| 研究課題/領域番号 |
07555101
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| 研究種目 |
基盤研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 試験 |
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| 研究分野 |
電子・電気材料工学
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
小林 猛 大阪大学, 基礎工学部, 教授 (80153617)
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| 研究分担者 |
山本 義弘 シャープエネルギー変換研究所, 課長
富田 孝司 シャープエネルギー変換研究所, 部長
牧 哲朗 大阪大学, 基礎工学部, 助手 (80273605)
藤井 龍彦 大阪大学, 基礎工学部, 助手 (40238530)
作田 健 大阪大学, 基礎工学部, 講師 (70221273)
野元 克彦 シャープエネルギー変換研究所, 係長(研究員)
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| 研究期間 (年度) |
1995 – 1996
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| 研究課題ステータス |
完了 (1996年度)
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| 配分額 *注記 |
11,700千円 (直接経費: 11,700千円)
1996年度: 2,700千円 (直接経費: 2,700千円)
1995年度: 9,000千円 (直接経費: 9,000千円)
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| キーワード | PLD / レーザーアブレーション / 酸化物薄膜 / 誘電体薄膜 / 超伝導 / 光エレクトロニクス / 結晶成長 / エキシマ・レーザー / 光回路 / エピタキシャル成長 / ヘテロ構造 |
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| 研究概要 |
近い将来には重要技術として広く利用されることが予想されているレーザーアブレーション技術に、本研究ではエクリプス・レーザーアブレーションという新しい概念を入れた方法を提案し、実用水準に向上させるための様々な検討をおこなってきた。レーザーアブレーション法に付随していた致命的な問題であるドロップレットについて完全に解決しており、この新しい手法を高品質薄膜形成に利用するための、例えば大面積薄膜成長、高速成長、デフェクト・フリー薄膜の成長、などの観点から検討をすすめてきた。
幸いにも研究は順調に進展したと思われる。超伝導薄膜、磁性薄膜、光薄膜、誘電性薄膜の作製に適用してきたところ、いずれの薄膜に関しても評価結果は目標ラインに近い性能を示すものが作製できるようになった。
今後、一層の発展のために、さらに新しい考えが導入できた。それはエクリプス・エンジェル方式である。この成果は今後の展開に大きな見通しをつけたもので、非常に効果的な結果であった。
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