• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

パルスレーザーを用いるナノレイヤー制御高品質素材合成装置の試作

研究課題

研究課題/領域番号 07555225
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分試験
研究分野 金属生産工学
研究機関東北大学

研究代表者

佐藤 修彰  東北大学, 素材工学研究所, 助教授 (70154078)

研究分担者 山田 耕太  東北大学, 素材工学研究所, 助手 (30261473)
藤野 威男  東北大学, 素材工学研究所, 教授 (20229024)
研究期間 (年度) 1995 – 1996
研究課題ステータス 完了 (1996年度)
配分額 *注記
18,400千円 (直接経費: 18,400千円)
1996年度: 4,200千円 (直接経費: 4,200千円)
1995年度: 14,200千円 (直接経費: 14,200千円)
キーワードパルスレーザー / 高品質素材 / 薄膜 / 酸化物 / 硫化物 / 多層膜
研究概要

パルスレーザーを用いるナノレイヤー制御高品質素材合成装置の試作を行った。昨年製作した高真空反応装置に膜厚計を装着し、アブレーション反応により基板へ析出する薄膜の膜厚をin situに測定できるようにした。また、異なる化合物をターゲットに使用し、ターゲット間のアブレーション反応を繰り返すことにより多層状の薄膜素材の合成を行った。ターゲットには金属タンタルおよび五酸化タンタルをペレット状(10mmφ)に成形して使用した。レーザー光源はNd:YAGパルスレーザー(波長10.64nm)を使用した。まず、それぞれのターゲットのみによるアブレーション反応により、基板上に金属あるいは酸化物の薄膜が生成することを確認した。生成薄膜についてSEM観察およびEPMA分析を行った。パルスレーザーの繰り返しにより薄膜の膜厚はnmオーダーからμmオーダーまで変化させることができた。続いて、異なるターゲットのアブレーション反応を交互に行うと、基板上には金属-酸化物-金属-酸化物といった多層状の薄膜を得ることができた。また、金属あるいは酸化物ターゲットへのアブレーション反応の回数を調節することにより、析出する多層膜のそれぞれの膜厚を制御することが分かった。この方法により得られた多層薄膜と金属薄膜上に酸素雰囲気において熱処理して得られる酸化物層をもつ多層薄膜についてその構造、組成を比較、検討した。

報告書

(3件)
  • 1996 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1995 実績報告書
  • 研究成果

    (10件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (10件)

  • [文献書誌] M.Skrobian,N.Sato,T.Fujino: "Thermogravimetric study of the reduction and sulfurization of Nd_2(SO_4)_3 using carbon disulfide" Thermochimica Acta. 249. 211-219 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Skrobian,N.Sato,K.Yamada,T.Fujino: "Thermogravimetric study of the reduction and sulfurization of Y_2(SO_4)_3 using carbon disulfide" Thermochimica Acta. 255. 201-209 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Taki,S.Komoto,K.Otomura,T.Takenaka,N.Sato,T.Fujino: "Chloride pyrometallurgy of uranium Ore,(II) Selective extraction of uranium using the mixed gas of chlorine and oxygen in the presence of activated carbon" Journal of Nuclear Science and Technology. 33. 327-332 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] N.Sato,M.Wakeshima,H.Masuda,K.Yamada T.Fujino: "Synthesis and electric propoerties of palladium sulphide bronzes MPd_3S_4(M=rare-earth-elements)" High Temperatures-High Pressures. (in press).

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Wakeshima,T.Fujino,N.Sato,K.Yamada,H.Masuda: "Crystal structure and electrical conductivity of palladium sulfide bronzes MPd_3S_4(M=La,Nd and Eu)" Jouranl of Solid State Chemistry. (in press).

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Skrobian, N.Sato, T.Fujino: "Thermogravimetric study of the reduction and sulfurization of Nd_2(SO_4)_3 using carbon disulfide" Thermochim. Acta. 249. 211-219 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Skrobian, N.Sato, K.yamada, T.Fujino: "Thermogravimetric study of the reduction and sulfurization of Y_2(SO_4)_3 using carbon disulfide" Thermochim. Acta. 255. 201-209 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Taki, S.Komoto, K.Otomura, T.Takenaka, N.Sato, T.Fujino: "Chloride pyrometallurgy of uranium Ore, (II) Selective extraction of uranium using the mixed gas of chlorine and oxygen in the presence of activated carbon" J.Nucl.Sci.Tech.33. 327-332 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] N.Sato, M.Wakeshima, H.Masuda, K.Yamada, T.Fujino: "Synthesis and electric propoerties of palladium sulphide bronzes MPd_3(M=rare-earth elements)" High Temp. -High Press. (in Press).

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Wakeshima, T.Fujino, N.Sato, K.Yamada, H.Masuda: "Crystal Structure and electrical conductivity of palladium" J.Solid State Chem. (in Press).

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要

URL: 

公開日: 1995-04-01   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi