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超高真空の表面分析装置内における固体間凝着力の計測

研究課題

研究課題/領域番号 07405033
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 材料加工・処理
研究機関東京工業大学

研究代表者

恩澤 忠男  東京工業大学, 工学部, 教授 (10016438)

研究分担者 高橋 邦夫  東京工業大学, 工学部, 助手 (70226827)
研究期間 (年度) 1995 – 1996
研究課題ステータス 完了 (1996年度)
配分額 *注記
21,700千円 (直接経費: 21,700千円)
1996年度: 10,900千円 (直接経費: 10,900千円)
1995年度: 10,800千円 (直接経費: 10,800千円)
キーワード凝着 / 原子間力顕微鏡 / 超高真空 / 分子動力学 / 結合状態 / 界面 / 電子分光 / 表面分析 / AFM / AES
研究概要

平成7年度に,超高真空対応のマニュピレーションシステムを納入した.このシステムは既製品でもまた既製品の組み合わせでも無く,従来不可能であった計測を可能にした.しかし,さらに1軸の自由度と,正確な温度制御システムがあれば,より明確な観察と電子の浸み出し効果に関する実験的検討を行うことができることが判明した.
そこで,表面分析装置の超高真空とイオンスパッターシステムに,マイクロマニピュレーターを組み合わせる事により,(1)表面吸着(汚染)物質の無い状態で,(2)様々な材料の組み合わせに対し,(3)表面の価電子状態(化学結合状態)を知った上で,(4)接触部をその場観察しながら,固体間凝着力を計測するシステムを作成することができた.表面拡散効果を明らかにするため,さらに加熱ステージの装着にも成功した.
今までの実績のある系として,金とシリコンウエハを中心に固体間凝着力の計測を行った.結果は,弾性連続体近似の接触理論および分子動力学的手法による計測と比較検討された.現象は,これらの理論的取り扱いでおおむね問題ないが,イオンスパッターによる表面のダメ-ジによる凝着力の変化は,表面エネルギーよりもむしろ表面の変形能に依存する可能性が示唆された.その場観察しながら凝着力を計るには試料形状に工夫が必要であることなど今後の課題も明らかになった.

報告書

(3件)
  • 1996 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1995 実績報告書
  • 研究成果

    (11件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (11件)

  • [文献書誌] 水野,高橋,恩澤: "金とシリコンの間に働く固体間凝着力の測定" 溶接学会論文集. 14・3. 523-526 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 水野,高橋,恩澤: "オージェ電子分光装置内に構築した計測システムによる固体間凝着力の支配機構の検討" 溶接学会論文集. 14・4. 629-632 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Kunio TAKAHASHI,Ryoji MIZUNO and Tadao ONZAWA: "Influence of the stiffness of the measurement system on the elastic adhesional contact" Journal of Adhesion Science and Technology. 9・11. 1451-1464 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Kunio TAKAHASHI,and Tadao ONZAWA: "Effect of the stiffness of the measurement system on adhesion force curves in the elastic ontinuum limit" Journal of Adhesion Science and Technology. 10・1. 17-31 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.TAKAHASHI,N.A.BURNHAM,H.M.POLLOCK and T.ONZAWA: "Stiffness of measurement system and significant figures of displacement which are required to interpret adhesional force curves" IEICE Transactions on Electronics. E80-C・2. 255-262 (1997)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 高橋邦夫,恩澤忠男: "無加熱・無加圧による超精密低エネルギー接合におよぼす表面粗さの影響" 圧力技術. (印刷中).

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Ryoji MIZUNO,Kunio TAKAHASHI and Tadao ONZAWA: "Measurement of Adhesion force between Gold and Silicon" Quarterly J.of the Japan Welding Society. vol.14, No.3. 523-526 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Ryoji MIZUNO,Kunio TAKAHASHI and Tadao ONZAWA: "Mechanizm of adhesion force between solids by measurement system in Auger electron spectroscope" Quarterly J.of the Japan Welding Society. vol.14, No.4. 629-632 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Kunio TAKAHASH,Nancy A.BURNHAM,Hubert M.POLLOCK and Tadao ONZAWA: "Stiffness of measurement system and significant figures of displacement which are required to interpret adhesional force curves" IEICE Transactions on Electronics, vol.E80-C. No.2(Feb.). 255-262 (1997)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 水野、高橋、恩澤: "金とシリコンの間に働く固体間凝着力の測定" 溶接学会論文集. 14・3. 523-526 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] 水野、高橋、恩澤: "オージェ電子分光装置内に構築した計測システムによる固体間凝着力の支配機構の検討" 溶接学会論文集. 14・4. 629-632 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書

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公開日: 1995-04-01   更新日: 2016-04-21  

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