| 研究課題/領域番号 |
07558175
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| 研究種目 |
基盤研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 試験 |
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| 研究分野 |
プラズマ理工学
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| 研究機関 | 北海道大学 |
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研究代表者 |
酒井 洋輔 北海道大学, 工学部, 教授 (20002199)
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| 研究分担者 |
五十嵐 龍志 ウシオ電機(株), 技術研究所, 次長
菅原 広剛 北海道大学, 工学部, 助手 (90241356)
VENTZEK pete (VENTZEK Pet) 北海道大学, 工学部, 助教授 (80261329)
田頭 博昭 北海道大学, 工学部, 教授 (10001174)
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| 研究期間 (年度) |
1995 – 1996
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| 研究課題ステータス |
完了 (1996年度)
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| 配分額 *注記 |
1,800千円 (直接経費: 1,800千円)
1996年度: 1,800千円 (直接経費: 1,800千円)
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| キーワード | エキシマ / ランプ / 真空紫外光 / モデリング / レーザ分光診断 / 非平衡プラズマ |
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| 研究概要 |
Xeガスエキシマランプの性能向上を目的として、バリア放電プラズマの特性とフィラメント状放電への移行の理解、光出力と効率を決定する放電プラズマ因子、ならびに、これらの限界を検討した。結果を以下にまとめる。
1.Xeガスバリア放電プラズマにおいては、印加電圧周波数が低いほどバリアへの堆積電荷量が増すこと、エキシマは電極近傍で効果的に生成されること、印加電圧波形の立ち上がりが速いもの程エキシマ生成効率が高くなることがわかった。また、エキシマレーザ放電(ArFならびにXeC1)におけるフィラメント状放電が局所的なガス温度上昇から発生することが、一般的に言えることが示唆された。
2.バリア放電プラズマをレーザ分光法による診断を行った場合、信号とプラズマ特性の関係を理解するために行ったモデリングにおいては、通常診断に用いられている光子密度では電子のエネルギー分布関数に有為な攪乱を与えないが、準安定励起原子密度は大きく変わることを明らかにした。
3.DCから数百kHzの電圧を印加した場合のXe/Ne混合ガスプラズマのレーザ分光診断実験においては、Xe準安定励起原子密度はDCでは陰極近傍、ACでは両電極近傍で大きくり、モデリングと同等の結論が得られた。
以上の結果から、ランプとしてはエキシマを効果的に生成する電極シース部を利用する設計が望ましいという結論を得た。
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