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スピニック・データストレージ・メディア作製装置の試作

研究課題

研究課題/領域番号 07505004
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分試験
研究分野 電子デバイス・機器工学
研究機関東北大学

研究代表者

中村 慶久  東北大学, 電気通信研究所, 教授 (50006235)

研究分担者 平田 豊明  (株)大阪真空機器製作所, 堺工場開発課, 主任技師(研究職)
丹 健二  東北大学, 電気通信研究所, 助手 (80282010)
清水 幸也  東北大学, 電気通信研究所, 助手 (90282011)
村岡 裕明  東北大学, 電気通信研究所, 助教授 (20239479)
高野 研一  東北大学, 電気通信研究所, 助手 (70250842)
田河 育也  東北大学, 電気通信研究所, 助手 (80212017)
研究期間 (年度) 1995 – 1996
研究課題ステータス 完了 (1996年度)
配分額 *注記
35,700千円 (直接経費: 35,700千円)
1996年度: 3,600千円 (直接経費: 3,600千円)
1995年度: 32,100千円 (直接経費: 32,100千円)
キーワードスピニックデータストレージ / 垂直磁気記録 / 高真空スパッタリング / ハードディスク / 垂直二層膜媒体
研究概要

代表者等は垂直磁気記録の新しいパラダイムと考えられる、情報をメディア微結晶粒数個分の領域に記録する単磁区磁性微粒子記録、いわゆるスピニック・データ・ストレージ、の工学的体系を確立する研究を行なっている。本課題では、この記録媒体の垂直スピニック・ストレージ・メディアに関する設計指針の基本コンセプトと作製技術の確立が目標である。とくに、記録媒体としての最適化を行なうため、膜の磁気的微細構造の解明と成膜プロセス制御などをスパッタ成膜の物理に立脚して検討している。
初年度には、清浄雰囲気成膜用アルミニウムチャンバを備えたマルチターゲットスパッタ装置の設計を行ない、多層膜構造の高密度磁気ディスクを高速作製するためには、多元カソードとロードロック機構を具備した装置が必要とした。その上で装置試作を完了し、10^<-9>Torrの高真空度を達成した。最終年度には、本装置での最適成膜条件を決定して垂直磁気記録媒体を試作した。その記録特性を評価した結果、本装置により微粒子型微細構造を持つ垂直記録媒体が実現できていること、高真空成膜では垂直結晶異方性が増加し、同時に磁性膜を構成する微粒子間の磁気的な分離がより促進されること、しかし、一方で粒子サイズは肥大化すること、などを見出した。さらに高密度記録再生の実験から、媒体ノイズの明瞭な低下が見られ高密度記録に重要な高いSN比を示す媒体となることが実験的に明らかになった。これらの物性解析と高密度記録再生実験の結果は、垂直磁化ハードディスクメディアの設計指針として有用である。
以上、当初計画の高性能垂直磁気記録作製装置の試作はその所望の性能を発揮して目的を達し、最適化した成膜条件下で作製した高密度磁気ディスク媒体の優れた記録性能を確認した。これらの実験結果は、今後さらに理想的なスピニック・ストレージ・メディア実現の糸口であり、超高密度記録方式の実用化検討の基礎となるものである。

報告書

(3件)
  • 1996 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1995 実績報告書
  • 研究成果

    (69件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (69件)

  • [文献書誌] 中塩 栄治: "液体窒素シュラウドが軟磁性膜に与える効果" 日本応用磁気学会誌. 19,supple.S2. 83-86 (1995)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Nakamura: "Extremely High-Density Magnetic Information Storage -Outlook Based on Analyses of Magnetic Recording Mechanisms-" IEICE Transactoins on Electronics. E78-C. 1477-1492 (1995)

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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 渡辺 功: "垂直磁気記録媒体作成用アルミニウムチャンバーの検討" 電子情報通信学会技術研究報告. MR95-12. 1-6 (1995)

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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 村岡 裕明: "液体窒素シュラウドとアルミニウムチャンバを用いたスパッタ装置より成膜した二層膜記録媒体" 電子情報通信学会技術研究報告. MR95-50. 43-48 (1995)

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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 中塩 栄治: "軟磁性膜の成膜における液体窒素シュラウドの効果" 平成7年度電気関係学会東北支部連大会講演論文集. 2B15. 77- (1995)

