| 研究概要 |
試作した分光器は,SiegbahnがX線光電子分光のために考えた分散補償の原理を,EELSに応用したものである.この場合,(1)原理的には,モノクロメーターに入射した電流の全てをEELS測定に利用することができる.また,(2)パス・エネルギーを高くすることができるので,試料電流も多い.しかし,収差,空間電荷の問題がある.180°静電半球型分光器の場合,焦点の位置は180°球の端面にあり,試料を設置するには,モノクローメーターの出力側と試料位置との間および試料位置とアナライザー入力側との間に,位置情報を失わないようなレンズの設置が要求される.本研究ではモノクロメーターおよびアナライザーに90°静電偏向型分光器を用いた分散補償型分光器の試作と調整を行った.分光器のエネルギー分解能やトランスミッションの調整は,電子銃のみで行わなければならない.いくつかの電子銃用レンズ系を設計・試作し,分解能の向上に努めた.現在までのところ,得られた最高のエネルギー分解能は20meVであり,そのときのダイレクト・ビーム(モノクロメーターから出てきた電子を試料へ照射しないで,直接,アナライザーへ入れる)による検出器電流は200pA程度である.電子銃の性能を上げて,検出器電流を1000pA程度にするように努力した.90°球による研究によって,分散補償の原理を用いた装置開発の問題点を突き詰めることが出来た.この結果,180°球を用いた装置の試作に関する基礎的情報が得られた.
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