| 研究分担者 |
多加 充彦 石川工業試験場, 機械電子部, 研究員
門前 亮一 金沢大学, 工学部, 助教授 (20166466)
北川 和夫 金沢大学, 工学部, 教授 (30019757)
坂本 二郎 金沢大学, 工学部, 助手 (20205769)
山崎 光悦 金沢大学, 工学部, 教授 (70110608)
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| 配分額 *注記 |
13,200千円 (直接経費: 13,200千円)
1997年度: 1,200千円 (直接経費: 1,200千円)
1996年度: 3,000千円 (直接経費: 3,000千円)
1995年度: 9,000千円 (直接経費: 9,000千円)
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| 研究概要 |
本研究では現在多方面で利用されている電子デバイス等の構成材料としてのマイクロマテリアルに対して,その機械的特性を評価する方法,いわゆるマイクロテスティング法の開発を次のように進めた.
1.マイクロテスティング法のための力学的手法の開発
薄膜材料を対象とし、かつそれを含む超小構造体として積層構造モデルを考え,これ特有の応力・ひずみ解析法を提示した.具体的には「多層構造体の有限要素法」と「多層ばり理論」を提示し,その応用例も示した.
2.薄膜のヤング率と引張り強さ推定法の開発
基板に平行部を有する特異な形状の薄膜を形成し,それを引張試験し,薄膜平行部の変位と2層試験片の全荷重を求めることによって,薄膜の破断までに至る全応力-ひずみ挙動を推定する方法を提示した.またその有効性を紙フェノール基板に銅箔が蒸着されたポジ感光基板をモデル材料として実際に試験し,明らかにした.
3.薄膜のせん断強さおよび2軸引張強さ推定法の開発
一軸引張試験を行うことで,薄膜の面内せん断強さや2軸引張強さを測定する新しい方法を提示した.それは目的とするせん断応力や2軸引張応力場を生じさせる形状をトポロジカルな位相決定問題と考え,それに対してFEMと最適化手法を応用して求めたものである.
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