga: "Active Catheter Using Polymer Links" Tech.Digest of the 15th Sensor Symp.15. 177-180 (1997)

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  • [文献書誌] 古澤 俊夫: "厚い高分子膜のスピンコートにおける厚み均一性の向上" 第15回「センサの基礎と応用」シンポジウム講演概要集(和文速報). 15. 67 (1997)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 近藤 悟: "電気粘性流体による触覚刺激デバイス" 第15回「センサの基礎と応用」シンポジウム講演概要集(和文速報). 15. 68 (1997)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 森下 泰光: "螺旋型静電マイクロアクチュエータの試作" 第15回「センサの基礎と応用」シンポジウム講演概要集(和文速報). 15. 69 (1997)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 清水 聖治: "蛇管ワイヤ用マイクロ力覚センサの試作" 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会‘97. 137-138 (1997)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.T.Park: "A Study of smart Active Catheter" KIEE‘97Annual Summer Conference. 21-23 (1997)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 芳賀 洋一: "形状記憶合金による能動屈曲機構を備えた細径超音波内視鏡" J.Mad.Ultrasonics. 24・9. 413 (1997)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 芳賀 洋一: "多機能能動カテーテル" 第13回日本ME学会東北支部大会. 22 (1997)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 篠原 英司: "やわらかい蠕動運動システム(人工ミミズ)" 日本機械学会第10回バイオエンジニアリング講演会. 10. 589-590 (1998)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 森下 泰光: "ベロース型静電マイクロアクチュエータ" 電気学会マイクロマシン研究会. MM-98-8. 39-43 (1998)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 峯田 貴: "ウェハプロセスで作成した能動カテーテル用のシリコン多関節構造" 平成10年電気学会全国大会. 200-201 (1998)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Esashi(H.C.Hoch ed.): "Nanofabrication and Biosystems Microsensors and Microactuators for Biomedical Applications(担当章)" Cambridge Univ.Press, p.423(pp.61-79) (1996)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] G.Lim: "Multi-link Active Catheter Snake-Like Motion" Robotica. 14,5. 499-506 (1996)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] G.Lim: "Future of Active Catheters" Sensors and Actuators. A56. 113-121 (1996)

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    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Park: "An Integrated Communication and Control System for a Multi-link Active Catheter" J.of Micromech.and Microeng.6,2. 345-351 (1996)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Sugihara: "Micro Assembly by High Rate CVD Using CW UV Laser (in Japanese)" Trans.IEE of Japan. 117-E,1. 3-9 (1997)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Esashi: "Micro Active Catheter" J.of Musculoskeletal System. 10,4. 417-423 (1997)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Watanabe: "Fabrication Methods for High Aspect Ratio Microstructures" Systems and Structures. 8,2. 173-176 (1997)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] G.Lim: "Active Catheter for Medical Intracoronary Intervention" Intern.Symp.on Microsystems, Intelligent Materials and Robots. 1. 91-94 (1995)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Haga: "Active Catheter Using Polymer Links" 9th Annual Intern. Meeting, Minimally Invasive Therapy & Allied Technologies. 56. (1997)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Katsumata: "Fiber-Optic Minature Pressure Sensor" Intn.Conf.on Optical MEMS and Their Applications. 141-146 (1997)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Tomiyoshi: "Distributed Optical Bending Sensors with Bragg Gratings in Optical Waveguide" Intn.Conf.on Optical MEMS and Their Applications. 200-205 (1997)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.N.Wang: "Novel Processing of High Aspect Ratio 1-3 Structures of High Density PZT" Proc.of the Micro Electro Mechanical Systems' 98. 223-228 (1998)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Haga: "Small Diameter Active Catheter Using Shape Memory Alloy" Proc.of the Micro Electro Mechanical Systems. 419-424 (1998)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.T.Park: "Integrated Communication and Control Circuit for Multi-Link Active Catheter" The 6th Conf.on Sensor Technology '95. 6,1. 510-516 (1995)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.T.Park: "Integrated Communication and Control Circuit for Active Catheter" Technical Digest of the 14th Sensor Symposium. 14. 71-74 (1996)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] G.Lim: "Active Catheter which have SMA Actuators and Bias Spring" Technical Digest of the 14th Sensor Symposium. 14. 263-266 (1996)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Watanabe: "Deep X-ray Lithography and 02 RIE as High Aspect Ratio Microfabrication" Technical Digest of the 14^<th> Sensor Symposium. 14. 179-182 (1996)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Haga: "Active Catheter Using Polymer Links" Technical Digest of the 15th Sensor Symposium. 15. 177-180 (1997)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Furusawa: "Improvement of thickness uniformity in spin coating of thick polymer film (in Japanese)" The 15th Sensor Symposium Late News. 15. 67 (1997)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Kodoh: "Tactile stimulating device using electro rheological fluid (in Japanese)" The 15th Sensor Symposium Late News. 15. 68 (1997)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Morishita: "Fabrication of spiral electrostatic actuator (in Japanese)" The 15th Sensor Symposium Late News. 15. 69 (1997)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Shimizu: "Fabrication of a micro force sensor for conduit guided wires (in Japanese)" Convention on robotics and Mechatronics '97 (Japan Soc.Of Mechanical Eng.). 137-138 (1997)

