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自動計測システムを備えたセラミックス球の超精密ラッピングシステムの開発

研究課題

研究課題/領域番号 07555045
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分試験
研究分野 機械工作・生産工学
研究機関宮城工業高等専門学校

研究代表者

赤澤 真  宮城工業高等専門学校, 機械工学科, 助教授 (60005379)

研究分担者 足立 茂  日本ファインセラミックス(株), 製造部第三課, 課長
大久 忠義  宮城工業高等専門学校, 機械工学科, 助教授 (40099768)
松谷 保  宮城工業高等専門学校, 機械工学科, 教授 (60042256)
研究期間 (年度) 1995 – 1996
研究課題ステータス 完了 (1996年度)
配分額 *注記
4,000千円 (直接経費: 4,000千円)
1996年度: 600千円 (直接経費: 600千円)
1995年度: 3,400千円 (直接経費: 3,400千円)
キーワードセラミックス / ラッピング / 球 / 真球度 / 精度 / 表面粗さ / 自動計測 / 高速フーリエ変換(FFT)
研究概要

本研究の目的は、セラミックス素球を、真球度0.1μm、表面粗さ0.01μmRmax、相互差0.1μmの加工精度まで、低コストで迅速に研磨できる球研磨システムに、研磨過程における研磨の進行状態の監視及び完成品の最終検査システムを含む総合化された球研磨システムを構築する事である。このための基本的要素技術である球研磨システムについては、既に完成している。新たに確立するべき要素技術としては、加工コスト低減のための自動識別判定技術があり、この開発のための基本的研究を行った。このうち識別判定技術には基本的に球の精度計測が含まれる。すなわち目標仕上げ寸法からの偏差、真球度、表面粗さである。
(1)自動直径判定装置
自動化及び連続測定のしやすさから本研究ではV溝方式を採用した。すなわち傾斜V溝を連続して転がる研磨球の径を、基準球からの偏差として検出し、加工時間の決定あるいはゲージで分類するシステムを設計試作した。
(2)ラップ盤の振動及び加工音の解析による、真球度及び加工状態の判定
真円度は、最終的には真円度測定機により測定し、精度保証をすべきものである。しかし、加工プロセスにおいて直径と同時に真球度の測定を自動的に行う方法を考案することは本研究の目的である。そこでラップ板の振動及び加工音に着目し、取り込んだ信号を高速フーリエ変換によりスペクトル分析を行い、加工中の真球度の判定を行う方法を検討した。
(3)まとめ
加工中における、セラミックス球の直径自動測定装置を設計試作し、また真円度及び加工状況の判定に、高速フーリエ変換を利用する方法を提案した。

報告書

(3件)
  • 1996 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1995 実績報告書

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公開日: 1995-04-01   更新日: 2016-04-21  

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