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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 坂口 武: "垂直二層膜媒体におけるCr下地層の影響" 平成7年度電気関係学会東北支部連合大会講演論文集. 2B13. 75- (1995)

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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 清水 幸也: "サブミクロントラック記録におけるスペーシング損失" 日本応用磁気学会誌. 20. 89-92 (1996)

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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 高野 研一: "垂直磁気記録用MRヘッドの再生特性" 日本応用磁気学会誌. 20. 145-148 (1996)

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  • [文献書誌] 江 年華: "サブミクロントラック幅単磁極ヘッドの多トラック化" 日本応用磁気学会誌. 20. 149-152 (1996)

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  • [文献書誌] K.Takano: "Contact magneloresistive head for perpendicular magnetic recording" J.App.Phy. 79. 5002-5004 (1996)

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  • [文献書誌] 中村 慶久: "磁気記録の超高密度化-3次元シミュレーションによる予測-" 電子情報通信学会論文誌C-1. J79-C-1. 152-164 (1996)

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  • [文献書誌] H.Muraoka: "MR Head Reading Characteristics in Perpendicular Magnetic Recording" IEEE Trans.Magn.32. 3482-3484 (1996)

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  • [文献書誌] N.Jiang: "Submicronwidth Multitrack Single Pole Head for Ultra High Density Perpendicular Magnetic Recording" IEEE Trans.Magn.32. 3554-3556 (1996)

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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Sano: "Effects of nitrogen addition to the CoCr recordinglayer of a double layered perpendicular rigid disk" J.Magn.Magn.Mat.155. 212-215 (1996)

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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] I.Tagawa: "Numerical analysis of noise and interparticle interaction in perpendicular magnetic recording media" J.Magn.Magn.Mat.155. 341-344 (1996)

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  • [文献書誌] 清水 幸也: "三次元シミュレータによる垂直記録媒体のノズル解析" 日本応用磁気学会誌. 21(印刷中). (1997)

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  • [文献書誌] 山田 洋: "垂直磁気記録におけるMRヘッド再生の高分解能化" 日本応用磁気学会誌. 21(印刷中). (1997)

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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 姜 文紅: "垂直磁気記録メディアにおける熱磁気緩和の記録密度依存性" 日本応用磁気学会誌. 21(印刷中). (1997)

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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 中塩 栄治: "Co-Cr垂直磁気異方性膜成膜における背圧改善効果" 日本応用磁気学会誌. 21(印刷中). (1997)

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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 渡辺 功: "垂直磁気記録媒体作成用アルミニウムチャンバーの検討" 電子情報通信学会技術研究報告. MR95-12. 1-6 (1996)

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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 清水 幸也: "3次元シミュレータによる垂直記録媒体のノイズ解析" 第20回日本応用磁気学会学術講演概要集. 20pA-12. 22- (1996)

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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 山田 洋: "垂直磁気記録におけるMRヘッドの高分解能再生" 第20回日本応用磁気学会学術講演概要集. 22pA-1. 221- (1996)

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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 姜 文紅: "垂直磁気メディアにおける熱磁気緩和の記録密度依存性" 第20回日本応用磁気学会学術講演概要集. 22pA-4. 224- (1996)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 中塩 栄治: "Co-Cr垂直膜成膜時の背圧改善効果" 第20回日本応用磁気学会学術講演概要集. 22pA-5. 225- (1996)

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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Shimizu, I.Tagawa and Y.Nakamura: ""Spacing loss in submicron trackwidth recording" (in Japanese)" J.Magn.Soc.Jpn.20. 89-92 (1996)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Takano, H.Muraoka and Y.Nakamura: ""Reading characteristics of an MR head for perpendicular magnetic recording" (in Japanese)" J.Magn.Soc.Jpn.20. 145-148 (1996)

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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] N.Jiang, H.Muraoka and Y.Nakamura: ""Multi-track head for submicron trackwidth single pole head" (in Japanese)" J.Magn.Soc.Jpn.20. 149-152 (1996)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Takano, H.Muraoka and Y.Nakamura: ""Contact magnetoresistive head for perpendicular magnetic recording"" J.App.Phy.79. 5002-5004 (1996)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Nakamura, I.Tagawa and Y.Shimizu: ""ultra-high density magnetic recording-Prediction by three-dimentional simulation-" (in Japanese)" IEICE Tans.C-I.J79-C-I. 152-164 (1996)

