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ゾル・ゲル-フッ化法によるフッ化物ガラス薄膜型光導波路の開発

研究課題

研究課題/領域番号 07555196
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分試験
研究分野 無機材料・物性
研究機関神戸大学

研究代表者

河本 洋二  神戸大学, 理学部, 教授 (00030776)

研究分担者 小西 明男  山村硝子ニューガラス研究所, 研究員
邱 建栄  山村硝子ニューガラス研究所, 研究員
山本 量一  京都大学大学院, 理学研究科, 助手 (10263401)
野上 正行  名古屋工業大学, 工学部, 助教授 (90198573)
瀬恒 潤一郎  神戸大学, 理学部, 助教授 (10117997)
邱 健栄  山村硝子ニューガラス研究所, 研究員
研究期間 (年度) 1995 – 1996
研究課題ステータス 完了 (1996年度)
配分額 *注記
6,300千円 (直接経費: 6,300千円)
1996年度: 1,600千円 (直接経費: 1,600千円)
1995年度: 4,700千円 (直接経費: 4,700千円)
キーワードフッ化物ガラス / 薄膜 / 光導波路 / ゾル・ゲル / フッ化 / ECRプラズマCVD / 光機能 / フッ化反応 / ガラス薄膜
研究概要

近年、光機能デバイスの小型化・低コスト化の要求が強まり、デバイスの研究対象はガラスファイバー等の光コンポーネントの複合体からなるデバイスから、導波路に複数機能を担わせる集積光学タイプのデバイスへと移りつつある。フッ化物ガラスは光機能性ガラスとして注目され、多数の研究が進められ、光伝送、光増幅、アップコンバージョン蛍光、光ホールバーニング記録、レーザー発振など実用化の対象となる優れた機能が明らかにされつつある。これらの機能を利用した用途を考えた場合、薄膜型光導波路のガラス形態も一考に値するものである。
それゆえ、本研究ではフッ化物ガラス薄膜を作製する一方法として、金属アルコキシドを出発試薬とするゾル・ゲル反応と、得られたゲル体をNF_3フッ素化ガスによるフッ化反応を組み合わせた「ゾル・ゲル-フッ化法」を開発し、フッ化物ガラス薄膜の創製を試みた。作製した試料のキャラクタリゼーションを行ったところ、良好なフッ化物ガラスの合成に成功した。しかし残念ながら、この方法では光導波路に用いることのできるフッ化物ガラス薄膜の作製は困難であることが判明した。そこで研究課題名とは少々異なるが、フッ化物ガラス薄膜型光導波路の創製法として、「ゾル・ゲル-フッ化法」に替わる方法として、金属βジケトン錯体を出発試薬とし、フッ素化ガスとしてNF_3を用いた「ECRマイクロ波プラズマCVD法」を開発することにし、研究を進めた。その結果、研究室段階としてはフッ化物ガラス薄膜型光導波路の創製に対して満足すべき成果を挙げることに成功した。

報告書

(3件)
  • 1996 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1995 実績報告書
  • 研究成果

    (23件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (23件)

  • [文献書誌] A.Konishi: "Synthesis of Filmy ZrF_4-BaF_2 Glasses by Fluorination of Amorphous oxide Gels" Mat. Res. Bull.30. 193-199 (1995)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y. Kawamoto et al.: "Structural Study of ZrF_4-BaF_2-LnF_3 (Ln=Y or Rare-Earth Elements)" J. Mat. Sci. Lett.14. 319-321 (1995)

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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M. Takahashi: "Molecular Dynamics Simulation of Eu^<3+>-Doped Chlorofluoro-zirconate Glasses" J. Phys.; Condens. Matter. 7. 4583-4592 (1995)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] A. Konishi: "Synthesis of ZrF_4-BaF_2-LnF_3 Glasses (Ln=La, Ce, Pr, Nd or Eu) by combined Processes of Soi-Gel and Fluorination" J. Alloys Compounds. 232. 53-59 (1996)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M. Takahashi: "Mossbauer and Fluorescence Spectroscopic Study on the Local Environment around Trivalent Europium Ion in the Chloro fluorozirconate Hass System" J. Phys. Chem.100. 11193-11197 (1996)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T. Ohtuki: "Evanescent-Field Amplification in Nd^3-Poped Fluoride planar Wave guide" Appl. Phys. Lett. 69. 2012-2014 (1996)

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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 河本洋二ら: "フッ素化学入門-基礎と実験法-" 日刊工業新聞社, (1997)