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    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.T.Park: "A Study of Smart Active Catheter" KIEE'97 Annual Summer Conference. 21-23 (1997)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Haga: "Actively bending ultrasound endoscope using shape memory alloy actuator (in Japanese)" J.Med.Ultrasonics. 24. 413 (1997)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Haga: "Multi-function active catheter (in Japanese)" 31th Tohoku convention of Jap.ME Soc.22. (1997)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] E.Shinohara: "Flexible peristaltic motion system (Artificial earthworm) (in Japanese)" 10th Bioengineering Conf. (Japan Soc.of Mechanical Eng.). 589-590 (1998)

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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Morishita: "Bellows-shape micro electrostatic actuator (in Japanese)" Technical Report IEE Japan. MM-98-8. 39-43 (1998)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Mineta: "Multi-link-joint structure fabricated in silicon wafer for active catheter (in Japanese)" Convention of IEE Japan. 200-201 (1998)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Esashi: Microsensors and Microactuators for Biomedical Applications (in H.C.Hoch ed., Nanofabrication and Biosystems). Cambridge Univ.Press, 61-79 (1996)

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    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 江刺正善: "マイクロ能動カテーテル" 骨・関節・靭帯. 10・4. 417-423 (1997)

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      1997 実績報告書
  • [文献書誌] S.Watanbe: "Fabrication Methods for High Aspect Ratio Microstructures" J.of Intelligent Material Systems and Structures. 8・2. 173-176 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Haga: "Active Catheter Using Polymer Links" 9th Annual Intern.Meeting,Minimally Invasive Therapy & Allied Technologies. 56 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] T.Katsumata: "Fiber-Optic Minature Pressure Sensor" Intn.Conf.on Optical MEMS and Their. 141-146 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] T.Tomiyoshi: "Distributed Optical Bending Sensors with Bragg Gratings in Optical Waveguide" Intn.Conf.on Optical MEMS and Their. 200-205 (1997)

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      1997 実績報告書
  • [文献書誌] S.N.Wang: "Novel Orocessing of High Aspsct Ratio 1-3 Structures of High Density PZT" Proc. of the Micrc Electro Mechanical Systems‘98. 223-228 (1998)

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      1997 実績報告書
  • [文献書誌] K.Park: "An Integrated Communication and Control System for a Multi-link Active Catheter" J.of Mictomechanics and Microengineering. 6,2. 345-351 (1996)

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      1996 実績報告書
  • [文献書誌] G.Lim,: "Future of Active Catheters" Sensors and Actuators. A56. 113-121 (1996)

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      1996 実績報告書
  • [文献書誌] G.Lim: "Multi-link Active Catheter Snake-Like Motion" Robotica. 14,5. 499-506 (1996)

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      1996 実績報告書
  • [文献書誌] 杉原正久: "連続紫外レーザによる高速CVDを利用したマイクロアセンブリ" 電気学会論文誌E. 117-E,1. 3-9 (1997)

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      1996 実績報告書
  • [文献書誌] G.Lim: "The Active Catheter which have SMA Actuators and Bias Spring" Technical Digest of the 14th Sensor Symp.14. 263-266 (1996)

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      1996 実績報告書
  • [文献書誌] K.Park: "Integrated Communication and Control Circuit for Active Catheter" Technical Digest of the 14th Sensor Symp.14. 71-74 (1996)

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      1996 実績報告書
  • [文献書誌] S.Watanabe: "Deep X-ray Lithography and O_2 RIE as High Aspect Ratio Microfabrication" Technical Digest of the 14th Sensor Symp.14. 179-182 (1996)

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  • [文献書誌] M.Ohtsu: "Fabrication of Packaged Thin Beam Structures by an Improbed Drying Method" Proc.of the Micro Electro Mechanical Systems. 9. 228-233 (1996)

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      1996 実績報告書
  • [文献書誌] M.Esashi(H.C.Hoch ed.): "Nanofabrication and Biosystems ″Microsensors and Microactuators for Biomedical Applications″(担当章)" Cambridge Univ.Press, 423(61-79) (1996)

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      1996 実績報告書
  • [文献書誌] G.Lim: "Active Catheter for Medical Intracoronary Intervention" Intern.Symp.on Microsystems,Intelligent Materials and Robots. 91-94 (1995)

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  • [文献書誌] K.T.Park: "Integrated Communication and Control Circuit for Multi-Link Active Catheter" The 6th Conf.on Sensor Technology'95. 510-516 (1995)

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  • [文献書誌] 江刺正喜: "シリコンプロセスとその応用" 日本ME学会雑誌. 9. 3-10 (1995)

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  • [文献書誌] 朴起台: "能動カテーテルのための通信・制御用集積回路" 計測自動制御学会、第21回ロボット工学部会研究会. 15-20 (1995)

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  • [文献書誌] G.Lim: "Multi-Link Active Catheter Moving Like a Snake" Robotica. (1996)

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  • [文献書誌] G.Lim: "The Active Catheter which have SMA Actuators and Bias Spring" Technical Digest of the 14th Sensor Symposium. (1996)

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  • [文献書誌] K.Park: "Integrated Communication and Control Circuit for Active Catheter" Technical Digest of the 14th Sensor Symposium. (1996)

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  • [文献書誌] S.Gon: "Fabrication of Reactive lon Etching Systems for Deep Silicon Machining" Technical Digest of the 14th Sensor Symposium. (1996)

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  • [文献書誌] S.Watanabe: "Deep X-ray Lithography and O_2 RIE as High Aspect Ratio Microfabrication" Technical Digest of the 14th Sensor Syposium. (1996)

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      1995 実績報告書

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公開日: 1995-04-01   更新日: 2016-04-21  

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