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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Muraoka, H.Yamada and Y.Nakamura: ""MR Head Reading Characteristics in Perpendicular Magnetic Recording"" IEEE Trans.Magn.32. 3482-3484 (1996)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] N.Jiang, H.Muraoka and Y.Nakamura: ""Submicron-width Multitrack Single Pole Head for Ultra High Density Perpendicular Magnetic Recoeding"" IEEE Trans.Magn.32. 3554-3556 (1996)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Sano, H.Muraoka, I.Watanabe and Y.Nakamura: ""Effects of nitrogen addition to the CoCr recording layr of a double layred perpendicular rigid disk"" J.Magn.Magn.Mat.155. 212-215 (1996)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] I.Tagawa, A.Takeo and Y.Nakamura: ""Numerical analysis of noise and interparticle interaction in perpendicular recording media"" J.Magn.Magn.Mat.155. 341-344 (1996)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Shimizu and Y.Nakamura: ""Analysis on noise of perpendicular magnetic recording medium by 3-dimentional simulation" (in Japanese, in printing)" J.Magn.Soc.Jpn.21. (1997)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Yamada, H.Muraoka, Y.Nakamura, I.Abe and K.Yazawa: ""High resolution read out with an MR head in perpendicular magnetic recording" (in Japanese, in printing)" J.Magn.Soc.Jpn.21. (1997)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] W.H.Jiang, H.Muraoka, I.Tagawa and Y.Nakamura: ""Bit density dependence of magnetic relaxation in perpendicular magnetic media" (in Japanese, in printing)" J.Magn.Soc.Jpn.21. (1997)

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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] E.Nakasio, T.Sakaguchi, I.Watanabe, H.Muraoka and Y.Nakamura: ""Effect of background pressure for sputtering of Co-Cr film" (in Japanese, in printing)" J.Magn.Soc.Jpn.21. (1997)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] I.Watanabe, E.Nakasio, H.Muraoka and Y.Nakamura: ""Evaluation of aluminum chamber for perpendicular magnetic media fabrication" (in Japanese)" IEICE Tech.Rep.MR95-12. 1-6 (1996)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Shimizu and Y.Nakamura: ""Analysis on noise perpendicular magnetic recording medium by 3-dimentional simulation" (in Japanese)" Digests 20th Ann.Conf.Magn.Jpn. 20pA-12. 22 (1996)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Yamada, H.Muraoka, Y.Nakamura, I.Abe and K.Yazawa: ""High resolution read out with an MR head in perpendicular magnetic rcording" (in Japanese)" Digests 20th Ann.Conf.Magn.Jpn. 20pA-1. 221 (1996)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] W.H.Jiang, H.Muraoka, I.Tagawa and Y.Nakamura: ""But density dependence of magnetic relaxation in perpendicular magnetic media" (in Japanese)" Digests 20th Ann.Conf.Magn.Jpn. 22pA-4. 224 (1996)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] E.Nakasio, T.Sakaguchi, I.Watanabe, H.Muraoka and Y.Nakamura: ""Effect of background pressure for sputtering of Co-Cr film" (in Japanese)" Digests 20th Ann.Conf.Magn.Jpn. 22pA-5. 225 (1996)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 清水幸也: "サブミクロントラック記録におけるスペーシング損失" 日本応用磁気学会誌. 20. 89-92 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] 高野研一: "垂直磁気記録用MRヘッドの再生特性" 日本応用磁気学会誌. 20. 145-148 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] 江 年華: "サブミクロントラック幅単磁極ヘッドの多トラック化" 日本応用磁気学会誌. 20. 149-152 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] K. Takano: "Contact magnetoresistive head for perpendicular magnetic recording" J. App. Phy.79. 5002-5004 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] 中村慶久: "磁気記録の超高密度化-3次元シミュレーションによる予測-" 電子情報通信学会論文誌C-I. J79-C-I. 152-164 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] H. Muraoka: "MR Head Reading Characteristics in Perpendicular Magnetic Recording" IEEE Trans. Magn.32. 3482-3484 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] 中塩栄治: "Co-Cr垂直磁気異方性膜成膜における背圧改善効果" 日本応用磁気学会誌. (印刷中)21. (1997)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] 渡辺 功: "垂直磁気記録媒体作成用アルミニウムチャンバーの検討" 電子情報通信学会技術報告. MR95-12. 1-6 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] 清水幸也: "3次元シミュレータによる垂直記録媒体のノイズ解析" 第20回日本応用磁気学会学術講演概要集. 20pA-12. 22- (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] 山田 洋: "垂直磁気記録におけるMRヘッドの高分解能再生" 第20回日本応用磁気学会学術講演概要集. 22pA-1. 221- (1996)

