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超微細ピンフィンおよびマイクロチャネルを用いたLSI冷却技術の開発

研究課題

研究課題/領域番号 07555384
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分試験
研究分野 熱工学
研究機関東京農工大学

研究代表者

望月 貞成  東京農工大学, 工学部, 教授 (10013715)

研究分担者 水上 浩  (株)東芝, 研究開発センター, 研究主務
村田 章  東京農工大学, 大学院・生物システム応用科学研究科, 助教授 (60239522)
研究期間 (年度) 1995 – 1996
研究課題ステータス 完了 (1996年度)
配分額 *注記
2,300千円 (直接経費: 2,300千円)
1996年度: 2,300千円 (直接経費: 2,300千円)
キーワード希薄流体 / 微細伝熱面 / マイクロチャネル / ピンフィン / 非定常法
研究概要

本研究の目的は接触熱抵抗が存在する従来の方法での超微細ピンフィンを用いた空気冷却技術を限界まで高めることと,マイクロチャネルを用いた接触熱抵抗の介在しない次世代冷却方法の確立である.そこで先ず極微細ピンフィンを用いた圧力損失・熱伝達計測を行い放熱特性を調べた.またマイクロチャネルについては,微細直円管群テストコアを用いて希薄流体の内部流における熱伝達および圧力損失評価を行い,希薄流体域での放熱・流動特性を調べた.以下結果について説明する.
ピンフィン放熱器の実験では,ステンレスシートをエッチング技術で加工した正方形断面(一辺長さ50〜200μm)コアの放熱性能評価を改良シングルブロ-法を用いて行った.ピン配列パターンを変化させた実験を行い,ある幾何学的配置(幅方向・流れ方向ピッチ)条件では振動的な流れが形成され易く熱伝達が上昇することや配列を複合させることで伝熱特性を上昇させる可能性が示された.また,シングルブロ-法を希薄流体域に適用するために予備計算を行った結果,微細伝熱面での高い熱伝達率のために十分な精度で熱伝達計測を行うことがシングルブロ-法では困難であることが判明した.
マイクロチャネルの実験では微細直円管(内径4〜135μm)を多数組み合わせたテストコアの圧力損失・熱伝達実験を行った.圧力損失実験はすべり流れおよび遷移領域で行い,結果は従来の経験式と概ね良好な一致を示し,本計測システムの健全性を確認できた.熱伝達実験ではキャピラリープレート(内径4μm)テストコアを外周部から銅ブロックを介し加熱し等温加熱条件とし,定常状態でのコア外周部温度,入口・出口空気温度を計測した.コア外周部温度計測にはスパッタリングで形成させた鉄・ニッケル薄膜熱電対を用いた.これら計測値と2次元熱伝導数値解析により熱伝達率算出を試みた.しかし,本実験で得られた出口空気温度,コア外周部温度は熱伝達率変化に対し非常に鈍感であり計測精度不足が明らかとなった.改善策として,コア外周部を等熱流束加熱することで精度向上が見込まれることが数値解析上確認された.

報告書

(3件)
  • 1996 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1995 実績報告書
  • 研究成果

    (6件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (6件)

  • [文献書誌] 村田章,望月貞成: "改良シングルブロ-法による熱伝達率計測法" 第9回計算力学講演会講演論文集. 96-25. 245-246 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 水上浩,松浦康次,村田章,望月貞成: "極微細流路内の熱伝達特性(一測定方法の提案)" 第34回日本伝熱シンポジウム講演論文集. III. 619-620 (1997)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] A.Murata, S.Mochizuki: "Heat Transfer Measurement by a Modified Single-Blow Method" Proc.of The 9th Computational Mechanics Conference, JSME,November. 245-246 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Minakami, Y.Matsuura, A.Murata, S.Mochizuki: "A Study on Heat Transfer Characteristic for Micro Channels" Proc.of 34th National Heat Transf.Symp.of Japan, May. vol.III. 619-620 (1997)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 村田章,望月貞成: "改良シングルブロ-法による熱伝達率計測法" 第9回計算力学講演会講演論文集. 96-25. 245-246 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] 水上浩,松浦康次,村田章,望月貞成: "極微細流路内の熱伝達特性(一測定方法の提案)" 第34回日本伝熱シンポジウム講演論文集. (1997)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書

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公開日: 1996-04-01   更新日: 2016-04-21  

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