| 研究課題/領域番号 |
07555362
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| 研究種目 |
基盤研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 試験 |
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| 研究分野 |
機械工作・生産工学
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| 研究機関 | 名古屋大学 |
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研究代表者 |
松室 昭仁 名古屋大学, 工学部, 助教授 (80173889)
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| 研究分担者 |
中本 剛 名古屋大学, 工学部, 助教授 (30198262)
森 敏彦 名古屋大学, 工学部, 助教授 (90023340)
佐藤 一雄 名古屋大学, 工学部, 教授 (30262851)
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| 研究期間 (年度) |
1995 – 1996
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| 研究課題ステータス |
完了 (1996年度)
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| 配分額 *注記 |
1,400千円 (直接経費: 1,400千円)
1996年度: 1,400千円 (直接経費: 1,400千円)
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| キーワード | イオンビームミキシングプロセス / TiN膜 / 窒化炭素膜 / 傾斜機能膜 / 機械的性質 / マイクロパ-ツ / 紫外線硬化樹脂 / 高圧力合成 / 硬質膜 |
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| 研究概要 |
高耐久性マイクロパ-ツ開発の有力な手法は,表面改質技術および加工技術の確立、新材料開発である.本研究ではマイクロパ-ツへの表面改質技術として近年開発されたイオンビームミキシング法を適用した.表面改質材料としてトライボロジー特性、強度特性に優れるTi-N系およびC-N系膜にねらいを絞った.C-N系膜は理論計算ではダイヤモンド以上の硬度を有することが期待される極めて魅力的は材料である.また新材料開発の観点からは、薄膜と同様な非平衡状態を再現でき、しかも正確な物性評価が可能なバルク材料を創成できる超高圧力合成法をフラーレン、準結晶、Al-Li合金に適用して形成条件とその物性を明らかにした.さらに、これらの研究と同時にシリコンを用いたマイクロパ-ツの加工技術の確立およびその特性を明らかにするとともに、紫外線硬化樹脂を用いた新たな加工手法についても検討を加えたものである.
得られた成果は以下の通りである。
1.イオンビームミキシング法によりシリコン基板へのTi-N系薄膜の形成条件とその機械的性質を明らかにした.
2.イオンビームミキシング法によりC-N系薄膜の形成条件とその機械的性質を明らかにした.
3.傾斜機能コーティング膜の形成条件とその機械的性質を明らかにした.
4.超高圧力合成によるフラーレン高分子材料、準結晶材料、AL-Li合金の形成条件およびその機械的性質を明らかにした.
5.シリコンプロセスを用いたS字アクチュエータおよびオンチップ引っ張り試験装置を開発し、その特性を明らかにした.
6.紫外線硬化樹脂による新たなマイクロパ-ツ作製技術を確立した.
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