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      1996 実績報告書
  • [文献書誌] 姜 文紅: "垂直磁気メディアにおける熱磁気緩和の記録密度依存性" 第20回日本応用磁気学会学術講演概要集. 22pA-4. 224- (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] 中塩栄治: "Co-Cr垂直膜成膜時の背圧記改善効果" 第20回日本応用磁気学会学術講演概要集. 22pA-5. 225- (1996)

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      1996 実績報告書
  • [文献書誌] N. Jiang: "Submicronwidth Multitrack Single Pole Head for Ultra High Density Perpendicular Magnetic Recording" IEEE Trans. Magn.32. 3554-3556 (1996)

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      1996 実績報告書
  • [文献書誌] Y. Sano: "Effects of nitrogen addition to the CoCr recordinglayer of a double layered perpendicular rigid disk" J. Magn. Magn. Mat.155. 212-215 (1996)

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      1996 実績報告書
  • [文献書誌] I. Tagawa: "Numerical analysis of noise and interparticle interaction in perpendicular magnetic recording media" J. Magn. Magn. Met.155. 341-344 (1996)

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      1996 実績報告書
  • [文献書誌] 清水幸也: "三次元シミュレータによる垂直記録媒体のノイズ解析" 日本応用磁気学会誌. (印刷中)21. (1997)

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      1996 実績報告書
  • [文献書誌] 山田 洋: "垂直磁気記録におけるMRヘッド再生の高分解能化" 日本応用磁気学会誌. (印刷中)21. (1997)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] 姜 文紅: "垂直磁気記録メディアにおける熱磁気緩和の記録密度依存性" 日本応用磁気学会学誌. (印刷中)21. (1997)

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      1996 実績報告書
  • [文献書誌] Y. Nakamura: "Extremely high-density magnetic information storage-Outlook based on analyses of magnetic recording" IEICE Trans. Electron. E78-C. 1477-1492 (1995)

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      1995 実績報告書
  • [文献書誌] 中塩栄治,渡辺功,村岡裕明,中村慶久: "液体窒素シュラウドが軟磁性膜に与える影響" 日本応用磁気学会誌. 19-suppl.83-86 (1995)

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      1995 実績報告書
  • [文献書誌] 村岡裕明,中塩栄治,渡辺功,中村慶久: "液体窒素シュラウドとアルミニウムチャンバを用いたスパッタ装置により成膜した二層膜記録媒体" 電子情報通信学会技術報告. MR95. 43-48 (1995)

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      1995 実績報告書
  • [文献書誌] 渡辺功,中塩栄治,村岡裕明,中村慶久: "垂直磁気記録媒体作成用アルミニウムチャンバーの検討" 電子情報通信学会技術報告. MR95. 1-6 (1995)

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      1995 実績報告書
  • [文献書誌] 高野研一、村岡裕明、中村慶久: "コンタクトMRヘッドによる垂直二層膜メディアの評価" 第19回日本応用磁気学会学術講演概要集. 26pC. 454- (1995)

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      1995 実績報告書
  • [文献書誌] 坂口武、渡辺功、村岡裕明、中村慶久: "垂直二層膜媒体におけるCr下地層の影響" 平成7年度電気関係学会東北支部連合大会. 2B. 75- (1995)

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  • [文献書誌] 五十嵐克人、村岡裕明、中村慶久: "垂直磁気記録における媒体記録層膜厚依存性" 平成7年度電気関係学会東北支部連合大会. 2B. 76- (1995)

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      1995 実績報告書
  • [文献書誌] 中塩栄治,渡辺功,村岡裕明,中村慶久: "軟磁性膜の成膜における液体窒素シュラウドの効果" 平成7年度電気関係学会東北支部連合大会. 2B. 77- (1995)

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  • [文献書誌] 五十嵐克人、村岡裕明、中村慶久: "垂直磁気記録におけるメディアノイズと媒体パラメータの関係" 1996年電子情報通信学会総合大会. SC-6-3. (1996)

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      1995 実績報告書

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公開日: 1995-04-01   更新日: 2016-04-21  

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