| 研究課題/領域番号 |
07455036
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
応用光学・量子光工学
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| 研究機関 | 名古屋大学 |
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研究代表者 |
日比野 倫夫 名古屋大学, 理工科学総合研究センター, 教授 (40023139)
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| 研究分担者 |
木村 啓子 (小粥 啓子) 名古屋大学, 理工科学総合研究センター, 助手 (60262862)
田中 成泰 名古屋大学, 工学部, 助手 (70217032)
花井 孝明 名古屋大学, 工学部, 講師 (00156366)
丹司 敬義 名古屋大学, 理工科学総合研究センター, 助教授 (90125609)
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| 研究期間 (年度) |
1995 – 1996
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| 研究課題ステータス |
完了 (1996年度)
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| 配分額 *注記 |
6,600千円 (直接経費: 6,600千円)
1996年度: 1,900千円 (直接経費: 1,900千円)
1995年度: 4,700千円 (直接経費: 4,700千円)
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| キーワード | 超高圧電子顕微鏡 / TVシステム / 高効率シンチレータ / YAG / 半球ガラス / レンズカップリング / 電子顕微鏡 / 高効率シンチ-タ |
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| 研究概要 |
本研究では、電子顕微鏡像を光の像に変換するシンチレータとしてYAG(Yttrium Aluminum Garnet)単結晶板を用い、従来達成されなかった超高圧電子顕微鏡用、高輝度、高解像度、高速、長寿命の新TV観察用システム実現の可能性を示した。残光時間が短く、高速電子によるダメ-ジやX線の影響を受けにくいシステムとして、YAG単結晶シンチレータとレンズカップリングを用いたシステムが考えられる。しかし、このシステムでは、今まで高輝度と高解像度とを同時に得ることが困難であった。そこで、高屈折率を持つYAGシンチレータから発した光を有効に利用するため、屈折率の影響が少ない新方式のシンチレータを開発して、これを、高収光率・高解像度が得られるように設計した光学系と結合したシステムを作製し、その解像度・明かるさ等の諸特性を評価した。
まず、初年度は、
1.100kV電子顕微鏡用として、半球型YAGシンチレータを、そして、超高圧電子顕微鏡用として板状YAGと高屈折ガラスで作られた、新方式のシンチレータを開発した、
2.200kV電子顕微鏡を用いた予備実験で新方式シンチレータの効果を確認し、
3.1000kV電子顕微鏡用レンズカップリング光学系を設計した。
そして、第2年度において、
1.新方式YAGシンチレータとレンズ光学系を、既存の、イメージインインテンシファイア付き撮像管と組み合わせた超高圧電子顕微鏡用TV観察システムを製作し、
2.システムを光と1000keV電子線により評価した結果、
(1).解像度・HVEM実験においてYAG面上で50〜60μm
・半球ガラスによる像面湾曲の影響は、光学系の焦点調整により小さくできる事を確認
(2).明るさ・板状YAG+半球ガラスの構造により、板状YAGのみの場合に比べ、明るさが約3倍に増加
(3).歪・歪はTV画面最端で約4%
(4).周辺減光・現状でTV画面の7割強の範囲で支障無し。光学系の改良により更に改善可能
(5).DQE・0.04〜0.12
となり、これより、ダメ-ジやX線の影響を受けにくく、しかも高輝度・高解像度のHVEM用TV観察システムが実現可能であることを示すことができた。
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