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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Tanabe, K.Takahara, M.Takahashi and Y.Kawamoto: "Spectroscopic Studies of Radiative Transitions and Upconversion Chearacteristics of Er^<3+> Ions in Simple Pseudoternary Fluoride Glasses MF_n-B_aF_2-YF_3 (M : Zr, Hf, Al, Sc, Ga, In, or Zn)" J.Opt.Soc.Am.B.12. 786-793 (1995)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] A.Konishi, R.Kanno and Y.Kawamoto: "Synthsis of Filmy ZrF_4-BaF_2-LnF_3 (Ln=Y or Rare-Earth Elements) by Fluorination of Amorphous Oxide Gels" Mat.Res.Bull.30. 193-199 (1995)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Kawamoto, R.Kanno, T.Kobayashi, and A.Konishi: "Structural Study of ZrF_4-BaF_2-LnF_3 (Ln=Y or Rare-Earth Elements)" J.Mat.Sci.Lett.14. 319-321 (1995)

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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Takahashi, R.Yamamoto, R.Kanno, and Y.Kawamoto: "Molecular Dynaimics Simulation of Eu^<3+>-Doped Chlorofluorozirconate Glasses" J.Phys : Condens.Matter. 7. 4583-4592 (1995)

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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Takahashi, R.Kanno, Y.Kawamoto and K.Kadono: "Local Structure around Zr^<4+> in ZrF_4-BaF_2-BaC_l_2-EuF_3 Glasses" J.Phys : Condens.Matter. 7. 7797-7804 (1995)

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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] R.Yamamoto, T.Kobayashi and Y.Kawamoto: "Computer simulation of Ionic Conduction in ZrF_4-BaF_2 Glass" J.Phys : Condens, Matter. 7. 8557-8567 (1995)

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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] A.Konishi, R.Kanno and K.Kawamoto: "Synthesis of ZrF_4-BaF_2-LnF_3 Glasses (Ln=La, Ce, Pr, Nd or Eu) by Combined Processes of Sol-Gel and Fluorination" J.Alloys and Compounds. 232. 53-59 (1996)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Takhashi, R.Kanno, and Y.Kawamoto: "Mossbauer and Fluorescence Spectroscopic Study on the Local Environment around Trivalent Eurpoium Ion in the Chlorofluorozirconate Glass System" J.Phys.Chem.100. 11193-11197 (1996)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Ohtuki, S.Honkanen, N.Peyghambarian, M.Takahashi, Y.Kawamoto, J.Ingenhoff, A.Tervonen and K.Kadono: "Evanescent-Field Amplification in Nd^<3+>-Doped Fluoride Planar Waveguide" Appl.Phys.Lett.69. 2012-2014 (1996)

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      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Kawamoto, R.Kanno, and T.Kobayashi: "Fluorine Coordination Environments around Cations in MF_n-BaF_2-EuF_3 Glasses(M=Zn.Al, Ga, In, Sc or Hf)" Accepted by Phys.Chem.Glasses.

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Kawamoto et al.: "Synthesis of ZrFa-BaF_2-LnF_3 G asses (Ln=La,Ce,Pr,Nd or Eu) by Combined Processes of Sol-Gel and Fluorination" J.Alloys and Compounds. 232. 53-59 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Kawamoto et al.: "Mossbauer and Fluorescence Spectro scopic study on the Local Environment around Triralent Europium Ion in the Chlorofluorozirconate Glass System" J.Phys.Chem.100. 11193-11197 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Kawamoto et al.: "Evanescent-Field Amplification in Nd^<3+>-Doped Fluoride Planar Waveguide" Appl.Phys.Lett. 69. 2012-2014 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Kawamoto et al.: "Fluorine Coordination Environments around cations in MFn-BaF_2-EuF_2 Glasses (M=Zn,Al,Ga,In,Sc or Hf)" Phys.Chem.Glasses. (Acepted).

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] 河村洋二ら: "フッ素化学入門-基礎と実験法-" 日刊工業新聞社, (1997)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] Yoji Kawamoto: "Preparation of 60ZrF_4・30BaF_2・10LnF_3 Glasses (Ln=La,Ce,Pr,Nd or Eu) by combined processing of Sol-Gel and Fluorination" J. Alloys and Compounds. 232. 53-59 (1996)

    • 関連する報告書
      1995 実績報告書

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公開日: 1995-04-01   更新日: 2016-04-21  

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