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パルスレーザー蒸発による厚い長寿命炭素膜の開発と加速器への応用

研究課題

研究課題/領域番号 07554074
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分展開研究
研究分野 素粒子・核・宇宙線
研究機関高エネルギー加速器研究機構 (1997)
東京大学 (1995-1996)

研究代表者

菅井 勲  高エネルギー加速器研究機構, 加速器研究施設, 助手 (80150291)

研究分担者 片山 一郎  東京大学, 大学院・理学系原子科学研究センター, 教授 (30028237)
野村 亨  高エネルギー加速器研究機構, 素粒子原子核研究所, 教授 (60087393)
川上 宏金  高エネルギー加速器研究機構, 素粒子原子核研究所, 助手 (50013412)
研究期間 (年度) 1995 – 1997
研究課題ステータス 完了 (1997年度)
配分額 *注記
1,600千円 (直接経費: 1,600千円)
1997年度: 600千円 (直接経費: 600千円)
1996年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
キーワードパルスレーザー / フオイル / 炭素膜 / 荷電変換 / 重イオン / 加速器 / フォイル / ストリッパーフオイル / 炭素フオイル / スパッターリング / クラスター / 炭素薄膜 / 蒸着 / イオンビーム / 化合物薄膜
研究概要

本研究は基盤研究A(2)の支援によって、平成7-9年度に実施された研究成果をまとめたものである.
炭素母材を蒸発蒸着する径40cm.高さ50cmの容量をもつ真空蒸着チェンバーを作り、出力480mJ/パルスのレーザーを蒸発源とするレーザープラズマアブレーション炭素蒸着装置を完成した。
本装置を用いて、次のようなことを行った:
1)できる膜厚,2)炭素膜の最大面積.3)膜厚の一様性4)基板からの剥離、すなわち、ガラス基板と銅フオイル基板との違い5)アニールによる炭素フオイルの平坦化6)フオイルのピンホールの有無
上記の炭素フオイルの各種特性を調べた後、100〜250μg/cm^2の厚い炭素フオイルを、東工大(理)のバンデグラーフ加速器からの3.2MeV,1〜3μAビームスポット3.5mm中のネオンビームで寿命を測定した.その結果、平均80mc/cm^2の寿命を示した.この値は市販の熱蒸着膜に比較して〜6倍の長寿命に相当する結果が得られた。

報告書

(4件)
  • 1997 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1996 実績報告書
  • 1995 実績報告書
  • 研究成果

    (9件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (9件)

  • [文献書誌] 菅井 勲: "Carbon Stripper foil preparation by ionbeam Sputtering with 3.5KeV Kr ions" NuClear Instruments and Methods in physics Research. A397. 137-139 (1997)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 菅井 勲: "An application of a new type deposition method to nuclear target preparation" Nuclear Instrionents and Methods in Physics Research. A397. 81-90 (1997)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 菅井 勲: "Anew and Versatile Coating Method of Partides at room tenpertine" Jpn.J.Appl.Phys.37. 257-260 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] I.Sugai et al.: "Carbon Stripper foil preparation by ion beam Sputtering with 3.5keV Kr ions" Nucl.Instr.Meth.A397. 137-139 (1997)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] I.Sugai: "An application of a new type deposition method to nuclear target preparation" Nucl.Instr.Meth.A397. 81-90 (1997)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] I.Sugai: "A new and Versatile coating Method of particles at room temperature" Jpn, J.Appl.Phys.37. 257-260 (1998)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1997 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 菅井勲: "Carbon stripper foil perparation by ion beam Sputfering with 3.5KeV Kr ions" Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. A397. 137-139 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] 菅井勲: "An application of a new type deposition method to nuclear target preparation" Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. A397. 81-90 (1997)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書
  • [文献書誌] 菅井勲: "A New and Versatile Coating Method of Partides at Room Temperatue" Jpn.J.Appl.Phys.37. 257-260 (1998)

    • 関連する報告書
      1997 実績報告書

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公開日: 1996-04-01   更新日: 2016-04-21  

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