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プラズマ中のクローン格子形成過程を利用した超構造微粒子合成法の開発

研究課題

研究課題/領域番号 07558065
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分試験
研究分野 プラズマ理工学
研究機関京都大学

研究代表者

橘 邦英  京都大学, 工学研究科, 教授 (40027925)

研究分担者 立田 利明  (株)サムコインターナショナル研究所, R&Dセンター, センター長
林 康明  京都工芸繊維大学, 工芸学部, 助教授 (30243116)
八坂 保能  京都大学, 工学研究科, 助教授 (30109037)
研究期間 (年度) 1995 – 1996
研究課題ステータス 完了 (1996年度)
配分額 *注記
7,200千円 (直接経費: 7,200千円)
1996年度: 2,400千円 (直接経費: 2,400千円)
1995年度: 4,800千円 (直接経費: 4,800千円)
キーワード微粒子プラズマ / クローン結晶 / 固液相転移 / ミ-散乱光偏光解析法 / 積層構造微粒子 / クーロン結晶 / メタンガス / エチレンガス / 微粒子成長過程 / マスマニピュレーション
研究概要

プラズマ中で微粒子が負に帯電して、マクロなスケールで結晶格子のように配列する新しい現象(クーロン格子形成過程)を利用して、人工的な超構造をもつ微粒子を合成し、それを効率的に収集する方法を開発するために一連の研究を推進してきた。まず、反応性ガスのプラズマ中での微粒子の生成、成長の過程を系統的に調べるため、原料となる炭化水素ガスの種類やその動作圧力、投入電力などの外部パラメータの変化に対するプラズマパラメータの変化を、マイクロ波干渉計などによって計測して、個々の微粒子の帯電量やそれに働く力を推定した。また、微粒子の成長速度や捕捉されている数密度の時間変化をミ-散乱偏光解析法によって追跡し、ビデオカメラによる観察と比較して、微粒子の集団が、“液体"の状態から“固体"の状態へ相転移すしていく条件を解析した。その結果、初期の段階では微粒子は体心立方格子状に配列するが、時間とともに六方稠密格子状に再配列していくことなどがわかった。これらの知見に基づいて、より広い実験条件で安定なクローン格子を形成する方策を検討した。
一方、そのような状態で成長させた微粒子は真球近い形状をもち、直径のばらつきも極めて小さい(単分離である)ことがミ-散乱偏光解析法によって推定されたが、捕集した微粒子のSEM観察からも確認された。現在、原料のメタンガスをシランガスに切り替えて、積層構造をもつ微粒子の合成を試みており、そのような超構造微粒子に対するミ-散乱偏光解析の手法の理論的検討も行っている。

報告書

(3件)
  • 1996 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1995 実績報告書
  • 研究成果

    (21件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (21件)

  • [文献書誌] K. Tachibana: "Analysis of Coulomb-crystal formation process for application to tailored particle synthesis in RF plasmas" Pure & Applied Chemistry. 68 (5). 1107-1112 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y. Hayashi: "Coulomb crystal formation from growing particles in a plasma and the analysis" Journal of Vacuum Science and Technology A. 14 (2). 506-510 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 林 康明: "ミ-散乱エリプソメトリー -プラズマ中微粒子成長過程の新しいインプロセス計測法-" 応用物理. 64 (6). 565-569 (1995)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 橘 邦英: "クローン結晶" パリティ. 11 (5). 24-32 (1996)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K. Tachibana: "Coulomb crystal formation from particles grown in nonequilibrium Plasmas -A mass manipulation technique for tailored particle synthesis" Proceedings of the 3rd Asia-Pacific Conference on Plasma Science & Technology. 2. 263-268 (1996)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y. Hayashi: "Structures of Coulomb crystals from growing particles in a plasma" Proceeding of Dusty Plasma Conference, Goa. (掲載予定). (1997)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Tachibana and Y.Hayashi: "Analysis of Coulomb-crystal formation process for application to tailored particle synthesis in RF plasmas" Pure & Applied Chemistry. 68-5. 1107-1112 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Hayashi and K.Tachibana: "Coulomb crystal formation from growing particles in a plasma and the analysis" Journal of Vacuum Science and Technology. 14-2. 506-510 (1996)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Hayashi and K.Tachibana: "Mie-scattering ellipsometry-A new in-process monitoring method for particle growth in plasmas-" Oyo Buturi. 64-6 (in Japanese). 565-569 (1995)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Tachibana: "Coulomb crystals" Parity. 11-5 (in Japanese). 24-32 (1996)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Tachibana: "Coulomb crystal formation from particles grown in nonequilibrium plasmas-A mass manipulation technique for tailored particle synthesis" Proceedings of the 3rd Asia-Pacific Conference on Plasma Science & Technology. 2. 263-268 (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Hayashi K.Takahashi and K.Tachibana: "Structures of Coulomb crystals from growing particles in a plasma" Proceedings of Dusty Plasma Conference, Goa. (to be published).

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1996 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Tachibana: "Analysis of Coulomb-crystal formation process for application to tailored particle synthesis in RF plasmas" Pure & Applied Chemistry. 68.5. 1107-1112 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Hayashi: "Coulomb crystal formation from growing particles in a plasma and the analysis" Journal of Vacuum Science and Technology A. 14.2. 506-510 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] K.Tachibana: "Coulomb crystal formation from particles grown in nonequilibrium Plasmas-A mass manipulation technique for tailored particle synthesis" Proceedings of the 3rd Asia-Pacific Conterence on Plasma Science & Technology. 2. 263-268 (1996)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Hayashi: "Structures of Coulomb crystals from growing particles in a plasma Proceedings of Dusty Plasma Conference,Goa" (掲載予定). (1997)

    • 関連する報告書
      1996 実績報告書
  • [文献書誌] K. Tachibana: "Analysis of Coulomb-crystal formation process for application to tailored particle synthesis in RF plasmas" Pure & Applied Chemistry. 68(掲載予定). (1996)

    • 関連する報告書
      1995 実績報告書
  • [文献書誌] Y. Hayashi: "Coulomb crystal formation from growing particles in a plasma and the analysis" Journal Vacuum Science and Technology A. 14(掲載予定). (1996)

    • 関連する報告書
      1995 実績報告書
  • [文献書誌] 林 康明: "ミ-散乱エリプソメトリープラズマ中微粒子成長過程の新しいインプロセス計測法-" 応用物理. 64. 565-569 (1995)

    • 関連する報告書
      1995 実績報告書
  • [文献書誌] Y. Hayashi: "Structural change of Coulomb crystal in plasma" Proc. 13th Symp. on Plasma Processing(Tokyo). 319-322 (1996)

    • 関連する報告書
      1995 実績報告書
  • [文献書誌] 橘 邦英: "クーロン結晶" パリティ. 11(掲載予定). (1996)

    • 関連する報告書
      1995 実績報告書

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公開日: 1995-04-01   更新日: 2016-04-21  

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