| 研究課題/領域番号 |
07555128
|
|---|
| 研究種目 |
試験研究(B)
|
| 配分区分 | 補助金 |
|---|
| 研究分野 |
計測・制御工学
|
|---|
| 研究機関 | 豊橋技術科学大学 |
|---|
研究代表者 |
川人 祥二 豊橋技術科学大学, 工学部, 助教授 (40204763)
|
|---|
| 研究分担者 |
中西 博昭 島津製作所, けいはんな研究所, 主任
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
1995
|
| 研究課題ステータス |
完了 (1995年度)
|
| 配分額 *注記 |
2,700千円 (直接経費: 2,700千円)
1995年度: 2,700千円 (直接経費: 2,700千円)
|
|---|
| キーワード | フラックスゲートセンサ / マイクロ磁気センサ / 微弱磁界検出 / マイクロコイル |
|---|
| 研究概要 |
本研究者は、最近フラックスゲート磁気センサをシリコンプロセスと薄膜軟磁性材料により超小型で実現するマイクロフラックスゲート磁気センサと称する磁気センサを世界に先駆けて開発した。これまで改良を進め、その性能の高さが徐々に明らかになってきており、その潜在的性能は、極めて高いと考えている。また超小型・軽量・大量生産が容易、信号処理回路の集積化が可能等、従来にない種々の特長を有している。もし、このマイクロ磁気センサの改良によって、SQUID磁束計でのみ検出可能な微弱磁界を検出する素子が実現できれば、常温で動作する点だけを考えても画期的成果となる。
本研究では、これまで得られた成果を背景として、素子構造の最適化及び磁性薄膜の特性善を行い、その優れた性能を実証すべく改良素子の試作を行うことを目的とした。素子構造としては、励磁コイルと検出コイルを密結合した構造が高感度化において有効であることを磁場解析により明らかにした。また磁性薄膜については、素子作成時に生じる熱処理工程での劣化を低減するための少量のInを添加した電着磁性薄膜の形成を試み、大幅な特性改善が得られた。これらの基礎的な検討に基づき、実際にマイクロフラックスゲート素子を試作した。その結果、2700V/Tという極めて高い磁気検出感度と、0.6nT/√Hz(DC〜10Hz)の検出分解能が達成された。これは、マイクロ構造の磁気検出素子でナノテスラオーダーの分解能を実現した初めての結果である。
|
