| 研究課題/領域番号 |
07555059
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| 研究種目 |
基盤研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 展開研究 |
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| 研究分野 |
流体工学
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
南部 健一 東北大学, 流体科学研究所, 教授 (50006194)
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| 研究分担者 |
福元 裕彦 神戸製鋼所, 機会研究所, 主任研究員
セリコフ V.V (株)日本板硝子, 研究技術企画部, 主席研究員補
佐々木 博志 東北大学, 流体科学研究所, 助手 (50006186)
神山 新一 東北大学, 流体科学研究所, 教授 (80006171)
セリコフ V.V. 東北大学, 流体科学研究所, 助教授 (70241586)
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| 研究期間 (年度) |
1995 – 1997
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| 研究課題ステータス |
完了 (1997年度)
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| 配分額 *注記 |
13,400千円 (直接経費: 13,400千円)
1997年度: 900千円 (直接経費: 900千円)
1996年度: 5,500千円 (直接経費: 5,500千円)
1995年度: 7,000千円 (直接経費: 7,000千円)
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| キーワード | 希薄気体流 / 高周波放電プラズマ / プラズマプロセシング / PIC法 / 直流放電プラズマ / モンテカルロ法 / フルゴンプラズマ / 粒子シミュレーション / アルゴンプラズマ / 高周波放電プラズマ流 / 放電プラズマ発生装置 / 電場解析 / 直流放電プロピル流 / 荷電粒子・原子衝突 / プラズマ空間振動 / 粒子シミュレーション法 / 直流放電プラズマ流 |
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| 研究概要 |
本研究においては3次元希薄プラズマ流解析ソフトの開発を目的としている.開発されるソフトの修正と有用性の確立は,同時並行的に進められる実験との対比によって行われる.具体的に順を追って以下に述べる.
1.3次元希薄気体流解析ソフトの開発 モテカルロ直接法(DSMC)を用いてエッチング装置内の流れのシミュレーションを行い,結果を測定値と比較して今まで不明であった供給ガス量とウエハ表面の反応レートの関係を決めることを可能にした.2.直流放電プラズマ流解析ソフトの開発 直流放電プラズマに及ぼす圧力及び印加電圧の影響はイオンシーズに強く現れるが,その影響を明らかにした.また二次電子放出係数が大のとき電子密度分布に空間的振動が誘起されることを明らかにした.3.高周波放電プラズマ流解析ソフトの開発 公衆はプラズマでは厚さが振動し、ガス分子のイオン化率および励起率はシース端で最大に成ること,またシース中の電荷交換衝突はエネルギ分布関数中にスパイクとして現れることを明らかにした.4.直流放電プラズマ流の実験的解析 シミュレーションプログラムの妥当性を実証するために放電室内のガス圧力,印加電圧および流量変化がプラズマ特性におよぼす影響を調べ,シミュレーション結果と一致するデータを得た.5.高周波放電プラズマ流の実験的解析 実験は現在も進行中であるが,高周波プラズマにおよぼすガス圧力およびRF電力の影響について一部公表の予定(4月)である.なお実験と比較するべく数値シミュレーションも現在進行中である.
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