超高感度表面水素3次元検出装置の開発

• 研究課題/領域番号: 07555006
• 研究種目: 基盤研究(A)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 展開研究
• 研究分野: 表面界面物性
• 研究機関: 東京大学
• 研究代表者: 山崎 泰規 東京大学, 大学院・総合文化研究科, 教授 (30114903)
• 研究分担者: 東 俊行 東京大学, 大学院・総合文化研究科, 助手 (70212529) ; 小牧 研一郎 東京大学, 大学院・総合文化研究科, 教授 (40012447)
• 研究期間 (年度): 1995 – 1997
• 研究課題ステータス: 完了 (1997年度)
• 配分額: 18,800千円 (直接経費: 18,800千円); 1997年度: 900千円 (直接経費: 900千円); 1996年度: 6,200千円 (直接経費: 6,200千円); 1995年度: 11,700千円 (直接経費: 11,700千円)
• キーワード: 多価イオン / 表面水素 / ポテンシャルスパッタリング / 水素検出

研究概要

低速多価イオンによる表面水素、表面不純物のポテンシャルスパッタリングイールド、及び、放出エネルギー・角度分布を時間敏感型2次元位置敏感検出器で測定した。以前のデータとのよい一致が確認された他,水素以外の2次イオンの放出エネルギーは1eV程度以下であるのに水素イオンは10eVにも達し、かつ、表面垂直方向から大きくずれて放出される事がはじめて確認された。これは我々の提唱しているポテンシャルスパッタリングモデルを支持する重要な知見であるとともに,今後の定量的表面水素分析の可能性をほぼ確実にした実験事実である。

研究成果

• [文献書誌] S.Ninomiya, Y.Yamazaki et al.: "Stabilized Hollow Atoms produced with Slow multiply charged Ions passed through metallic microcapillaries" Physica Scripta. T73. 316-317 (1997)
• [文献書誌] Y.Yamazaki: "Production of Hollow Atoms in HCI-surface collision" Physica Scripta. T73. 293-297 (1997)
• [文献書誌] T.Ito, Y.Yamazaki et al.: "Channeling with 290HeVlu C^<6+> ions in a Si crystal" Physica Scripta. T73. 345-346 (1997)
• [文献書誌] T.Azuma, Y.Yamazaki et al.: "Resonant Coherent Excitation of Relativistic Ar^<17+> Ions Channeled in a Si Crystal" Nucl.Instrum.Methods B. (to be published). (1998)
• [文献書誌] Y.Yamazaki,S.Ninomiya et al.: "Stabilized hollow atoms(ions)produced with multiply charged ions passed throuzh microcapillavies" Journal of Physical Society of Japan. 65. 1199-1202 (1996)
• [文献書誌] I.Yu.Tolstibhina,Y.Yamazaki,et al.: "Coster-Kronig electron spectra from the single and triplet IS^22pnl states of S^<12+>" physica scripta. 54. 188-196 (1996)
• [文献書誌] T.Azuma,K.Komaki,Y.Yamazaki,et al.: "Trajectory Dependent charge-state distribution of planar channeled heauy ions" Nucl.Instrum.Methods B. (to be published). (1997)
• [文献書誌] S.Ninomiya,Y.Yamazaki,et al.: "L x-ray emission from slow multiply charged Ar ions bombarding Be,C,and Al targets" Nucl.Instrum.Methods B. (to be published). (1997)
• [文献書誌] J.Burgdorfer and Y.Yamazaki: "Potential Sputlering of protons with slow multiply charged ions" Phys.Rev.A.(to be published). (1997)
• [文献書誌] N. Kalzutani,Y. Uamazaki et al.: "Strong Chavge State dependeuce of H^+ and H_2^+ sputtering induced by slow highly charged iors" Nucl. Instrum,Methods B. 96. 541-544 (1995)
• [文献書誌] N. Kalzutani,Y. Uamazaki et al.: "Potential Sputtering of H^+ from a surtace under slow nighly chansed ion bombardwent" Jpn. J. Appl. Phys.34. L580-L583 (1995)